"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Моделирование поглощения фемтосекундного лазерного импульса кристаллическим кремнием
Гук И.В.1, Марциновский Г.А.1, Шандыбина Г.Д.1, Яковлев Е.Б.1
1Национальный исследовательский университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 27 декабря 2012 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2013 г.

Исследовано влияние нелинейности поглощательной способности и коэффициента поглощения на процесс интенсивного фотовозбуждения кремния на основе модели двухфотонного возбуждения полупроводника с учетом внешней эмиссии. Сравнение результатов моделирования поглощения фемтосекундного лазерного импульса монокристаллическим кремнием с экспериментальными данными по условиям фемтосекундного возбуждения поверхностных плазмон-поляритонов позволило уточнить механизм изменения поглощательной способности и необходимость учета этого изменения при оценке режимов лазерной обработки полупроводников. Обсуждаются пути дальнейшего совершенствования теоретической модели.
  1. R.R. Gattass, E. Mazur. Nature Photonics, 2 (4), 219 (2008)
  2. S. Juodkazis, V. Mizeikis, H. Misawa1. J. App. Phys., 106, 051 101 (2009)
  3. N. Bellini, K.C. Vishnubhatla, F. Bragheri, L. Ferrara, P. Minzioni, R. Ramponi, I. Cristiani, R. Osellame. Opt. Express, 18, 4679 (2010)
  4. W. Sibbett, A.A. Lagatsky, C.T.A. Brown. Opt. Express, 20 (7), 6989 (2012)
  5. E.G. Gamaly Phys. Rep., 508, 91 (2011)
  6. М.Н. Либенсон. Изв. РАН. Cер. физ., 65 (4), 515 (2001)
  7. R.V. Dyukin, G.A. Martsinovskiy, O.N. Sergaeva, G.D. Shandybina, V.V. Svirina, E.B. Yakovlev. In: Laser Pulses --- Theory, Technology and Applications, ed. by Igor Peshko, Chap. 7, Rijeka: InTech. (2012) p. 197
  8. B.N. Chichkov, C. Momma, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tunnermann. App. Phys. A: Mater. Sci. Proc., 63 (2), 109 (1996)
  9. М.Н. Либенсон. Лазерно-индуцированные оптические и термические процессы в конденсированных средах и их взаимное влияние (СПб., Наука, 2007)
  10. И.А. Остапенко, С.В. Заботнов, Г.Д. Шандыбина, Л.А. Головань, А.В. Червяков, Ю.В. Рябчиков, В.В. Яковлев, В.Ю. Тимошенко, П.К. Кашкаров. Изв. РАН. Cер. физ., 70 (9), 1315 (2006)
  11. E.V. Golosov, A.A. Ionin, Y.R. Kolobov, S.I. Kudryashov, A.E. Ligachev, S.V. Makarov, Y.N. Novoselov, L.V. Seleznev, D.V. Sinitsyn. Appl. Phis. A. Mater. Sci. Proc., 104, 701 (2011)
  12. Y. Han, S. Qu. Chem. Phys. Lett., 495, 241 (2010)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.