"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Электрофизические свойства структур Si : H/p-Si, полученных имплантацией водорода
Наумова О.В.1, Антонова И.В.1, Попов В.П.1, Стась В.Ф.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 9 апреля 2002 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2002 г.

Мультиэнергетичная (3-24 кэВ) имплантация водорода (в интервале доз 5· 1016-3· 1017 см-2) в пластины p-Si была использована для создания гидрированных слоев Si : H. Показано, что в результате имплантации формируются гетероструктуры Si : H/p-Si. После имплантации протекание тока через структуры контролируется механизмом Пула--Френкеля с энергией доминирующего эмиссионного центра Ec-0.89 эВ. Максимальной фоточувствительностью обладают структуры, облученные дозой водорода 3.2· 1017 см-2 и отожженные в диапазоне температур 250-300o C. Ширина запрещенной зоны слоя Si : H составляет Eg~ 2.4 эВ, значение диэлектрической проницаемости varepsilon~ 3.2. Плотность состояний вблизи уровня Ферми (1-2)· 1017 см-3 эВ-1.
  1. N. Jensen, U. Rau, J.H. Werner. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 609, A13.1.1 (2000)
  2. R. De Rosa, M.L. Grill, G. Sasicala, M. Tucci, F. Roca. Sol. St. Phenomena, 67--68, 563 (1999)
  3. М.М. Мездрогина, А.В. Абрамов, Г.Н. Мосина, И.Н. Трапезникова, А.В. Пацекин. ФТП, 32, 620 (1998)
  4. V.P. Popov, I.V. Antonova, A.K. Gutakovsky, E.V. Spesivtsev, I.I. Morosov. J. Mater. Sci. Eng. B, 73, 120 (2000)
  5. T.A. Burr, A.A. Seraphin, E. Werwa, K.D. Kolenbranger. Phys. Rev. B, 56, 4818 (1997)
  6. Свойства структур металл--диэлектрик--полупроводник, под ред. А.В. Ржанова (М., Наука, 1976)
  7. S.J. Pearton, J.W. Corbett, T.S. Shi. J. Appl. Phys. A, 43, 153 (1987)
  8. М. Ламперт, П. Марк. Инжекционные токи в твердых телах (М., Мир, 1973)
  9. T. Matsumoto, H. Mimura, N. Koshida, Y. Masumoto. J. Appl. Phys., 84, 6157 (1998)
  10. Физика гидрогенизированного аморфного кремния, под ред. Дж. Джоунопулоса, Дж. Люковски (М., Мир, 1988)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.