Влияние водородной плазмы на спектр электроотражения и спектр электронных состояний пористого кремния
Венгер Е.Ф.1, Голиней Р.Ю.1, Матвеева Л.А.1, Васин А.В.1
1Институт физики полупроводников Национальной академии нaук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 26 апреля 2002 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2002 г.
Методом модуляционной спектроскопии электроотражения исследовались образцы пористого кремния. Показано наличие мини-зон, ответственных за существование фотолюминесцентных полос (красная, зеленая и голубая). Установлено исчезновение мини-зоны, отвечающей за полосу в голубой области спектра, при обработке поверхности пористого кремния в H+-плазме. Пассивация поверхности водородом также приводит к релаксации механических напряжений, как в пористой пленке, так и в кремниевой подложке. Установлена природа электронных состояний в запрещенной зоне кремниевых нанокристаллитов.
- С.В. Свечников, А.В. Саченко, Г.А. Сукач и др. Оптоэлектрон. и полупроводн. техн., 27, 3 (1994)
- А.В. Саченко, Э.Б. Каганович, Э.Г. Манойлов, С.В. Свечников. ФТП, 35 (12), 1445 (2001)
- L.T. Canham. Appl. Phys. Lett., 57, 1046 (1990)
- A.J. Kontkiewicz, A.M. Kontkiewicz, J. Siejka, S. Sen, G. Nowak, A.M. Hoff, P. Sakthivel, K. Ahmed, P. Mukherjee, S. Watanachchi, J. Lagowski. Appl. Phys. Lett., 65 (11), 1436 (1994)
- R.Yu. Holiney, L.A. Matveeva, E.F. Venger. In: Abstract Book of Frontiers in Molecular-Scale Science and Technology of Fullerene, Nanotube, Nanosilicon and Biopolymer (DNA, Protein) Multifunctional Nanosystem (Kiev, 2001) p. SC-P4
- M.V. Wolkin, J. Jorne, P.M. Fauchet, G. Allan, C. Delerue. Phys. Rev. Lett., 82 (1), 197 (1999)
- М.С. Бреслер, И.Н. Яссиевич. ФТП, 27 (5), 871 (1993)
- R.T. Collins, P.M. Fauchet, M.A. Tischler. Phys. Today, 1, 24 (1997)
- G.D. Sanders, Yia-Chung Chang. Appl. Phys. Lett., 60 (20), 2525 (1992)
- M. Ben-Chorin, B. Averboukh, D. Kovalev, G. Polisski, F. Koch. Phys. Rev. Lett., 77 (4), 763 (1996)
- P.H. Hao, X.Y. Hou, F.L. Zang, X. Wang. Appl. Phys. Lett., 64 (26), 3602 (1994)
- X.L. Wu, S.J. Xiong, D.L. Fan, Y. Gu, X.M. Bao, G.G. Siu, M.J. Stokes. Phys. Rev. B, 62 (12), R7759 (2000)
- П.К. Кашкаров, Е.А. Константинова, В.Ю. Тимошенко. ФТП, 30 (8), 1476 (1996)
- Y. Kanemitsu, T. Ogawa, K. Shiraishi, K. Takeda. Phys. Rev. B, 48 (7), 4883 (1993)
- X. Zhao, O. Schoenfeld, S. Nomura et al. Mater. Sci. Eng. B, 35, 467 (1995)
- P. Gupta, A.C. Dilon, A.S. Bracker, S.M. George. Surf. Sci., 245, 360 (1991)
- S.M. Prokes, O.J. Glembocki, V.M. Bermudes. Phys. Rev. B, 45 (23), 13 788 (1992)
- А.А. Копылов, А.Н. Холодилов. ФТП, 31 (5), 556 (1997)
- Y. Takeda, H.N. Suzuki. J. Appl. Phys., 73 (4), 1924 (1993)
- М.И. Страшникова, В.Л. Возный, В.Я. Резниченко, В.Я. Гайворонский. ЖЭТФ, 120 [2(8)], 409 (2001)
- D.E. Aspnes. Surf. Sci., 37, 417 (1973)
- В.Я. Тягай, О.В. Снитко. Электроотражение света в полупроводниках (Киев, Наук. думка, 1980) с. 304
- Е.Ф. Венгер, Т.Я. Горбач, Л.А. Матвеева и др. ЖЭТФ, 116, 1750 (1999)
- R.Yu. Holiney, L.A. Matveeva, E.F. Venger, A.O. Livinenko, L.A. Karachevtseva. Appl. Surf. Sci., 172, 214 (2001)
- R.Yu. Holiney, L.L. Fedorenko, L.A. Matveeva et al. J. Phys. D: Appl. Phys., 33, 2875 (2000)
- Е.Ф. Венгер, Р.Ю. Голиней, Л.А. Матвеева. Оптоэлектрон. и полупроводн. техн., 36, 199 (2001)
- V. Lehmann, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 137 (2), 653 (1990)
- Л.Л. Федоренко, А.Д. Сардары, Э.Б. Каганович, С.В. Свечников, С.П. Дикий, С.В. Баранец. ФТП, 31 (1), 6 (1997)
- D.E. Aspnes, J.E. Rowe. Phys. Rev. Lett., 27 (4), 188 (1971)
- Н.П. Гарбар, Л.А. Матвеева, В.Ф. Митин, Ю.А. Тхорик, Р. Харман, Ю.М. Шварц, З, Шроубек. ФТП, 21 (3), 393 (1987)
- R.Yu. Holiney, A. Szekeres, L.A. Matveeva et al. Proc. 11th Int. School on Condensed Matter Physics Materials for Information Technology in the New Millennium (Varna, 2000) p. 240
- R.Yu. Holiney, L.A. Matveeva, E.F. Venger. Semicond. Phys. Quant. Electron \& Optoelectron., 2 (4), 10 (1999)
- В.И. Гавриленко, В.А. Зуев, В.Г. Литовченко. ПТМ, 18, 49 (1974)
- L.A. Matveeva, E.F. Venger, R.Yu. Holiney. Quest. Atom. Sci. Tech., 3, 103 (1999)
- T.Ya. Gorbach, G.Yu. Rudko, P.S. Smertenko, S.V. Svechnikov, M.Ya. Valakh, V.P. Bondarenko, A.M. Dorofeev. Semicond. Sci. Technol., 11, 601 (1996)
- G. Zuther. Phys. St. Sol. (a), 59, K109 (1980)
- H.R. Philipp. Phys. Chem. Sol., 32, 1935 (1931)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.