Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Многослойная сенсорная структура на основе пористого кремния
Переводная версия: 10.21883/SC.2022.06.53542.9819 
1Омский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук, Омск, Россия 
Email: knyazev@obisp.oscsbras.ru.
Поступила в редакцию: 24 февраля 2022 г.
В окончательной редакции: 2 марта 2022 г.
Принята к печати: 2 марта 2022 г.
Выставление онлайн: 29 апреля 2022 г.
Работа посвящена созданию сенсорной структуры на основе мембраны пористого кремния. В исследуемой структуре интегрированный пористый слой используется как газотранспортный слой и газочувствительный слой нестехиометрического оксида олова. В работе исследованы морфология структуры и показана газопроницаемость мембраны на пористом кремнии. Исследована газовая чувствительность полученной тестовой структуры при пропускании газовоздушной смеси, содержащей NO2. Ключевые слова: пористый кремний, мембрана, нестехиометрический оксид олова, тонкие пленки, резистивный газовый сенсор.
- M.H. Kareem, A.M. Abdul Hussein, H. Talib Hussein. J. Mech. Behav. Mater., 30, 257 (2021)
- Г.О. Силаков, О.В. Воловликова, С.А. Гаврилов, А.В. Железнякова, А.А. Дудин. ФТП, 54, 743 (2020)
- S.V. Malokhatko, E.Yu. Gusev, E.A. Rassolov, A.M. Khannanov, O.A. Ageev. J. Phys.: Conf. Ser., 1695, 012183 (2020)
- E.M. Loginova, D.A. Shishkina, M.A. Zhuravleva. J. Phys.: Conf. Ser., 2086, 012114 (2021)
- H. Hagino, S. Tanaka, N. Tanimura, K. Miyazaki. Int. J. Thermophys., 36, 2548 (2015)
- I.-N. Bratosin, P. Varasteanu, C. Romanitan, A. Bujor, O. Tutunaru, A. Radoi, M. Kusko. J. Phys. Chem. C, 125 (11), 6043 (2021)
- Y. Li, N.V. Toan, Zh. Wang, Kh. Fadzli Bin Samat, T. Ono. Nanoscale Res. Lett., 16, 64 (2021)
- J.H. Bang, M.S. Choi, A. Mirzaei, W. Oum, S. Han, S.S. Kim, H.W. Kim. Ceramics International, 46, 604 (2020)
- S. Mariani, A. Paghi, A.A. La Mattina, A. Debrassi, L. Dahne, G. Barillaro. ACS Appl. Mater. Interfaces, 11, 43731 (2019)
- О.В. Лебедева, Е.И. Сипкина, Ю.Н. Пожидаев. Мембраны и мембранные технологии, 6, 138 (2016)
- R. Vercauteren, G. Scheen, J.-P. Raskin, L.A. Francis. Sensors Actuators A, 318, 112486 (2021)
- N. Andre, B. Rue, G. Scheen, D. Flandre, L.A. Francis, J.-P. Raskin. Sensors Actuators A, 206, 67 (2014)
- В.В. Болотов, В.Е. Росликов, Е.А. Росликова, К.Е. Ивлев, В.Е. Князев, Н.А. Давлеткильдеев. ФТП, 48 (3), 412 (2014)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
