Рост гексагонального нитрида бора (hBN) на подложках карбида кремния методом сублимации
Мохов Е.Н.1, Давыдов В.Ю.1, Смирнов А.Н.1, Нагалюк С.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Valery.Davydov@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 15 сентября 2022 г.
В окончательной редакции: 23 сентября 2022 г.
Принята к печати: 26 сентября 2022 г.
Выставление онлайн: 12 ноября 2022 г.
Продемонстрирована возможность роста с использованием метода высокотемпературной сублимации из газовой фазы гексагонального нитрида бора (hBN) высокого структурного совершенства на подложках гексагонального карбида кремния (SiC). Полученные результаты указывают на перспективность использования данного метода для формирования в ходе одного технологического процесса высококачественных гетероструктур hBN/SiC большой площади, которые имеют высокий потенциал для приборных применений. Ключевые слова: гексагональный нитрид бора, высокотемпературная сублимация из газовой фазы, рамановская спектроскопия, фотолюминесценция.
- H.X. Jiang, J.Y. Lin. ECS J. Solid State Sci. Technol., 6, Q3012 (2017)
- R. Haubner, M. Wilhelm, R. Weissenbacher, B. Lux. In High Performance Non-Oxide Ceramics II, ed. by M. Jansen (Springer Berlin Heidelberg, Berlin-Heidelberg, 2002) p. 1
- Y. Li. Innovative synthesis and characterization of large h-BN single crystals: from bulk to nanosheets Materials (Universite de Lyon, 2019). NNT: 2019LYSEI025
- L. Wang, X. Xu, L. Zhang, R. Oiao, M. Wu, Z. Wang, S. Zhang, J. Liang, Z. Zhang, Z. Zhang, W. Chen, X. Xie, J. Zong, Y. Shan, Y. Guo, M. Willinger, Y. Wu, Q. Li, W. Wang, P. Gao, S. Wu, Y. Zhang, Y. Jiang, D. Yu, E. Wang, X. Bai, Z.-J. Wang, F. Ding, K. Liu. Nature, 570, 91 (2019)
- S. Majety, J. Li, X.K. Cao, R. Dahal, B.N. Pantha, J.Y. Lin, H.X. Jiang. Appl. Phys. Lett., 100, 061121 (2012)
- K.Y. Ma, M. Kim, H.S. Shin. Acc. Mater. Res., 3, 748 (2022)
- J.H. Edgar, T.B. Hoffman, B. Clubine, M. Currie, X.Z. Du, J.Y. Lin, H.X. Jiang. J. Cryst. Growth, 403, 110 (2014)
- K. Yoichi, W. Kenji, T. Takashi. Jpn. J. Appl. Phys., 46 (1R), 311 (2007)
- T.B. Hoffman, B. Clubine, Y. Zhang, K. Snow, J.H. Edgar. J. Cryst. Growth, 393, 114 (2014)
- S. Liu, R. He, Z. Ye, X. Du, J. Lin, H. Jiang, B. Liu, J.H. Edgar. Cryst. Growth Des., 17 (9), 4932 (2017)
- T. Taniguchi, K.Watanabe. J. Cryst. Growth, 303 (2), 525 (2007)
- N.D. Zhigadlo. J. Cryst. Growth, 402, 308 (2014)
- N. Coudurier, R. Boichota, F. Merciera. Phys. Procedia, 46, 102 (2013)
- A.S. Segal, A.N. Vorob'ev, S.Yu. Karpov, E.N. Mokhov, M.G. Ramm, M.S. Ramm, A.D. Roenkov, Yu.A. Vodakov, Yu.N. Makarov. J. Cryst Growth, 208, 431 (2000)
- A.A. Lebedev, P.A. Ivanov, M.E. Levinshtein, E.N. Mokhov, S.S. Nagalyuk, A.N. Anisimov, P.G. Baranov. Phys. Usp., 62, 754 (2019)
- E.N. Mokhov, A.A. Wolfson. In Single Crystals of Electronic Materials: Growth and Properties, ed. by R. Fornari (Woodhead Publishing, 2018) p. 401
- R. Geick, C.H. Perry, G. Rupprecht. Phys. Rev., 146, 543 (1966)
- T. Kuzuba, K. Era, T. Ishii, T. Sato. Solid State Commun., 25, 863 (1978)
- L. Schue, I. Stenger, F. Fossard, A. Loiseau, J. Barjon. 2D Mater., 4, 015028 (2017)
- K. Ahmed, R. Dahal, A. Weltz, J.-Q. Lu, Y. Danon, I.B. Bhat. Appl. Phys. Lett., 109, 113501 (2016)
- G. Kern, G. Kresse, J. Hafner. Phys. Rev. B, 59, 8551 (1999)
- L.J. Martinez, T. Pelini, V. Waselowski, J.R. Maze, B. Gil, G. Cassabois, V. Jacques. Phys. Rev. B, 94, 121405(R) (2016)
- M. Koperskia, D. Vaclavkova, K. Watanabe, T. Taniguchid, K. S. Novoselova, M. Potemski. PNAS, 117, 13214 (2020)
- H.L. Stern, Q. Gu, J. Jarman. S.E. Barker, N. Mendelson, D. Chugh, S. Schott, H.H. Tan, H. Sirringhaus, I. Aharonovich, M. Atature. Nature Commun., 13, 618 (2022)
- N. Mendelson, Z.-Q. Xu, T.T. Tran, M. Kianinia, J. Scott, C. Bradac, I. Aharonovich, M. Toth. ACS Nano, 13 (3), 3132 (2019)
- P. Auburger, A. Gali. Phys. Rev. B, 104, 075410 (2021)
- L. Childress, R. Walsworth, M. Lukin. Phys. Today, 67 (10), 38 (2014)
- H. Zheng, J. Xu, G. Z. Iwata, T. Lenz, J. Michl, B. Yavkin, K. Nakamura, H. Sumiya, T. Ohshima, J. Isoya, J. Wrachtrup, A. Wickenbrock, D. Budker. Phys. Rev. Appl., 11, 064068 (2019)
- S.A. Tarasenko, A.V. Poshakinskiy, D. Simin, V.A. Soltamov, E.N. Mokhov, P.G. Baranov, V. Dyakonov, G.V. Astakhov. Phys. Status Solidi B, 255, 1700258 (2018)
- S. Castelletto, A. Peruzzo, C. Bonato, B. C. Johnson, M. Radulaski, H. Ou, F. Kaiser, J. Wrachtrup. ACS Photonics, 9 (5), 1434 (2022).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.