Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Влияние термического отжига на оптические и фотоэлектрические свойства пленок микрокристаллического гидрированного кремния

Казанский А.Г.¹, Мелл Х.², Форш П.А.¹

¹Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia

²Philipps-Universitat Marburg, Marburg, Germany

Поступила в редакцию: 6 июня 2002 г.

Выставление онлайн: 20 января 2003 г.

PDF версия

Исследовано влияние термического отжига в интервале температур T_a=300-600^oC пленок микрокристаллического гидрированного кремния (mu c-Si : H), слабо легированного бором, на спектральные зависимости коэффициента поглощения (alpha) в области энергий фотонов hnu=0.8-2.0 эВ, темновую проводимость (sigma_d) и фотопроводимость (Deltasigma_ph). Измерения проводились при комнатной температуре. С увеличением температуры отжига наблюдалось немонотонное изменение alpha в области энергий hnu<1.2 эВ, sigma_d и Deltasigma_ph. Полученные результаты объясняются изменением концентрации электрически активных примесей и образованием дефектов вследствие вызванной отжигом эффузии водорода, а также реструктуризацией связей при высоких температурах отжига.

H. Stiebig, T. Brammer, J. Zimmer, O. Vetterl, H. Wagner. J. Non-Cryst. Sol., 266-269, 1104 (2000)
Y. Uchida, T. Ichimura, M. Ufno, H. Haruki. Jap. J. Appl. Phys., 21, L586 (1982)
D. Will, C. Lerner, W. Fuhs, K. Lips. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 467, 361 (1997)
M. Kondo, S. Yamasaki, A. Matsuda. J. Non-Cryst. Sol., 266-269, 544 (2000)
K. Lips, P. Kanschat, D. Will, C. Lerner, W. Fuhs. J. Non-Cryst. Sol., 227-230, 1021 (1998)
R. Fluckiger, J. Meier, M. Goetz, A. Shah. J. Appl. Phys., 77, 712 (1995)
N. Beck, J. Meier, J. Fric, Z. Remes, A. Poruba, R. Fluckiger, J. Pohl, A. Shah, M. Vanecek. J. Non-Cryst. Sol., 198-200, 903 (1996)
T. Itoh, K. Yamamoto, K. Ushikoshi, S. Nonomura, S. Nita. J. Non-Cryst. Sol., 266-269, 201 (2000)
И.А. Курова, А.Н. Лупачева, Н.В. Мелешко, Э.В. Ларина. ФТП, 28, 1092 (1994)
J.W. Orton, M.J. Powell. Rep. Progr. Phys., 43, 81 (1980)
А.Г. Казанский, Х. Мелл, Е.И. Теруков, П.А. Форш. ФТП, 36, 41 (2002)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель