Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Плазмохимическое осаждение гидрогенизованных пленок DLC с различным содержанием водорода и sp3-гибридного углерода
Российский научный фонд, Президентская программа исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными, 22-79-00021
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия 
2Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН, Нижний Новгород, Россия
2Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН, Нижний Новгород, Россия
Email: poa89@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 5 мая 2023 г.
В окончательной редакции: 29 июня 2023 г.
Принята к печати: 6 июля 2023 г.
Выставление онлайн: 25 августа 2023 г.
Исследовано влияние параметров плазмы метана на скорость осаждения и содержание водорода и sp3-гибридной фракции углерода в гидрогенизованных пленках алмазоподобного углерода, diamond-like carbon. Показано, что содержание sp3-фракции углерода главным образом зависит от индуктивной мощности и добавки аргона в состав плазмы; последнее также способствует уменьшению доли водорода в пленках. Ключевые слова: алмазоподобный углерод, плазмохимическое осаждение, sp2-, sp3-гибридизация, рамановская спектроскопия, вторично-ионная масс-спектрометрия. DOI: 10.21883/FTP.2023.05.56195.09k
- D.K. Rajak, A. Kumar, A. Behera, P.L. Menezes. Appl. Sci., 11, 444 (2021)
- J.K. Luo, Y.Q. Fu, H.R. Le, J.A. Williams, S.M. Spearing, W.I. Milne. J. Micromech. Microeng., 17, 147 (2007)
- S. Smallwood, K. Eapen, S. Patton, J. Zabinski. Wear, 260, 1179 (2006)
- Y. Chen, K. Chang, T. Chang, H. Chen, T. Young, T. Tsai, R. Zhang, T. Chu, J. Ciou, J. Lou, K. Chen, J. Chen, J. Zheng, S. Sze. IEEE Electron Dev. Lett., 35 (10), 1016 (2014)
- Xu Li, W. Dai, Q. Wang, Y. Liang, Z. Wu. Diamond Relate Mater., 106, 107818 (2020)
- C. Li, L. Huang, J. Yuan. Materials, 13, 1911 (2020)
- М.Н. Дроздов, Ю.Н. Дроздов, А.И. Охапкин, С.А. Краев, М.А. Лобаев. Письма ЖТФ, 45 (2), 50 (2019)
- C. Casiraghi, F. Piazza, A.C. Ferrari, D. Grambol, J. Robertson. Diamond Relate Mater., 14, 1098 (2005)
- A. Singha, A. Ghosh, N.R. Ray, A. Roy. J. Appl. Phys., 100 (4), 044910 (2006)
- W. Oleszkiewicz, W. Kijaszek, J. Gryglewicz, A. Zakrzewski, K. Gajewski, D. Kopiec, P. Kamyczek, E. Popko, M. Tlaczala. Proc. SPIE, 8902, 89022H (2013)
- M. Zhu, J. Wang, B.C. Holloway, R.A. Outlaw, X. Zhao, K. Hou, V. Shutthanandan, D.M. Manos. Carbon, 45, 2229 (2007)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
