"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Технология97 создания рисунка в макропористом кремнии и получение полос двумерных фотонных кристаллов с вертикальными стенками
Астрова Е.В.1, Боровинская Т.Н.1, Толмачев В.А.1, Перова Т.С.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Университет Дублина, Тринити Колледж, Дублин 2, Ирландия
Поступила в редакцию: 9 февраля 2004 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2004 г.

Сообщается о новом процессе получения структур с вертикальными стенками в толстом слое макропористого кремния на подложке. Проблема фотолитографии решается путем создания рисунка с обратной стороны пластины. В результате кремниевая подложка сама служит маской, через которую удаляются определенные участки пористого слоя. Изготовлены узкие и высокие полоски макропористого кремния, ориентированные вдоль рядов макропор. Полученные структуры двумерного фотонного кристалла использовались для введения света в направлении, перпендикулярном оси каналов, и регистрации ИК спектров отражения.
  1. V. Lehmann, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 137, 653 (1990)
  2. V. Lehmann, U. Gruning. Thin Sol. Films, 297, 13 (1997)
  3. H. Foll, M. Christophersen, J. Carstensen, G. Haase. Mater. Sci. Eng., R39, 93 (2002)
  4. S. Ottow, V. Lehmann, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 146, 385 (1996)
  5. U. Gruning, V. Lehmann, S. Ottow, K. Busch. Appl. Phys. Lett., 68, 747 (1996)
  6. S.W. Leonard, H.M. van Driel, K. Busch, S. John, A. Birner, A.-P. Li, F. Muller, U. Gosele, V. Lahmann. Appl. Phys. Lett., 75, 3063 (1999)
  7. J.D. Joannopoulos, R.D. Meade, R.D. Winn. Photonic Crystals. Molding the Flow of Light (Princeton University Press, 1995) Appendix C, p. 125

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.