"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Многослойная сенсорная структура на основе пористого кремния
Болотов В.В.1, Князев Е.В.1, Пономарева И.В.1, Ивлев К.Е.1
1Омский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук, Омск, Россия
Email: knyazev@obisp.oscsbras.ru.
Поступила в редакцию: 24 февраля 2022 г.
В окончательной редакции: 2 марта 2022 г.
Принята к печати: 2 марта 2022 г.
Выставление онлайн: 29 апреля 2022 г.

Работа посвящена созданию сенсорной структуры на основе мембраны пористого кремния. В исследуемой структуре интегрированный пористый слой используется как газотранспортный слой и газочувствительный слой нестехиометрического оксида олова. В работе исследованы морфология структуры и показана газопроницаемость мембраны на пористом кремнии. Исследована газовая чувствительность полученной тестовой структуры при пропускании газовоздушной смеси, содержащей NO2. Ключевые слова: пористый кремний, мембрана, нестехиометрический оксид олова, тонкие пленки, резистивный газовый сенсор.
  1. M.H. Kareem, A.M. Abdul Hussein, H. Talib Hussein. J. Mech. Behav. Mater., 30, 257 (2021)
  2. Г.О. Силаков, О.В. Воловликова, С.А. Гаврилов, А.В. Железнякова, А.А. Дудин. ФТП, 54, 743 (2020)
  3. S.V. Malokhatko, E.Yu. Gusev, E.A. Rassolov, A.M. Khannanov, O.A. Ageev. J. Phys.: Conf. Ser., 1695, 012183 (2020)
  4. E.M. Loginova, D.A. Shishkina, M.A. Zhuravleva. J. Phys.: Conf. Ser., 2086, 012114 (2021)
  5. H. Hagino, S. Tanaka, N. Tanimura, K. Miyazaki. Int. J. Thermophys., 36, 2548 (2015)
  6. I.-N. Bratosin, P. Varasteanu, C. Romanitan, A. Bujor, O. Tutunaru, A. Radoi, M. Kusko. J. Phys. Chem. C, 125 (11), 6043 (2021)
  7. Y. Li, N.V. Toan, Zh. Wang, Kh. Fadzli Bin Samat, T. Ono. Nanoscale Res. Lett., 16, 64 (2021)
  8. J.H. Bang, M.S. Choi, A. Mirzaei, W. Oum, S. Han, S.S. Kim, H.W. Kim. Ceramics International, 46, 604 (2020)
  9. S. Mariani, A. Paghi, A.A. La Mattina, A. Debrassi, L. Dahne, G. Barillaro. ACS Appl. Mater. Interfaces, 11, 43731 (2019)
  10. О.В. Лебедева, Е.И. Сипкина, Ю.Н. Пожидаев. Мембраны и мембранные технологии, 6, 138 (2016)
  11. R. Vercauteren, G. Scheen, J.-P. Raskin, L.A. Francis. Sensors Actuators A, 318, 112486 (2021)
  12. N. Andre, B. Rue, G. Scheen, D. Flandre, L.A. Francis, J.-P. Raskin. Sensors Actuators A, 206, 67 (2014)
  13. В.В. Болотов, В.Е. Росликов, Е.А. Росликова, К.Е. Ивлев, В.Е. Князев, Н.А. Давлеткильдеев. ФТП, 48 (3), 412 (2014)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.