"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Накопление структурных нарушений при облучении кремния ионами PFn+ различных энергий
Карабешкин К.В.1, Карасёв П.А.1, Титов А.И.1
1Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 17 июля 2012 г.
Выставление онлайн: 20 января 2013 г.

Экспериментально исследовано образование структурных нарушений в кремнии при его облучении атомарными и молекулярными ионами при комнатной температуре в широком диапазоне энергий. Во всех случаях вблизи поверхности проявляется сильный молекулярный эффект, обусловленный перекрытием каскадов смещений, создаваемых атомами, составлявшими молекулу. Теоретические оценки глубин, на которых могут играть роль различные нелинейные процессы, неплохо согласуются с экспериментальными данными. Расчеты также показали, что роль нелинейных энергетических пиков уменьшается с ростом энергии иона.
  1. Дж. Мейер, Л. Эриксон, Дж. Дэвис. Ионное легирование полупроводников (М., Мир, 1973)
  2. M. Nastasi, J.W. Mayer. Ion Implantation and Synthesis of Materials (Berlin--Heidelberg--N.Y., Springer, 2006).
  3. D.A. Thompson. Rad. Eff., 56, 105 (1981)
  4. J.A. Davies. In: Ion Implantation and Beam Processing, ed. by J.S. Williams, J.M. Poate (Sydney, Academic Press, 1984)
  5. A.I. Titov, S.O. Kucheyev, V.S. Belyakov, A.Yu. Azarov. J. Appl. Phys., 90, 3867 (2001)
  6. A.I. Titov, V.S. Belyakov, S.O. Kucheyev. Nucl. Instrum. Meth. B, 194, 323 (2002)
  7. А.Ю. Азаров, А.И. Титов. ФТП, 41, 7 (2007)
  8. Ion Implantation: Science and Technology, ed. by J.F. Ziegler (Ion Implantation Technology Co, 2010)
  9. H.-J.L. Gossmann. J. Vac. Sci. Technol. B, 26, 267 (2008)
  10. N. Winograd. Anal. Chem., 77, 143 (2005)
  11. A.I. Titov, A.Yu. Azarov, L.M. Nikulina, S.O. Kucheyev. Phys. Rev. B, 73, 064 111 (2006)
  12. A.Yu. Azarov, A.I. Titov, P.A. Karaseov, A. Hallen. Nucl. Instrum. Meth. B, 267, 1247 (2009)
  13. S.O. Kucheyev, A.Yu. Azarov, A.I. Titov, P.A. Karaseov, T.M. Kuchumova. J. Phys. D: Appl. Phys., 42, 085 309 (2009)
  14. A.Yu. Azarov, S.O. Kucheyev, A.I. Titov, P.A. Karaseov. J. Appl. Phys., 102, 0835 437 (2007)
  15. J.F. Ziegler, J.P. Biersack, M.D. Ziegler. The stopping and range of ions in matter (SRIM Company, 2008); http://www.srim.org
  16. K. Schmid. Rad. Eff., 17, 201 (1973)
  17. D.I. Tetelbaum, E.I. Zorin, A.I. Gerasimov, P.V. Pavlov. Phys. Status Solidi A, 12, 679 (1972)
  18. И.А. Аброян, Н.Ф. Зитта, В.В. Конышев, А.И. Титов, А.В. Хлебалкин. Изв. АН СССР. Сер. физ., 40, 1749 (1976)
  19. A.I. Titov, G. Carter. Nucl. Instrum. Meth. B, 90, 3867 (1996)
  20. A.I. Titov, V.S. Belyakov, A.Yu. Azarov. Nucl. Instrum. Meth. B, 212, 169 (2003)
  21. П.А. Карасев, А.Ю. Азаров, А.И. Титов, С.О. Кучеев. ФТП, 43, 721 (2009)
  22. A.I. Titov, P.A. Karaseov, A.Yu. Azarov, S.O. Kucheyev. Nucl. Instrum. and Meth. B, 267, 2701 (2009)
  23. П.А. Карасев, Т.М. Кучумова. Научно-технические ведомости СПбГПУ, 77, 29 (2009).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.