"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование состава, структуры и оптических свойств пленок a-Si1-xCx : H<Er>, легированных эрбием из комплексного соединения Er(pd)3
Кудоярова В.Х.1, Толмачев В.А.1, Гущина Е.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 16 апреля 2012 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2013 г.

Методами резерфордовского обратного рассеяния, инфракрасной спектроскопии, эллипсометрических исследований и атомно-силовой микроскопии проведено комплексное исследование состава, структуры и оптических свойств аморфных пленок a-Si1-xCx : H<Er>. Технология получения аморфных пленок a-Si1-xCx : H<Er> сочетала в себе метод высокочастотного разложения cмеси газов (SiH4)a+(CH4)b и одновременное термическое распыление комплексного соединения Er(pd)3. Показано, что увеличение CH4 в составе газовой смеси приводит к увеличению содержания углерода в исследуемых пленках, увеличению ширины оптической зоны Eoptg от 1.75 до 2.2 эВ. В инфракрасных спектрах наблюдались изменения состава пленок a-Si1-xCx : H<Er>, которые, в свою очередь, сопровождались изменениями оптических констант. Проведен анализ наблюдаемых эллипсометрических спектров с использованием многопараметрических моделей. В результате проведенного анализа делается вывод о том, что хорошее совпадение экспериментальных и расчетных спектров наблюдается при учете изменяющегося состава аморфных пленок, происходящего при изменении состава газовой смеси. Существование на поверхности исследуемых пленок тонкого (6-8 нм) слоя окисла кремния и справедливость использования двухслоевой модели в расчетах эллиптических измерений подтверждаются проведенными исследованиями структуры методом атомно-силовой микроскопии.
  1. E.I. Terukov, V.Kh. Kudoyarova, A.N. Kuznetsov, W. Fush, G. Weiser, H. Kuehne, J. Non-Cryst. Sol., 227-230, 488 (1998)
  2. E.I. Terukov, O.I. Konkov, V.Kh. Kudoyarova, K.V. Koughia, G. Weiser, H. Kuhne, J.P. Kleider, C. Longeaud, R. Bruggemann, J. Non-Cryst. Sol., 266-269, 614 (2000)
  3. A.G. Kazanskii, H. Mell, G. Weiser, E.I. Terukov. J. Non-Cryst. Sol., 299-302, 704 (2002).
  4. H. Mell, G. Weiser, E.I. Terukov, V.Kh. Kudoyarova. Phys. Status Solidi C, 5, 1292 (2004)
  5. G. Gavrilov, A. Krivchitch, V. Lebedev. Nucl. Instr. Meth, A515, 108 (2003)
  6. Р. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет (М., Мир, 1981)
  7. N.D. Sorokin, Yu. Tairov, V.F. Tsvetkov, M.A. Chernov. Kristalografia, 28, 910 (1993)
  8. M.H. Brodsky, M. Cardona, J.J. Cuomo, Pys. Rev. B, 16, 3556 (1977)
  9. G. Lucovsky, R.J. Nemanich, J.C. Knightsl. Phys. Rev. B, 19, 2064 (1979)
  10. Y. Katayama, T. Shimada. Jpn. J. Appl. Phys., 19, 115 (1980). Suppl. 19--2
  11. H. Shanks, C.J. Fang, L. Ley, M. Cordona, F.J. Demond, S. Kalbitzerl, Phys. Status Solidi B, 100, 43 (1980)
  12. A. Skumanich, A. Frova, N.M. Amer, Sol. St. Commun, 54, 597 (1985)
  13. D. Della Sala, P. Fiorini, A. Frova, A. Gregori, A. Skumanich, N.M. Amer. J. Non-Cryst. Sol., 77/78, 853 (1985)
  14. Handbook of Optical Constants of Solids, ed. E.D. Palik (Academic Press Ltd., UK, 1985)
  15. D.A.G. Bruggeman. Ann. Phys., (Leipzig), 24, 636 (1935)
  16. V. Tolmachev, V. Ivanov-Omskii, T. Zvonareva, A. Nechitailov, V. Shvets, T. Perova, Е. Krutkova. Proc. 14th Int. Conf. on Solid Films and Surfaces (ICSFS) (Dublin, Ireland, 2008).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.