Вышедшие номера
Home » Физика и техника полупроводников » Год 2020, выпуск 11 » Статья стр. 1233
<<<>>>
Синтез наночастиц карбида кремния методом лазерного пиролиза смеси моносилана и ацетилена
DOI: 10.21883/FTP.2020.11.50094.9476
Переводная версия: 10.1134/S1063782620110081
РФФИ , 18-02-00786
Ершов И.А.1, Исхакова Л.Д.1, Красовский В.И.1, Милович Ф.О.1, Расмагин С.И. 1, Пустовой В.И.1
1Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, Москва, Россия
Email: rasmas123@yandex.ru
Поступила в редакцию: 29 июня 2020 г.
В окончательной редакции: 14 июля 2020 г.
Принята к печати: 14 июля 2020 г.
Выставление онлайн: 7 августа 2020 г.
PDF версия
Определены условия лазерно-стимулированной реакции синтеза наночастиц карбида кремния и проведена их характеризация. Реакция лазерного синтеза частиц SiC в газовой фазе наблюдалась при соотношении потоков SiH4/C2H2 в интервале 1.6-3.2. Температура в области зоны реакции составила ~1400-1500oC. Получены наночастицы карбида кремния диаметром ~6 нм и исследован их состав. Ключевые слова: наночастицы карбида кремния, спиновое состояние, лазерный пиролиз, синтез наночастиц.
  1. H. Matsunami. Microelectron. Eng., 83, 2 (2006)
  2. D.D. Awschalom, L.C. Bassett, A.S. Dzurak, E.L. Hu, J.R. Petta. Science, 339, 1174 (2013)
  3. Z.C. Fend. SiC power materials: devices and applications (Springer Verlag, Berlin-Heidelberg, 2014)
  4. J.A. Lely. Ber. Deut. Keram. Ges., 32, 229 (1955)
  5. M.Yu. Tairov, V.F. Tsvetkov. J. Cryst. Growth, 43, 209 (1978)
  6. P. Wellmann, P. Desperrier, R. Muller, T. Straubinger, A. Winnack, F. Baillet, E. Blanquet, J.M. Dedulle, M. Pons. J. Cryst. Growth, 275, E555 (2005)
  7. D. Chaussende, F. Baillet, L. Charpentier, E. Pernot, M. Pons, R. Madar. J. Electrochem. Soc., 150 (10), G653 (2003)
  8. E.D. Rodeghiero, B.C. Moore, B.S. Wolkenberg, M. Wuthenow, O.K. Tse, E.P. Giannelis. Mater. Sci. Engin. A, 24, 11 (1998)
  9. J.S. Haggerty, W.R. Cannon. In: J.I. Steinfeld (ed.), Laser Induced Chemical Processes (Plenum Press, N.Y., 1981)
  10. S. Martelli, A. Mancini, R. Giorgi, R. Alexandrescu, S. Cojocaru, A. Crunteanu, I. Voicu, M. Balu, I. Morjan. Appl. Surf. Sci., 353, 154 (2000)
  11. R. Dez, F. Tenegal, C. Reynaud, M. Mayne, X. Armand, N. Herlin-Boime. J. Eur. Ceram. Soc., 22, 2969 (2002)
  12. J.R. Weber, W.F. Koehl, J.B. Varley, A. Janotti, B.B. Buckley, C.G. Van de Wale, D.D. Awschalom. Proc. Natl. Acad. Sci. USA, 107, 8513 (2010)
  13. W.F. Koehl, B.B. Buckley, F.J. Heremans, G. Calusine, D.D. Awschalom. Nature, 479, 84 (2011)
  14. V.A. Soltamov, A.A. Soltamova, P.G. Baranov, I.I. Proskuryakov. Phys. Rev. Lett., 108, 226402 (2012)
  15. T. Gaebel, M. Domhan, I. Popa, C. Wittmann, P. Neumann, F. Jelezko, J.R. Rabeau, N. Stavrias, A.D. Greentree, S. Prawer, J. Meijer, J. Twamley, P.R. Hemmer, J. Wrachtrup. Nature Physics, 2, 408 (2006)
  16. G. Balasubramanian, P. Neumann, D. Twitchen, M. Markham, R. Kolesov, N. Mizuochi, J. Isoya, J. Achard, J. Beck, J. Tissler, V. Jacques, P.R. Hemmer, F. Jelezko, J. Wrachtrup. Nature Materials, 8, 383 (2009)
  17. E. Janzen, A. Gali, P. Carlsson, A. Gallstrom, B. Magnusson, N.T. Son. Physica B, 404, 4354 (2009)
  18. P.G. Baranov, A.P. Bundakova, A.A. Soltamova, S.B. Orlinskii, I.V. Borovykh, R. Zondervan, R. Verberk, J. Schmidt. Phys. Rev. B, 83, 125203 (2011).
  19. M. Widmann, S.-Y. Lee, T. Rendler, N.T. Son, H. Fedde, S. Paik, L.-P. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S.A. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, J. Wrachtrup. Nature Materials, 14, 164 (2015)
  20. T. Aichinger, P.M. Lenahan, B.R. Tuttle, D.A Peters. Appl. Phys. Lett., 100, 112113 (2012)
  21. A.L. Falk, B.B. Buckley, G. Calusine, W.F. Koehl, V.V. Dobrovitski, A. Politi, C.A. Zorman, P.X.-L. Feng, D.D. Awschalom. Nature Commun., 4, 1819 (2013)
  22. S. Castelletto, B.C. Johnson, V. Ivady, N. Stavrias, T. Umeda, A. Gali, T. Ohshima. Nature Materials, 13, 151 (2014)
  23. R.R. Patty, G.M. Russwurm, W.A. Mcclenny, D.R. Morgan. Appl. Optics, 13, 2850 (1974)
  24. T.F. Deutsch. J. Chem. Phys., 70, 1187 (1979)
  25. J.C. Stephenson, D.S. King, M.F. Goodman, J. Stone. J. Chem. Phys., 70, 4496 (1979)
  26. R.V. Ambartzumian, N.P. Furzikov, Y.A. Gorokhov, V.S. Letokhov, G.N. Makarov, A.A. Puretzki. Optics Commun., 18, 517 (1976)
  27. E.S. Medvedev. Chem. Phys., 41, 103 (1979)
  28. J. Pak, J. Blazejowki, F.W. Lampe. J. Photochem. Photobio. A: Chem., 90, 11, (1995)
  29. M.L. Azcarate, E.J. Quel. Appl. Phys. B, 47, 223 (1988)
  30. W.R. Cannon, S.C. Danforth, J.H. Flint, J.S. Haggerty, R.A. Marra. J. Am. Ceram. Soc., 65, 324 (1982)
  31. H. Stafas. Appl. Phys. A, 45, 93 (1988)
  32. F. El-Diasty. Optics Commun., 241, 121 (2004)
  33. A.P. Legrand, C. Senemaud. Nanostructured Silicon-based Powders and Composites (Taylor \& Francis e-Library, 2003)
  34. С.И. Расмагин. Неорг. матер., 56 (9), 1 (2020).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme