Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Имплантация ионов кремния в сапфир: малые дозы
Переводная версия: 10.1134/S1063782620080060 
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия 
Email: belova.nina@inbox.ru
Поступила в редакцию: 8 апреля 2020 г.
В окончательной редакции: 16 апреля 2020 г.
Принята к печати: 16 апреля 2020 г.
Выставление онлайн: 11 мая 2020 г.
В результате ионной имплантации ионов кремния в сапфир и последующего высокотемпературного отжига в приповерхностной области сапфира наблюдаются преципитаты кремния и алюмосиликатов. Рентгеновские измерения методом сканирования обратного пространства показали наличие напряжения сжатия с деформацией -0.12% в нормальном направлении и напряжения растяжения с деформацией 0.2% в R-плоскости в этой области, что уменьшает несоответствие параметра решетки по отношению к кремнию (100) и может привести к повышению кристаллического качества эпитаксиальных пленок кремния, выращенных на таких модифицированных сапфировых подложках. Ключевые слова: ионная имплантация, сапфир, наночастицы, преципитаты, рентгеновская дифрактометрия, рефлектометрия.
- Y. Dong, M. Chen, J. Chen, X. Wang. J. Phys. D: Appl. Phys., 37, 1732 (2004)
- B. Aspar, M. Briel, H. Moricean et al. Microelectron. Eng., 36, 233 (1997)
- А.Е. Благов, А.Л. Васильев и др. Кристаллография, 59 (3), 356 (2014)
- M.I. Burgener, R.E. Reedy. Patent (USA), N 5.416.0.3. (1995)
- П.А. Александров, Н.Е. Белова, К.Д. Демаков, С.Г. Шемардов. ФТП, 49, 1124 (2015)
- П.А. Александров, К.Д. Демаков, С.Г. Шемардов. Патент 2581443 (РФ) / НИЦ "Курчатовский институт" (2015)
- Ю.М. Чесноков, П.А. Александров, Н.Е. Белова, С.Г. Шемардов, А.Л. Васильев. Кристаллография, 62 (4), 613 (2017)
- П.А. Александров, К.Д. Демаков, С.Г. Шемардов, Н.Е. Белова. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 8, 5 (2017)
- П.А. Александров, К.Д. Демаков, С.Г. Шемардов, Ю.Ю. Кузнецов. Нано-микроскопическая техника, N 3, 54 (2008)
- R. Turan, S. Yerci, T.G. Finstad, S. Foss. ФТТ, 51, 385 (2009)
- S. Yerci, I. Yildiz, M. Kulakci, U. Serincan, M. Barozzi, M. Bersani, R. Turan. J. Appl. Phys., 102, 024309 (2007)
- A. Mikhalychev, A. Benediktovitch, T. Ulyanenkova, A. Ulyanenkov. J. Appl. Cryst., 48, 679 (2015)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
