"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Самоорганизация лазерноиндуцированных точечных дефектов на начальных стадиях неупругих фотодеформаций германия
Винценц С.В.1, Зайцева А.В.2, Плотников Г.С.2
1Институт радиотехники и электроники Российской академии наук, Фрязино, Россия
2Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 13 июня 2002 г.
Выставление онлайн: 20 января 2003 г.

Методом атомно-силовой микроскопии изучены особенности формирования поверхностного рельефа германия на начальных стадиях многократного фотодеформирования полупроводника. Упругие и неупругие деформации твердого тела вызывались его сканирующим импульсным лазерным облучением. Во время упругих фотодеформаций германия изменения исходного нанорельефа поверхности не детектируются, тогда как после неупругих деформаций мы обнаружили низкопороговое формирование упорядоченных поверхностных наноструктур. Обсуждается взаимосвязь эффекта с лазерно-индуцированной генерацией точечных дефектов вблизи порогов возникновения неупругих деформаций полупроводника.
  1. В.Э. Гусев, А.А. Карабутов. Лазерная оптоакустика (М., Наука, 1991)
  2. В.П. Жаров, В.С. Летохов. Лазерная оптико-акустическая спектроскопия (М., Наука, 1984)
  3. А.Г. Барсков, С.В. Винценц. ФТТ, 36 (9), 2590 (1994)
  4. С.В. Винценц, С.Г. Дмитриев. ЖТФ, 67 (2), 105 (1997)
  5. С.А. Ахманов, В.Э. Гусев. УФН, 162 (3), 3 (1992)
  6. Л.М. Лямшев. Лазерное термоакустическое возбуждение звука (М., Наука, 1989)
  7. R.F. Wood, C.W. White, R.T. Young. Semicond. Semimet., 23 (1984)
  8. А.В. Двуреченский, Г.А. Качурин, Е.В. Нидаев, Л.С. Смирнов. Импульсный отжиг полупроводниковых материалов (М., 1982)
  9. Proc. 8th Int. Top. Meet. On Photoacoustic and Photothermal Phenomena (Paris, 1994)
  10. С.В. Винценц, С.Г. Дмитриев, О.Г. Шагимуратов. ФТТ, 38 (4), 993 (1996)
  11. С.В. Винценц, С.Г. Дмитриев, К.И. Спиридонов. ФТТ, 39 (12), 2224 (1997)
  12. S.V. Vintsents, V.B. Sandomirskii. Phys. St. Sol. (a), 133, K7 (1992)
  13. С.В. Винценц, В.И. Миргородский, Ш.С. Халилов. Поверхность, 9, 157 (1990)
  14. S.V. Vintsents, V.F. Kiselev, N.L. Levshin, V.B. Sandomirsky. Surf. Sci., 241, 225 (1991)
  15. С.В. Винценц, Н.Л. Левшин. Поверхность, 2, 67 (1993)
  16. В.И. Емельянов, П.К. Кашкаров. Поверхность, 2, 77 (1990)
  17. П.К. Кашкаров, В.Ф. Киселев. Изв. АН СССР. Сер. физ., 50, 3, 435 (1986)
  18. В.А. Зуев, В.Г. Литовченко, Г.А. Сукач, Н.М. Торчун. Укр. Физ. Журн., 21 (5), 752 (1976)
  19. V.I. Emel'yanov, P.K. Kashkarov. Appl. Phys. A, 55, 161 (1992)
  20. С.В. Винценц, С.Г. Дмитриев. Письма ЖТФ, 21 (19), 1 (1995)
  21. С.В. Винценц, С.Г. Дмитриев. О.Г. Шагимуратов. Письма ЖТФ, 22 (8), 8 (1996)
  22. С.В. Винценц, А.В. Зотеев, Г.С. Плотников. ФТП, 36, 902 (2002)
  23. С.В. Винценц, С.Г. Дмитриев, Р.А. Захаров, Г.С. Плотников. ФТП, 31, 513 (1997)
  24. С.В. Винценц, В.Б. Зайцев, А.В. Зотеев, Г.С. Плотников, А.И. Родионов, А.В. Червяков. ФТП, 36, 947 (2002)
  25. А.С. Филонов, И.В. Яминский. Руководство пользователя пакета программного обеспечения для управления зондовым микроскопом и обработки изображений ФемтоСкан-001" (М., ЦПТ, 1999)
  26. C.S. Lee, N. Koumvakalis, M. Bass. Appl. Phys. Lett., 47, 625 (1982); Opt. Eng., 22, 419 (1983)
  27. S.S. Cohen, J.B. Bernstein, P.W. Wyatt. J. Appl. Phys., 71, 630 (1992)
  28. P.M. Fauchet. Phys. Lett., 93A, 155 (1993)
  29. А.Г. Барсков, С.В. Винценц, Г.Г. Дворянкина, З.М. Лебедева, В.Е. Любченко, А.Б. Ормонт, А.Г. Петров. Поверхность, 3, 79 (1995)
  30. В.П. Вейко, Г.В. Дрейден, Ю.Н. Островский, И.В. Семенова, Е.А. Шахно. ЖТФ, 60 (4), 162 (1990)
  31. И.А. Коновалов, К.С. Скляренко, С.К. Скляренко. Письма ЖТФ, 20 (6), 26 (1994)
  32. А.М. Бонч-Бруевич, А.М. Коченгина, М.Н. Либенсон, В.С. Макин, С.Д. Пудков, В.В. Трубаев. Изв. АН СССР. Сер. физ. 46, 1186 (1982)
  33. J.E. Sipe, J.F. Young, J.S. Preston, H.M. van Driel. Phys. Rev. B, 27, 1141 (1983); Phys. Rev. B, 27, 1155 (1983)
  34. С.А. Ахманов, В.И. Емельянов, Н.И. Коротеев, В.Н. Семиногов. УФН, 147, 675 (1985)
  35. Ю.И. Головин, А.И. Тюрин. ФТТ, 42, 1818 (2000)
  36. В.П. Алехин. Физика прочности и пластичности поверхностных слоев материалов (М., Наука, 1983)
  37. Б.Л. Володин, В.И. Емельянов, Ю.Г. Шлыков. Квант. электрон., 20 (1), 57 (1993)
  38. В.И. Емельянов. Квант. электрон., 28 (1), 2 (1999)
  39. В.И. Емельянов, П.К. Кашкаров, Н.Г. Чеченин, Т. Дитрих. ФТТ, 30, 2259 (1988)
  40. Дж. Эшелби. Континуальная теория дислокаций (М., Мир, 1963)
  41. В.С. Вавилов, А.Е. Кив, О.Р. Ниязова. Механизмы образования и миграции дефектов в полупроводниках (М., Наука, 1981)
  42. В.П. Вейко, И.А. Дорофеев, Я.А. Имас, Т.И. Калугина, М.Н. Либенсон, Г.Д. Шандыбина. Письма ЖТФ, 10, 15 (1984)
  43. В.П. Вейко, Я.А. Имас, М.Н. Либенсон, Г.Д. Шандыбина, Е.Б. Яковлев. Изв. АН СССР. Сер. физ., 49, 1236 (1985)
  44. Ф.Х. Мирзоев, В.Я. Панченко, Л.А. Шелепин. УФН, 166 (1), 3 (1996)
  45. Н.В. Карлов, Н.А. Кириченко, Б.С. Лукьянчук. Лазерная термохимия (М., Наука, 1992) гл. 15
  46. С.В. Винценц, В.И. Миргородский. Тр. IX Всес. симп. Электронные процессы на поверхности и в тонких слоях полупроводников" (Новосибирск, 1988) ч. 1, с. 87
  47. S.V. Vintsents. XVI Int. Conf. Coherent and Nonlinear Optics. Technical Digest, WM 23 (Moscow, 1998)
  48. В.В. Воронков, Г.И. Воронкова, М.И. Иглицин. ФТП, 6 (1), 20 (1972).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.