"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Оптические свойства пленок ITO, полученных высокочастотным магнетронным напылением с сопутствующей ионной обработкой
Крылов П.Н.1, Закирова Р.М.1, Федотова И.В.1
1Удмуртский государственный университет, Ижевск, Россия
Поступила в редакцию: 28 января 2013 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2013 г.

Представлено изменение свойств пленок ITO (indium tin oxide), полученных методом реактивного высокочастотного напыления с одновременной ионной обработкой. Пленки ITO имеют в оптическом диапазоне 450-1100 нм пропускание 80%, ширину запрещенной зоны 3.50-3.60 эВ, показатель преломления 1.97-2.06. Все характеристики пленок зависят от тока ионной обработки. Ионная обработка в процессе напыления уменьшает удельное сопротивление пленок ITO, минимальное значение сопротивления составляет 2·10-3 Ом·см. Обнаружена деградация пленок с высоким удельным сопротивлением при хранении на воздухе.
  1. И.А. Тамбасов, В.Г. Мягков, А.А. Иваненко, И.В. Немцев, Л.Е. Быкова, Г.Н. Бондаренко, Ю.Л. Михлин, И.А. Максимов, В.В. Иванов, С.В. Балашов, Д.С. Карпенко. ФТП, 47 (4), 546 (2013)
  2. В.М. Ветошкин, Р.М. Закирова, П.Н. Крылов, И.А. Суворов. ВТТ, 21 (1), 57 (2011)
  3. С.В. Зайцев, Ю.В. Герасименко, С.Н. Салтыков, Д.А. Ховив, А.М. Ховив. Неорг. матер., 47 (4), 468 (2011)
  4. Е.А. Зайцева, Р.М. Закирова, П.Н. Крылов, К.С. Лебедев, И.В. Федотова. Вестн. Удмуртского ун-та. Сер. Физика, химия, 2, 26 (2012)
  5. M. Nisha. Ph.D thesis in the field of material science (Kerala, India, 2006)
  6. M.K.M. Ali, K. Ibrahim, Osama S. Hamad, M.H. Eisa, M.G. Faraj, F. Azhari. Rom. J. Phys., 56 (5--6), 730 (2011)
  7. L. Kerkache, A. Layadi, E. Dogheche, D. Remiens J. Phys. D: Appl. Phys., 39, 184 (2006)
  8. W. Wohlmuth, I. Adesida. Thin Sol. Films, 479, 223 (2005)
  9. H. Kim, G.M. Gilmore, A. Pique, J.S. Horwitz, H. Mattoussi, H. Murata, Z.H. Kafafi, D.B. Chrisey. J. Appl.Phys., 86 (11), 6451 (1999)
  10. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой, под ред. Р. Бериша. (М., Мир, 1986) вып. II
  11. Физика тонких пленок, под ред. Г. Хасса, М. Франкомба и Р. Гофмана (М., Мир, 1978) т. 8, с. 320
  12. А.В. Ершов, А.И. Машин, А.Ф. Хохлов, Д.Е. Касьянов, А.В. Нежданов, Н.И. Машин, И.А. Карабанов. Тр. 1-го совещания по проекту НАТО StP-973799 Semiconductors (Н. Новгород, 2001) с. 124
  13. N. Manavizadeh, A. Khodayari, E. Asl Soleimani, Sh. Bagherzadeh, M.H. Maleki Iran. J. Chem. Chem. Eng., 28 (2), 57 (2009)
  14. A. Hassanzadeh, M.H. Habibi, A. Zeini-Isfahani. Acta. Chim. Slov., 51, 507 (2004)
  15. В.К. Гончаров, Д.Р. Исмаилов, О.Р. Людчик, С.А. Петров, М.В. Пузырев. Журн. прикл. спектроскопии, 74 (5), 637 (2007)
  16. Г.Г. Унтила, Т.Н. Кост, А.Б. Чеботарева, М.А. Тимофеев. ФТП, 46 (7), 984 (2012)
  17. Д.А. Зуев, А.А. Лотин, О.А. Новодворский, Ф.В. Лебедев, О.Д. Храмова, И.А. Петухов, Ф.Н. Путилин, А.Н. Шатохин, М.Н. Румянцева, А.М. Гаськов. ФТП, 46 (3), 425 (2012)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.