Вышедшие номера
Влияние резко неравновесных условий на стехиометрию состава слоя теллурида кадмия, конденсируемого из паровой фазы
Беляев А.П.1, Рубец В.П.1, Нуждин М.Ю.1, Калинкин И.П.1
1Санкт-Петербургский государственный технологический институт (Технический университет), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 29 октября 2002 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.

Сообщается о результатах сравнительных исследований стехиометрии состава эпитаксиальных пленок теллурида кадмия, синтезированных из паровой фазы в равновесных и резко неравновесных условиях (на охлажденных подложках). Приводятся данные микрорентгеноструктурного и атомно-абсорбционного анализа пленок и паровой фазы. Выявлено повышение стехиометричности состава при понижении температуры подложки. Показано, что наиболее совершенную кристаллическую структуру имеют пленки, синтезированные в резко неравновесных условиях.