"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Электрофизические свойства структур Si : H/p-Si, полученных имплантацией водорода
Наумова О.В.1, Антонова И.В.1, Попов В.П.1, Стась В.Ф.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 9 апреля 2002 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2002 г.

Мультиэнергетичная (3-24 кэВ) имплантация водорода (в интервале доз 5· 1016-3· 1017 см-2) в пластины p-Si была использована для создания гидрированных слоев Si : H. Показано, что в результате имплантации формируются гетероструктуры Si : H/p-Si. После имплантации протекание тока через структуры контролируется механизмом Пула--Френкеля с энергией доминирующего эмиссионного центра Ec-0.89 эВ. Максимальной фоточувствительностью обладают структуры, облученные дозой водорода 3.2· 1017 см-2 и отожженные в диапазоне температур 250-300o C. Ширина запрещенной зоны слоя Si : H составляет Eg~ 2.4 эВ, значение диэлектрической проницаемости varepsilon~ 3.2. Плотность состояний вблизи уровня Ферми (1-2)· 1017 см-3 эВ-1.
  • N. Jensen, U. Rau, J.H. Werner. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 609, A13.1.1 (2000)
  • R. De Rosa, M.L. Grill, G. Sasicala, M. Tucci, F. Roca. Sol. St. Phenomena, 67--68, 563 (1999)
  • М.М. Мездрогина, А.В. Абрамов, Г.Н. Мосина, И.Н. Трапезникова, А.В. Пацекин. ФТП, 32, 620 (1998)
  • V.P. Popov, I.V. Antonova, A.K. Gutakovsky, E.V. Spesivtsev, I.I. Morosov. J. Mater. Sci. Eng. B, 73, 120 (2000)
  • T.A. Burr, A.A. Seraphin, E. Werwa, K.D. Kolenbranger. Phys. Rev. B, 56, 4818 (1997)
  • Свойства структур металл--диэлектрик--полупроводник, под ред. А.В. Ржанова (М., Наука, 1976)
  • S.J. Pearton, J.W. Corbett, T.S. Shi. J. Appl. Phys. A, 43, 153 (1987)
  • М. Ламперт, П. Марк. Инжекционные токи в твердых телах (М., Мир, 1973)
  • T. Matsumoto, H. Mimura, N. Koshida, Y. Masumoto. J. Appl. Phys., 84, 6157 (1998)
  • Физика гидрогенизированного аморфного кремния, под ред. Дж. Джоунопулоса, Дж. Люковски (М., Мир, 1988)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.