Вышедшие номера
Возникновение зеленой окраски в кристаллах AlN, выращенных на затравках SiC
Нагалюк С.С.1, Мохов Е.Н.1, Казарова О.П.1, Бер Б.Я.1, Анисимов А.А.1, Бреев И.Д.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: snagalyuk@gmail.com
Поступила в редакцию: 19 февраля 2021 г.
В окончательной редакции: 25 февраля 2021 г.
Принята к печати: 25 февраля 2021 г.
Выставление онлайн: 13 марта 2021 г.

Исследованы причины, приводящие к появлению зеленой окраски кристаллов AlN, выращиваемых методом сублимации на затравках SiC. Методом вторичной ионной масс-спектроскопии показано, что цвет кристаллов слабо зависит от содержания кремния и углерода, а зеленая или темная окраска возникает только при повышенном содержании углерода по сравнению с кремнием. Методом комбинационного рассеяния света установлено присутствие в этих кристаллах отдельной фазы аморфного углерода. Выделение фазы углерода в процессе роста кристаллов затрудняет получение качественных кристаллов AlN, а также твердых растворов AlN-SiC. Анализируется влияние условий роста на оптические свойства кристаллов AlN. Ключевые слова: кристалл AlN, затравка SiC, зеленая или темная окраска, аморфный углерод.