Вышедшие номера
Влияние водородной плазмы на спектр электроотражения и спектр электронных состояний пористого кремния
Венгер Е.Ф.1, Голиней Р.Ю.1, Матвеева Л.А.1, Васин А.В.1
1Институт физики полупроводников Национальной академии нaук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 26 апреля 2002 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2002 г.

Методом модуляционной спектроскопии электроотражения исследовались образцы пористого кремния. Показано наличие мини-зон, ответственных за существование фотолюминесцентных полос (красная, зеленая и голубая). Установлено исчезновение мини-зоны, отвечающей за полосу в голубой области спектра, при обработке поверхности пористого кремния в H+-плазме. Пассивация поверхности водородом также приводит к релаксации механических напряжений, как в пористой пленке, так и в кремниевой подложке. Установлена природа электронных состояний в запрещенной зоне кремниевых нанокристаллитов.