"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Редкоземельные элементы в технологии соединений AIIIB V и приборов на их основе
Гореленок А.Т.1, Каманин А.В.1, Шмидт Н.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 3 февраля 2003 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2003 г.

Обобщены результаты наших исследований по использованию редкоземельных элементов в жидкофазной эпитаксиальной технологии InP, InGaAsP, InGaAs, GaP и по созданию на их основе различных опто- и микроэлектронных приборов и структур, а также результаты по поверхностному геттерированию GaAs пленками редкоземельных элементов для получения высокоомного материала различного назначения.
  1. J. Mandelkorn, L. Schwartz, J. Broder, H. Kautz. J. Appl. Phys., 35, 2258 (1964)
  2. Н.Т. Баграев, Е.П. Бочкарев, Л.С. Власенко, В.П. Гришин, Р.А. Житников, Ю.А. Карпов. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 14, 614 (1978)
  3. Г.В. Лашкарев, А.И. Дмитриев, Г.А. Сукач, В.А. Шершель. ФТП, 5, 2075 (1971)
  4. С.И. Пышкин, С.И. Радуцан, С.В. Слободчиков. ФТП, 1, 1013 (1967)
  5. L.F. Zakharenkov, V.V. Kozlovskii, A.T. Gorelenok, N.M. Shmidt. In: Semiconductor Technology. Processing and Novel Fabrication Techniques (N. Y-Chichester-Weinheim-Brisbane-Singapore-Toronto, John Wiley \& Sons, Inc., 1997) p. 91
  6. A.T. Gorelenok, A.V. Kamanin, N.M. Shmidt. Microelectron. J., 26, 705 (1995)
  7. В.А. Касаткин, Ф.П. Кесаманлы, В.Г. Макаренко, Н.С. Целищева. ФТП, 15, 1414 (1981)
  8. H. Ennen, J. Schneider. J. Electron. Mater., 13, 114 (1984)
  9. В.Ф. Мастеров, Л.Ф. Захаренков. ФТП, 24, 610 (1984)
  10. H. Nakagome, K. Takahei. Jap. J. Appl. Phys., 28, L2098 (1989)
  11. K. Thonke, H.U. Hermann, J. Schneider. J. Phys. C: Sol. St. Phys., 21, 5881 (1988)
  12. D.L. Adler, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, M.A. Marcus, J.L. Benton, J.M. Poate, P.H. Citrin. Appl. Phys. Lett., 61, 2181 (1992)
  13. M.M. Factor, J. Haigh. US Patent C30B29/40 N 4339302 (1982)
  14. К.А. Гацоев, А.Т. Гореленок, С.И. Карпенко, В.В. Мамутин, Р.П. Сейсян. ФТП, 17, 2148 (1983)
  15. Н.Т. Баграев, Л.С. Власенко, К.А. Гацоев, А.Т. Гореленок, А.В. Каманин, В.В. Мамутин, Б.В. Пушный, В.К. Тибилов, Ю.П. Толпаров, А.Е. Шубин. ФТП, 18, 83 (1984)
  16. W. Korber, J. Weber, A. Hangleiter, K.W. Benz, H. Ennen, H.D. Muller. J. Cryst. Growth, 79, 741 (1986)
  17. A.V. Markov, A.Y. Polyakov, N.B. Smirnov, A.V. Govorkov, V.K. Eremin, E.M. Verbitskaya, V.N. Gavrin, Y.P. Kozlova, Y.P. Veretenkin, T.J. Bowles. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A, 439, 651 (2000)
  18. В.Ф. Андриевский, А.Т. Гореленок, Н.А. Загорельская, А.В. Каманин, Н.М. Шмидт. ФТП, 36, 404 (2002)
  19. F. Hulliger. In: Handbook on the Physics and Chemistry of Rare Earth, ed. by K.A. Schneider, L. Eyring (Amsterdam, North-Holland, 1979) v. 4, p. 153
  20. H. Nakagome, K. Takanei, Y. Homma. J. Cryst. Growth, 85, 345 (1987)
  21. O. Aina, M. Mattingly, S. Steinhauser, R. Mariella, Jr., A. Melas. J. Cryst. Growth, 21, 215 (1988)
  22. В.Н. Романенко, В.С. Хейфец. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 9, 190 (1973)
  23. В.Х. Байрамов, Л.Ф. Захаренков, Г.В. Ильменков, В.Ф. Мастеров, В.В. Торопов. ФТП, 23, 1496 (1989)
  24. А.Т. Гореленок, В.Г. Груздов, Р. Кумар, В.В. Мамутин, Т.А. Полянская, И.Г. Савельев, Ю.В. Шмарцев. ФТП, 22, 35 (1988)
  25. Ю.А. Карпов, В.В. Мазуренко, В.В. Петров, В.С. Просолович, В.Д. Ткачев. ФТП, 18, 368 (1984).
  26. В.Г. Голубев, А.Т. Гореленок, В.И. Иванов-Омский, В.В. Мамутин, И.Г. Минервин, А.В. Осутин. Письма ЖТФ, 11, 347 (1985)
  27. А.Т. Гореленок, В.В. Мамутин, Д.В. Пуляевский, Д.Н. Рехвиашвили, Н.М. Шмидт. ФТП, 21, 1514 (1987)
  28. А. Галаванаускас, А.Т. Гореленок, З. Добровольскис, С. Кершулись, Ю. Пожела, А. Реклайтис, Н.М. Шмидт. ФТП, 22, 1672 (1988)
  29. В. Балинас, А.Т. Гореленок, А. Кроткус, А. Сталненис, Н.М. Шмидт. ФТП, 24, 848 (1990)
  30. В.Г. Голубев, А.Т. Гореленок, В.И. Иванов-Омский, И.Г. Минервин, А.В. Осутин. Изв. АН СССР. Сер. физ., 50, 282 (1986)
  31. C. Aldreich, R.L. Greene. Phys. St. Sol. (b), 93, 343 (1979)
  32. Ж.И. Алфёров, А.Т. Гореленок, А.В. Каманин, В.В. Мамутин, Т.А. Полянская, И.Г. Савельев, И.И. Сайдашев, Ю.В. Шмарцев. ФТП, 18, 1230 (1984)
  33. А.Т. Гореленок, Д.Н. Рехвиашвили, М.Ю. Надточий, В.М. Устинов. Письма ЖТФ, 16 (8), 47 (1990)
  34. А.Т. Гореленок, Д.Н. Рехвиашвили, М.Ю. Надточий, В.М. Устинов. ФТП, 25, 908 (1991)
  35. А.Т. Гореленок, М.В. Шпаков. ФТП, 30, 488 (1996)
  36. A.T. Gorelenok, A.V. Kamanin, M.V. Shpakov. Inst. Phys. Conf. Ser., 155, 385 (1997)
  37. В.И. Борисов, А.Т. Гореленок, С.Г. Дмитриев, В.Е. Любченко, Д.Н. Рехвиашвили, А.С. Роганков. ФТП, 26, 611 (1992)
  38. Ж.И. Алфёров, А.Т. Гореленок, В.Г. Дальниченко, А.В. Каманин, В.И. Корольков, В.В. Мамутин, Т.С. Табаров, Н.М. Шмидт. Письма ЖТФ, 9, 1516 (1983)
  39. А.Т. Гореленок, В.Г. Данильченко, З.П. Добровольскис, В.И. Корольков, В.В. Мамутин, Т.С. Табаров, Н.М. Шмидт, Д.В. Пуляевский. ФТП, 19, 1460 (1985)
  40. В.М. Андреев, М.С. Богданович, А.Т. Гореленок, В.Г. Груздов, В.Г. Дальниченко, М.З. Жингарев, Н.Д. Ильинская, Л.Б. Карлина, В.И. Корольков, В.В. Мамутин, И.А. Мокина, Н.М. Сараджишвили, Л.М. Федоров, Н.М. Шмидт. ЖТФ, 55, 1566 (1985)
  41. В.М. Андреев, А.Т. Гореленок, М.З. Жингарев, Л.Е. Клячкин, В.В. Мамутин, Н.М. Сараджишвили, В.И. Скопина, О.В. Сулима, Н.М. Шмидт. ФТП, 19, 668 (1985)
  42. В.А. Волков, А.Т. Гореленок, В.Н. Лукьянов, И.А. Рачков, Д.Н. Рехвиашвили, Н.М. Шмидт, С.Д. Якубович. Письма ЖТФ, 12, 1059 (1987)
  43. K. Nishida, K. Taguchi, Y. Matsumoto. Appl. Phys. Lett., 35, 251 (1979)
  44. S.R. Forrest. IEEE J. Quant. Electron., 17, 217 (1981)
  45. O.K. Kim, S.R. Forrest, W.A. Bonner, R.G. Smith. Appl. Phys. Lett., 39, 402 (1981)
  46. Ж.И. Алфёров, М.Г. Васильев, А.Т. Гореленок, Н.Д. Ильинская, Н.Г. Лозовая, В.В. Мамутин, Т.А. Маркова, А.А. Шелякин. Письма ЖТФ, 8, 722 (1982)
  47. М.С. Богданович, В.И. Корольков, Н. Рахимов, Т.С. Табаров. Письма ЖТФ, 11, 89 (1985)
  48. А.Т. Гореленок, В.Г. Груздов, В.Г. Дальниченко, Н.Д. Ильинская, В.И. Корольков, В.В. Мамутин, И.А. Мокина, Н.М. Сараджишвили, Т.С. Табаров, Н.М. Шмидт. Письма ЖТФ, 10, 1294 (1984)
  49. S. Loualiche, H. L'Haridon, A. Le Corre, D. Lecrosnier, M. Salvi, P.N. Favennec. Appl. Phys. Lett., 52, 540 (1988)
  50. Ж.И. Алфёров, В.И. Босый, А.Т. Гореленок, А.В. Иващук, Н.Д. Ильинская, М.Н. Мизеров, И.А. Мокина, Д.Н. Рехвиашвили, Н.М. Шмидт. Письма ЖТФ, 14, 2001 (1988)
  51. А.Т. Гореленок, В.Л. Крюков, Г.П. Фурманов. Письма ЖТФ, 20 (13), 60 (1994)
  52. N. Shmidt, A. Gorelenok, V.V. Emtsev, A. Kamanin, A. Markov, M. Mezdrogina, D.S. Poloskin, L. Vlasenko. Sol. St. Phenomena, 69-70, 279 (1999)
  53. Л.С. Власенко, А.Т. Гореленок, В.В. Емцев, А.В. Каманин, Д.С. Полоскин, Н.М. Шмидт. ФТП, 35, 184 (2001)
  54. Л.С. Власенко, А.Т. Гореленок, В.В. Емцев, А.В. Каманин, С.И. Кохановский, Д.С. Полоскин, Н.М. Шмидт. Письма ЖТФ, 21 (1), 19 (2001)
  55. В.Ф. Андриевский, А.Т. Гореленок, Н.А. Загорельская, А.В. Каманин, Н.М. Шмидт. ФТП, 36, 404 (2002)
  56. В.Ф. Андриевский, А.Т. Гореленок, Н.А. Загорельская, А.В. Каманин, Н.М. Шмидт. Письма ЖТФ, 27 (23), 67 (2001)
  57. L. Pavesi, M. Guzzi. J. Appl. Phys., 75, 4779 (1994)
  58. A.T. Gorelenok, V.F. Andrievskii, A.V. Kamanin, S.I. Kokhanovskii, M.M. Mezdrogina, N.M. Shmidt, V.I. Vasil'ev. J. Phys. Condens Matter., 14, 13 105 (2002)
  59. A.T. Gorelenok, V.F. Andrievskii, A.V. Kamanin, S.I. Kokhanovskii, N.M. Shmidt. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 186, 240 (2002)
  60. A.T. Gorelenok, V.F. Andrievskii, A.V. Kamanin, S.I. Kokhanovskii, N.M. Shmidt. Proc-2001 European Microwave Week: GaAs' 2001 Conference (Sept. 24-25 2001, London, England) p. 13.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.