"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние условий осаждения из паров металлоорганических соединений на получение эпитаксиальных слоев n-CdTe с использованием изопропилиодида
Моисеев А.Н. 1, Евстигнеев В.С. 1, Чилясов А.В.1, Костюнин М.В.1
1Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых РАН, Нижний Новгород, Россия
Email: moiseev@ihps-nnov.ru, evstigneev@ihps-nnov.ru, chil@ihps-nnov.ru
Поступила в редакцию: 12 ноября 2021 г.
В окончательной редакции: 15 ноября 2021 г.
Принята к печати: 15 ноября 2021 г.
Выставление онлайн: 26 декабря 2021 г.

Исследовано вхождение иода из изопропилиодида в слои CdTe в процессе металлоорганической парофазной эпитаксии в зависимости от условий осаждения. Рост слоев вели из паров диметилкадмия (ДМК) и диэтилтеллура (ДЭТ) в потоке водорода в вертикальном реакторе с зоной предварительного распада при общем давлении 20 кПа. Общую концентрацию иода определяли методом вторичной ионной масс-спектрометрии, электрически активную концентрацию - из измерения эффекта Холла. Вхождение иода зависит от кристаллографической ориентации подложки (изучены (100), (310), (111)А, (111)В, (211)А и (211)В), концентрации легирующего прекурсора (интервал потоков 5·10-8-3·10-6 моль/мин), соотношения металлоорганических соединений (ДМК/ДЭТ = 0.25-4), температуры роста (335-390oC) и стенок реактора выше пьедестала (зона прекрекинга 290-320oС). Общая концентрация иода достигала 5·1018 см-3, а степень его активации ~4%. После последующего термического отжига в парах кадмия при 500oC степень активации повышалась до ~100%. Ключевые слова: эпитаксиальные слои, металлоорганическая парофазная эпитаксия, CdTe, легирование иодом, изопропилиодид, термический отжиг.
  1. C. Szeles. Phys. Status Solidi B, 241 (3), 783 (2004)
  2. J.M. Burst, J.N. Duenow, D.S. Albin, E. Colegrove, M.O. Reese, J.A. Aguiar, C.-S. Jiang, M.K. Patel, M.M. Al-Jassim, D. Kuciauskas, S. Swain, T. Ablekim, K.G. Lynn, W.K. Metzger. Nature Energy, 1 (3), 1 (2016)
  3. В.С. Евстигнеев, А.В. Чилясов, А.Н. Моисеев, М.В. Костюнин. Неорг. матер., 55 (10), 1040 (2019)
  4. В.С. Евстигнеев, В.С. Варавин, А.В. Чилясов, В.Г. Ремесник, А.Н. Моисеев, Б.С. Степанов. ФТП, 52 (6), 554 (2018)
  5. R. Sporken, S. Sivananthan, K.K. Mahavadi, G. Monfroy, M. Boukerche, J.P. Faurie. Appl. Phys. Lett., 55 (18), 1879 (1989)
  6. C.D. Maxey, J.P. Camplin, I.T. Guilfoy, J. Gardner, R.A. Lockett, C.L. Jones, P. Capper, M. Houlton, N.T. Gordon. J. Electron. Mater., 32 (7), 656 (2003)
  7. А.В. Чилясов, А.Н. Моисеев, В.С. Евстигнеев, Б.С. Степанов, М.Н. Дроздов. Неорг. матер., 52 (12), 1284 (2016)
  8. V.S. Evstigneev, A.V. Chilyasov, A.N. Moiseev, M.V. Kostunin. TSF, 689, 137514 (2019)
  9. K. Yasuda, Y. Tomita, Y. Masuda, T. Ishiguro, Y. Kawauchi, H. Morishita, Y. Agata. J. Electron. Mater., 31 (7), 785 (2002)
  10. M. Niraula, K. Yasuda, R. Torii, Y. Higashira, R. Tamura, B.S. Chaudhari, T. Kobayashi, H. Goto, S. Fujii Y. Agata. J. Electron. Mater., 49 (11), 6996 (2020)
  11. P.Y. Su, R. Dahal, G.C. Wang, S. Zhang, T.M. Lu, I.B. Bhat. J. Electron. Mater., 44 (9), 3118 (2015)
  12. S. Murakami, T. Okamoto, K. Maruyama, H. Takigawa. Appl. Phys. Lett., 63 (7), 899 (1993)
  13. M. Niraula, T. Aoki, Y. Nakanishi, Y. Hatanaka. J. Cryst. Growth, 200 (1), 90 (1999)
  14. D. Brun-Le-Cunff, T. Baron, B. Daudin, S. Tatarenko, B. Blanchard. Appl. Phys. Lett., 67 (7), 965 (1995)
  15. N.C. Giles, J. Lee, D. Rajavel, C.J. Summers. J. Appl. Phys., 73 (9), 4541 (1993)
  16. R. Bhat, C. Caneau, C.E. Zah, M.A. Koza, W.A. Bonner, D.M. Hwang, S.A. Schwarz, S.G. Menocal, F.G. Favire. J. Cryst. Growth, 107, 772 (1991)
  17. M. Kondo, C. Anayama, T. Tanahashi, S. Yamazaki. J. Cryst. Growth, 124, 449 (1992)
  18. В.С. Евстигнеев, А.В. Чилясов, А.Н. Моисеев, С.В. Морозов, Д.И. Курицын. ФТП, 55 (1), 9 (2021)
  19. G.B. Stringfellow. J. Cryst. Growth, 75 (1), 91 (1986)
  20. D.V. Forbes, J.J. Coleman. MRS Online Proceedings Library (OPL), 340, 289 (1994)
  21. S. Seto, A. Tanaka, Y. Masa, M. Kawashima. J. Cryst. Growth, 117, 271 (1992)
  22. Y. Marfaing. TSF, 387, 123 (2001)
  23. J.E. Hails, D.J. Cole-Hamilton, W. Bell. J. Cryst. Growth, 145, 596 (1994)
  24. J.B. Mullin, S.J.C. Irvine, D.J. Ashen. J. Cryst. Growth, 55, 92 (1981)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.