Исследовались свойства МДП-структур с фторидами иттрия, неодима, самария на германии, фторидами неодима и самария на подложках n и p кремния, а также структуры Al-Y₂O₃-nSi, Al-Y₂O₃-pSi в условиях повышенной влажности окружающей среды. Дополнительно структуры подвергались действию электрического поля ~0.5-4 МВ/см. Для МДП-структур с пленками фторида иттрия, неодима, самария на германии, а также фторида неодима и самария на подложках n и p кремния наблюдается явное увеличение максимальной удельной емкости с ростом относительной влажности среды. Установлено, что вхождение воды в структуру пленочных фторидов редкоземельных элементов, исследованных в данной работе, является сорбционным, и при исследованных температурах не вызывает необратимых изменений в пленке диэлектрика. Ключевые слова: МДП-структура, кремний, германий, плотность поверхностных состояний, влажность.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.