"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Фазовые и структурные изменения в многослойных контактах к n-GaAs, стимулированные быстрыми термическими обработками
Болтовец Н.С.1, Иванов В.Н.1, Конакова Р.В.2, Литвин П.М.2, Литвин О.С.2, Миленин В.В.2, Прокопенко И.В.2
1Государственное предприятие Научно-исследовательский институт Орион, Киев, Украина
2Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 10 сентября 2002 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2003 г.

Исследовались фазовые, структурные и электрофизические свойства многослойных контактных систем Au--Mo--TiBx--AuGe--GaAs, используемых в технологическом процессе формирования диодов Ганна на основе GaAs. До и после быстрых термических обработок в атмосфере водорода при T=400, 600 и 800oC в течение 60 с исследовались: фазовый состав и уровень остаточных механических напряжений методом рентгеновской дифракции; морфологические особенности поверхности пленок золота --- методом атомно-силовой микроскопии; вольт-амперные характеристики в области слабого электрического поля. Показано, что вплоть до температуры отжига T=600oC сохраняются буферные свойства TiBx. Установлена роль внутренних механических напряжений в деградации омических контактов Au--Mo--TiBx--AuGe--GaAs.
  1. G.Y. Robinson. Sol. St. Electron., 18 (4), 331 (1975)
  2. A.K. Rai, R.S. Bhattachrya, Y.S. Park. Thin Sol. Films, 114, 379 (1984)
  3. Б.А. Лапшинов, А.Б. Камнев, Л.Н. Кравченко и др. Зарубеж. электрон. техн., N 5, 58 (1987)
  4. А.А. Раскин, С.В. Шалимов. Зарубеж. электрон. техн., N 12, 32 (1990)
  5. Ю.А. Гольдберг. ФТП, 28 (10), 1681 (1994)
  6. A.G. Baca, F. Ren, J.C. Zolper et al. Thin Sol. Films, 308--309, 599 (1997)
  7. М.Е. Левинштейн, Ю.К. Пожела, М.С. Шур. Эффект Ганна (М., Сов. радио, 1975)
  8. В.Н. Иванов, Л.Е. Коваленко, Т.С. Сумская и др. Электрон. техн., сер. 2, Полупроводниковые приборы, N 4 (195), 49 (1988)
  9. В.В. Миленин, Р.В. Конакова, В.Н. Иванов и др. ЖТФ, 70 (11), 80 (2000)
  10. N.L. Dmitruk, I.B. Ermolovich, R.V. Konakova et al. Appl. Surf. Sci., 166, 520 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.