"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Синтез новых углерод-азотных нанокластеров при термическом отжиге в атмосфере азота алмазоподобных пленок углерода
Файзрахманов И.А.1, Базаров В.В.1, Курбатова Н.В.1, Хайбуллин И.Б.1, Степанов А.Л.1,2
1Казанский физико-технический институт Российской академии наук, Казань, Россия
2Институт физики 1, Технический университет Аахена, Аахен, Германия
Поступила в редакцию: 22 мая 2002 г.
Выставление онлайн: 20 января 2003 г.

Приведены сравнительные исследования влияния термического отжига (при 400oC) в вакууме и в атмосфере азота с примесью кислорода на оптические свойства и спектры комбинационного рассеяния углеродных пленок. Обнаружены их аномальные изменения при отжиге в атмосфере азота: коэффициент поглощения пленок в видимой области спектра уменьшается приблизительно на 2 порядка, а в спектрах комбинационного рассеяния исчезает характерная полоса от графеновых нанокластеров и появляются несколько новых --- узкие полосы на частотах 928, 968 и 2324 см-1 и широкая полоса в области 2200--2400 см-1. Установлено, что эти изменения носят обратимый характер. Полученные результаты свидетельствуют о формировании нового типа углерод-азотных нанокластеров при определенных условиях термоотжига углеродных пленок.
  1. J. Robertson. Adv. Phys., 35, 317 (1986)
  2. R.O. Dillon, John A. Woollam, V. Katkanant. Phys. Rev. B, 29, 3482 (1984)
  3. И.А. Файзрахманов, В.В. Базаров, В.А. Жихарев, И.Б. Хайбуллин. ФТП, 35, 612 (2001)
  4. I.A. Faizrakhmanov, V.V. Bazarov, V.A. Zhikharev, A.L. Stepanov, I.B. Khaibullin. Vacuum, 62, 15 (2001)
  5. J.H. Kaufman, S. Metin, D.D. Saperstein. Phys. Rev. B, 39, 13 053 (1989)
  6. В.И. Иванов-Омский, Э.А. Сморгонская. ФТП, 32, 931 (1998)
  7. И.А. Файзрахманов, И.Б. Хайбуллин. Поверхность, 5, 88 (1996)
  8. Ri Sung Gi, K. Tashiro, S. Tanaka, T. Fujisawa, H. Kimura, T. Kurosu, M. Iida. Jap. J. Appl. Phys., 38, 3492 (1999)
  9. K. Lmimouni, C. Legrand, C. Dufour, A. Chapoton, C. Belouet. Appl. Phys. Lett., 78 (17), 2437 (2001)
  10. J. Schwan, V. Batori, S. Ulrich, H. Ehrhardt, S.R.P. Silva. J. Appl. Phys., 84, 2071 (1998)
  11. J. Ullmann. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 127/128, 910 (1997)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.