"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Электрически активные центры, образующиеся в кремнии в процессе высокотемпературной диффузии бора и алюминия
Соболев Н.А.1, Лошаченко А.С.2, Полоскин Д.С.1, Шек Е.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Научно-исследовательский институт физики им. В.А. Фока Санкт-Петербургского государственного университета, Санкт-Петербург, Петергоф, Россия
Поступила в редакцию: 17 июля 2012 г.
Выставление онлайн: 20 января 2013 г.

Параметры электрически активных центров, образующихся в процессе высокотемпературной диффузии бора и алюминия в кремний в разных средах, исследовались методами Холла и емкостной спектроскопии. Установлено, что изменение удельного сопротивления в n-базе изготовленных структур с p-n-переходами контролируется образованием трех донорных уровней Q1, E4, Q3 с энергиями Ec-0.31, Ec-0.27 и Ec-0.16 эВ. После диффузии в хлорсодержащей атмосфере вводится только один уровень E4, но его концентрация меньше в 2.5 раза по сравнению с диффузией на воздухе. Значения энергии ионизации уровня Q3, измеренные в равновесных (эффект Холла) и неравновесных (емкостная спектроскопия) условиях, практически совпадают. Наиболее глубокий уровень E1 с энергией Ec-0.54 эВ, образующийся после диффузии в обеих средах, не оказывает влияния на значение удельного сопротивления в n-базе структур.
  1. В.Е. Челноков, Ю.В. Жиляев, Н.А. Соболев, И.В. Попов. Силовые полупроводниковые приборы. [Итоги науки и техники. Сер. Силовая преобразовательная техника (М., ВИНИТИ, 1986) т. 4]
  2. S.T. Sah, S.T. Wang. J. Appl. Phys., 6, 1767 (1975)
  3. Л.С. Берман, А.А. Лебедев. Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках (Л., Наука, 1981)
  4. Ю.В. Выжигин, Н.А. Соболев, Б.Н. Грессеров, Е.И. Шек. ФТП, 25, 1324 (1991)
  5. E.V. Astrova, V.B. Voronkov, V.A. Kozlov, A.A. Lebedev. Semicond. Sci. Technol., 13 (5), 488 (1998)
  6. N.A. Sobolev. In: Semiconductor Technology: Processing and Novel Fabrication Techniques, ed. by M. Levinshtein, M. Shur (Wiley-Interscience, N. Y., 1997) p. 131
  7. D.V. Lang. J. Appl. Phys., 45 (7), 3023 (1974)
  8. S.D. Brotherton, M.J. King, M.J. Parker. J. Appl. Phys., 52 (7), 4649 (1981)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.