Кремниевые светодиоды с дислокационной люминесценцией, сформированные с участием кислородных преципитатов
Соболев Н.А.1, Калядин А.Е.1, Штельмах К.Ф.1, Аруев П.Н.1, Забродский В.В.1, Шек Е.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: nick@sobolev.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 15 июня 2022 г.
В окончательной редакции: 30 июня 2022 г.
Принята к печати: 30 июня 2022 г.
Выставление онлайн: 31 августа 2022 г.
Исследованы кремниевые светодиоды с дислокационной электролюминесценцией при комнатной температуре. При изготовлении светодиодных структур хорошо известный метод формирования центров дислокационной люминесценции в процессе отжигов кремния с высокой концентрацией кислорода в потоке аргона был модифицирован путем введения предварительной имплантации ионов O+ и проведения заключительного отжига в хлорсодержащей атмосфере. В спектрах электролюминесценции при токах <150 мА доминирует D1 линия дислокационной люминесценции, при увеличении тока начинает доминировать линия краевой люминесценции. Эффективность возбуждения электролюминесценции D1 центра при комнатной температуре равна 3.3·10-20 см2·с. Ключевые слова: светодиоды, дислокационная люминесценция, кремний, кислородные преципитаты.
- Н.А. Дроздов, А.А. Патрин, В.Д. Ткачев. Письма ЖЭТФ, 23, 651 (1976)
- Н.А. Соболев. ФТП, 44 (1), 3 (2010)
- Luelue Xiang, Dongsheng Li, Lu Jin, Shuming Wang, Deren Yang. J. Appl. Phys., 113, 033518 (2013)
- V.V. Kveder, E.A. Steinman, S.A. Shevchenko, H.G. Grimmeiss. Phys. Rev. B, 51, 10520 (1995)
- E.O. Sveinbjornsson, J. Weber. Appl. Phys. Lett., 69, 2686 (1996)
- V. Kveder, V. Badylevich, E. Steinman, A. Izotov, M. Zeibt, W. Schreter. Appl. Phys. Lett., 84, 2106 (2004)
- Н.А. Соболев, А.М. Емельянов, В.В. Забродский, Н.В. Забродская, В.Л. Суханов, Е.И. Шек. ФТП, 41, 635 (2007)
- Н.А. Соболев, А.Е. Калядин, М.В. Коновалов, П.Н. Аруев, В.В. Забродский, Е.И. Шек, К.Ф. Штельмах, А.Н. Михайлов, Д.И. Тетельбаум. ФТП, 50 (2), 241 (2016)
- N.A. Sobolev, А.E. Kalyadin, E.I. Shek, K.F. Shtel'makh, A.K. Gutakovskii, V.I. Vdovin, A.N. Mikhaylov, D.I. Tetel'baum, D. Li, D. Yang, L.I. Fedina. Mater. Today Proc., 5-6, 14772 (2016)
- S. Binetti, S. Pizzini, E. Leoni, R. Somaschini, A. Castaldini, A. Cavallini. J. Appl. Phys., 92, 2437 (2002)
- S. Pizzini, E. Leonti, S. Binetti, M. Acciarri, A. Le Donne, B. Pichaud. Sol. St. Phenomena, 95-96, 273 (2004)
- K. Bothe, R.J. Falster, J.D. Murphy. Appl. Phys. Lett., 101, 032107 (2012)
- В.И. Вдовин, Л.И. Федина, А.К. Гутаковский, А.Е. Калядин, Е.И. Шек, К.Ф. Штельмах, Н.А. Соболев. Кристаллография, 66 (4), 597 (2021)
- Н.А. Соболев, А.Е. Калядин, К.Ф. Штельмах, Е.И. Шек. ФТП, 55 (10), 928 (2021)
- M. Brehm, M. Grydlik. Nanotechnology, 28, 392001 (2017)
- V.A. Zinovyeva, A.F. Zinovieva, Zh.V. Smagina, A.V. Dvurechenskii, V.I. Vdovin, A.K. Gutakovskii, L.I. Fedina, O.M. Borodavchenko, V.D. Zhivulko, A.V. Mudryi. J. Appl. Phys., 130, 153101 (2021)
- J.F. Ziegler, M.D. Ziegler, J.P. Biersack. Nucl. Instr. Meth. B, 268, 1818 (2010)
- http://www.srim.org
- С.М. Зи. Физика полупроводниковых приборов, пер. с англ. под ред. А.Ф. Трутко (М., Энергия, 1973)
- S. Coffa, G. Franzo, F. Priolo. Appl. Phys. Lett., 69, 2077 (1996)
- N.A. Sobolev. Physica B, 308-310, 333 (2001)
- N.A. Sobolev, A.M. Emel'yanov, R.N. Kyutt, Yu.A. Nikolaev. Sol. St. Phenomena, 69-70, 371 (1999)
- T. Trupke, M.A. Green, P. Wurfel, P.P. Altermatt, A. Wang, J. Zhao, R. Corkish. J. Appl. Phys., 94, 4930 (2003)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.