Вышедшие номера
Особенности электрического транспорта в анизотропно наноструктурированном кремнии
Форш П.А.1, Осминкина Л.А.1, Тимошенко В.Ю.1, Кашкаров П.К.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 27 октября 2003 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2004 г.

Исследованы закономерности электрического транспорта в слоях пористого кремния, полученного методом электрохимического травления пластин монокристаллического кремния p-типа с ориентацией поверхности (110). Обнаружено, что латеральные проводимость и фотопроводимость слоев вдоль кристаллографической оси [110] значительно выше, чем вдоль оси [001]. Для объяснения полученного результата использована модель эффективной среды, в которой учтено наличие потенциальных барьеров на границах кремниевых нанокристаллов, характеризующихся анизотропией формы. Экспоненциальная зависимость проводимости пористого кремния от корня квадратного из приложенного напряжения интерпретирована в рамках эффекта Пула-Френкеля.