"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
XXVI Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника", Нижний Новгород, 14-17 марта 2022 г. Влияние химической пассивации поверхности GaAs(001) на анизотропию и ориентацию образующихся на ней нанокластеров золота и их плазмонов
Russian Foundation for Basic Research, 20-02-00257a
Берковиц В.Л.1, Кособукин В.А. 1, Улин В.П.1, Алексеев П.А.1, Солдатенков Ф.Ю.1, Левицкий В.А.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2НТЦ тонкопленочных технологий, Санкт-Петербург, Россия
Email: vladimir.berkovits@mail.ioffe.ru, vladimir.kosobukin@mail.ioffe.ru, vladimir_ulin@rambler.ru, npoxep@gmail.com, f.soldatenkov@mail.ioffe.ru, lev-vladimir@yandex.ru
Поступила в редакцию: 2 марта 2022 г.
В окончательной редакции: 25 марта 2022 г.
Принята к печати: 25 марта 2022 г.
Выставление онлайн: 11 июня 2022 г.

Обсуждается принципиальная роль химической пассивации поверхности GaAs в формировании на ней анизотропных ориентированных нанокластеров золота. Нанокластеры создаются методом термического отжига пленки Au, нанесенной на поверхность GaAs(001), которая предварительно пассивируется монослоем атомов азота или серы. Эти атомы, валентно связанные с атомами галлия поверхности кристалла и образующие кристаллическую решетку, предотвращают химическое взаимодействие Au с GaAs. В результате отжига на пассивированных поверхностях GaAs(001) образуются массивы анизотропных (вытянутых) нанокластеров химически чистого Au, которые ориентированы преимущественно в направлении [1=10] кристалла. Наличие сильной анизотропии и ориентации кластеров Au на пассивированных поверхностях GaAs установлено методами зондовой диагностики и оптическими методами дифференциальной спектроскопии анизотропного отражения и спектроскопии отражения поляризованного света. На основе оптической модели плазмонной поляризуемости вытянутых сфероидов Au показано, что резонансные спектральные особенности, которые наблюдаются в поляризованном отражении, обусловлены анизотропными плазмонами кластеров Au, поляризованными преимущественно в направлении [1=10] кристалла. Ключевые слова: поверхность полупроводника, нитридная пассивация, нанокластеры золота, анизотропные плазмоны, поляризованное отражение.
  1. R.M. Charatan, R.S. Williams. J. Appl. Phys., 72, 5226 (1992)
  2. V.L. Berkovits V.A. Kosobukin, V.P. Ulin, F.Yu. Soldatenkov, I.V. Makarenko, V.S. Levitskii, A.V. Nashchekin, P.A. Alekseev. Appl. Surf. Sci., 507, 144982 (2020)
  3. V.L. Berkovits, V.A. Kosobukin, V.P. Ulin, P.A. Alekseev, F.Yu. Soldatenkov, V.S. Levitskii. Phys. Status Solidi B, 259, 2100394 (2022)
  4. V.L. Berkovits, V.A. Kosobukin, V.P. Ulin, P.A. Alekseev, F.Yu. Soldatenkov, V.A. Levitskii. ФТП, 56 (4), 446 (2022)
  5. G.P. Schwartz, J.E. Griffits, D. Distefano, G.L. Gualtieri, B. Schwartz. Appl. Phys. Lett., 34, 742 (1972)
  6. R.L. Streever, J.L. Breslin, E.H. Ahlstrom. Solid State Electron., 23, 863 (1980)
  7. C.R. Zeisse, L.J. Messick, D.L. Lile. J. Vac. Sci. Technol., 14, 957 (1977)
  8. V.R. Romanyuk, O.S. Kondratenko, S.V. Kondratenko, A.V. Kotko, N.L. Dmitruk. Eur. Phys. J. Appl. Phys., 56, 10302 (2011)
  9. M.J. Rost, D.A. Quist, J.W.M. Frenken. Phys. Rev. Lett., 91, 026101 (2003)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.