"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние термического отжига на оптические и фотоэлектрические свойства пленок микрокристаллического гидрированного кремния
Казанский А.Г.1, Мелл Х.2, Форш П.А.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Philipps-Universitat Marburg, Marburg, Germany
Поступила в редакцию: 6 июня 2002 г.
Выставление онлайн: 20 января 2003 г.

Исследовано влияние термического отжига в интервале температур Ta=300-600oC пленок микрокристаллического гидрированного кремния (mu c-Si : H), слабо легированного бором, на спектральные зависимости коэффициента поглощения (alpha) в области энергий фотонов hnu=0.8-2.0 эВ, темновую проводимость (sigmad) и фотопроводимость (Deltasigmaph). Измерения проводились при комнатной температуре. С увеличением температуры отжига наблюдалось немонотонное изменение alpha в области энергий hnu<1.2 эВ, sigmad и Deltasigmaph. Полученные результаты объясняются изменением концентрации электрически активных примесей и образованием дефектов вследствие вызванной отжигом эффузии водорода, а также реструктуризацией связей при высоких температурах отжига.
  1. H. Stiebig, T. Brammer, J. Zimmer, O. Vetterl, H. Wagner. J. Non-Cryst. Sol., 266-269, 1104 (2000)
  2. Y. Uchida, T. Ichimura, M. Ufno, H. Haruki. Jap. J. Appl. Phys., 21, L586 (1982)
  3. D. Will, C. Lerner, W. Fuhs, K. Lips. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 467, 361 (1997)
  4. M. Kondo, S. Yamasaki, A. Matsuda. J. Non-Cryst. Sol., 266-269, 544 (2000)
  5. K. Lips, P. Kanschat, D. Will, C. Lerner, W. Fuhs. J. Non-Cryst. Sol., 227-230, 1021 (1998)
  6. R. Fluckiger, J. Meier, M. Goetz, A. Shah. J. Appl. Phys., 77, 712 (1995)
  7. N. Beck, J. Meier, J. Fric, Z. Remes, A. Poruba, R. Fluckiger, J. Pohl, A. Shah, M. Vanecek. J. Non-Cryst. Sol., 198-200, 903 (1996)
  8. T. Itoh, K. Yamamoto, K. Ushikoshi, S. Nonomura, S. Nita. J. Non-Cryst. Sol., 266-269, 201 (2000)
  9. И.А. Курова, А.Н. Лупачева, Н.В. Мелешко, Э.В. Ларина. ФТП, 28, 1092 (1994)
  10. J.W. Orton, M.J. Powell. Rep. Progr. Phys., 43, 81 (1980)
  11. А.Г. Казанский, Х. Мелл, Е.И. Теруков, П.А. Форш. ФТП, 36, 41 (2002)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.