1Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники имени В.Г. Мокерова РАН, Москва, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
4Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
5Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
6"НИИ "Полюс" им. М.Ф. Стельмаха", Москва, Россия
7Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
8Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь
Email: khabibullin@isvch.ru, Ziko27@yandex.ru, ivasilevskii@mail.ru, klochkov_alexey@mail.ru, afonenko@bsu.by, UshakovDV@bsu.by