"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование многослойных полупроводниковых SiGe-структур методами рентгеновской дифрактометрии, малоугловой рефлектометрии и масс-спектрометрии вторичных ионов
Юнин П.А.1, Дроздов Ю.Н.1, Дроздов М.Н.1, Королев С.А.1, Лобанов Д.Н.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 22 апреля 2013 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2013 г.

В рамках данной работы проведено исследование многослойной непериодической структуры SiGe/Si методами рентгеновской дифрактометрии, малоугловой рефлектометрии и вторично-ионной масс-спектрометрии. Особое внимание уделяется обработке измеренного профиля распределения состава в методе вторично-ионной масс-спектрометрии и учету наиболее существенных экспериментальных искажений, создаваемых методом. Предложена методика обработки измеряемого профиля распределения состава с последовательным учетом влияния матричных эффектов, вариации скорости травления и артефактов ионного распыления. Результаты такой обработки сравниваются с моделью структуры, полученной при совместном анализе данных рентгеновской дифроктометрии и малоугловой рефлектометрии. Установлено хорошее соответствие между результатами. Показано, что совместное использование независимых методов позволяет усовершенствовать методики вторично-ионной масс-спектрометрии и малоугловой рефлектометрии применительно к анализу многослойных гетероэпитаксиальных структур, повысить их точность и информативность.
  1. S. Hofmann. Rep. Progr. Phys., 61, 827 (1998)
  2. P.F. Fewster. X-Ray scattering from semiconductors (London, Imperial College Press, 2000)
  3. D. Marseilhan, J.P. Barnes, F. Fillot, J.M. Hartmann, P. Holliger. Appl. Surf. Sci., 255, 1412 (2008)
  4. M. Gavelle, E. Scheid, F. Cristiano, C. Armand, J.-M. Hartmann, Y. Campidelli, A. Halimaoui, P.-F. Fazzini, O. Marcelot. J. Appl. Phys., 102, 074 904 (2007)
  5. K.I. Schiffmann, M. Vergohl. Surf. Interface Anal., 45, 490 (2013)
  6. M.G. Dowsett, R.D. Barlow, P.N. Allen. J. Vac. Sci. Technol. B, 12, 186 (1994)
  7. V. Chia, G. Mount, M. Edgell, C. Magee. J. Vac. Sci. Technol. B, 17, 2345 (1999)
  8. W. Vandervorst. Appl. Surf. Sci., 255, 805 (2008)
  9. Y. Gao. J. Appl. Phys., 64, 3760 (1988)
  10. Diffrac. Leptos 7. User Manual (Karlsruhe, Bruker AXS GmbH, 2009)
  11. Ю.Н. Дроздов, М.Н. Дроздов, Д.Н. Лобанов, А.В. Новиков, Д.В. Юрасов. Поверхность. РСНИ, 6, 93 (2011)
  12. Ю.Н. Дроздов, М.Н. Дроздов, В.М. Данильцев, О.И. Хрыкин, П.А. Юнин. ФТП, 46, 1419 (2012)
  13. Ю.Н. Дроздов, М.Н. Дроздов, А.В. Новиков, П.А. Юнин, Д.В. Юрасов. Поверхность. РСНИ, 7, 26 (2012)
  14. П.А. Юнин, Ю.Н. Дроздов, М.Н. Дроздов, А.В. Новиков, Д.В. Юрасов. ФТП, 46, 1515 (2012)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.