Геттерирование эпитаксиального арсенида индия редкоземельным элементом гольмием
Куницына Е.В.
1, Пархоменко Я.А.
1, Пивоварова А.А.
1, Яковлев Ю.П.
11Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: kunits@iropt9.ioffe.ru, yana_parkhom@rambler.ru, Pivovarova.antonina@iropto.ioffe.ru, yakovlev.iropto@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 20 декабря 2022 г.
В окончательной редакции: 15 февраля 2023 г.
Принята к печати: 20 февраля 2023 г.
Выставление онлайн: 31 марта 2023 г.
Приведены результаты исследования гальваномагнитных свойств арсенида индия, выращенного методом жидкофазной эпитаксии. Показано, что получение эпитаксиальных слоев InAs при использовании редкоземельного элемента Ho позволяет снизить концентрацию электронов на 2 порядка до n=2.1·1015 см-3 при T=77 K за счет геттерирования мелких фоновых примесей путем образования их соединений в растворе-расплаве. При увеличении содержания гольмия в жидкой фазе более 0.12 мол% концентрация носителей тока в материале начинает возрастать, при этом наблюдается снижение подвижности, что предположительно связано с влиянием донорных центров VAs-Ho. Данный способ геттерирования перспективен для получения материалов AIIIBV с низкой концентрацией носителей тока, востребованных в оптоэлектронной промышленности. Ключевые слова: арсенид индия, редкоземельные элементы, коэффициент Холла, концентрация носителей тока, подвижность носителей тока.
- J. Kwoen, T. Imoto, Y. Arakawa. Opt. Express, 29 (18), 29378 (2021)
- A. Baranov, R. Teissier. IEEE J. Select. Topics Quant. Electron., 21 (6), 1200612 (2015)
- Б.А. Матвеев, Г.Ю. Сотникова. Опт. и спектр., 127 (2), 300 (2019)
- В.В. Романов, Э.В. Иванов, А.А. Пивоварова, К.Д. Моисеев, Ю.П. Яковлев. ФТП, 54 (2), 202 (2020)
- A.A. Klimov, R.E. Kunkov, A.A. Lavrov, N.M. Lebedeva, T.C. Lukhmyrina, B.A. Matveev, M.A. Remennyi. J. Phys.: Conf. Ser., 1851 (1), 012019 (2021)
- S. Woo, G. Ryu, S.S. Kang, T.S. Kim, N. Hong, J.H. Han, R.J. Chu, I.H. Lee, D. Jung, W.J. Choi. ACS Appl. Mater. Interfaces, 13 (46), 55648 (2021)
- Т.И. Воронина, Т.С. Лагунова, К.Д. Моисеев, А.Е. Розов, М.А. Сиповская, М.В. Степанов, В.В. Шерстнев, Ю.П. Яковлев. ФТП, 33 (7), 781 (1999)
- А.Н. Баранов, Т.И. Воронина, А.А. Гореленок, Т.С. Лагунова, А.М. Литвак, М.А. Сиповская, С.П. Старосельцева, В.А. Тихомирова, В.В. Шерстнев. ФТП, 26, 1612 (1992)
- А.Т. Гореленок, А.В. Каманин, Н.М. Шмидт. ФТП, 37 (8), 922 (2003)
- E.P. Domaslievskaya, P.V. Seredin, A.V. Glotov. Phys. Status Solidi C, 7, 1694 (2009)
- М.Н. Япрынцев, Р.А. Любушкин, О.Н. Соклакова, О.Н. Иванов. ФТП, 51 (6), 744 (2017)
- А.Н. Баранов, Т.И. Воронина, Т.С. Лагунова, М.А. Сиповская, В.В. Шерстнев, Ю.П. Яковлев. ФТП, 27 (3), 421 (1993)
- Н.В. Зотова, С.А. Карандашев, Б.А. Матвеев, М.А. Ременный, Н.М. Стусь, Г.Н. Талалакин. ФТП, 33 (8), 1010 (1999)
- А.И. Ансельм, В.И. Клячкин. ЖЭТФ, 22 (3), 297 (1952)
- L.R. Weisberg. J. Appl. Phys., 33 (5), 1817 (1962).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
