"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Кинетика отжига борсодержащих центров в кремнии, облученном электронами
Феклисова О.В.1, Ярыкин Н.А.1, Weber J.2
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
2Technische Universitat Dresden, Dresden, Germany
Поступила в редакцию: 17 июля 2012 г.
Выставление онлайн: 20 января 2013 г.

Кинетика отжига пар BiOi, созданных облучением быстрыми электронами, изучается в пластинах кремния, выращенных методом Чохральского, с разным уровнем легирования бором. Обнаружено, что скорость отжига при фиксированной температуре монотонно увеличивается с ростом концентрации бора. Результаты описываются простой моделью, которая принимает во внимание взаимодействие межузельного бора с атомами кислорода и узельного бора. На основе этой модели вычислена температурная зависимость скорости диссоциации комплекса BiOi.
  1. M. Yamaguchi, A. Khan, S.J. Taylor, K. Ando, T. Yamaguchi, S. Matsuda, T. Aburaya. J. Appl. Phys., 86, 217 (1999)
  2. A. Khan, M. Yamaguchi, Y. Ohshita, N. Dharmarasu, K. Araki, T. Abe, H. Itoh, T. Ohshima, M. Imaizumi, S. Matsuda. J. Appl. Phys., 90, 1170 (2001)
  3. P.M. Mooney, L.J. Cheng, M. Suli, J.D. Gerson, J.W. Corbett. Phys. Rev. B, 15, 3836 (1977)
  4. L.C. Kimerling, M.T. Asom, J.L. Benton, P.J. Drevinsky, C.E. Caefer. Mater. Sci. Forum, 38-41, 141 (1989)
  5. J.R. Troxell, G.D. Watkins. Phys. Rev. B, 22, 921 (1980)
  6. J. Adey, R. Jones, P.R. Briddon. Appl. Phys. Lett., 83, 665 (2003)
  7. A. Carvalho, R. Jones, M. Sanati, S.K. Estreicher, J. Coutinho, P.R. Briddon. Phys. Rev. B, 73, 245 210 (2006)
  8. L. Vines, E.V. Monakhov, A.Y. Kuznetsov, R. Kozlowski, P. Kaminski, B.G. Svensson. Phys. Rev. B, 78, 085 205 (2008)
  9. S. Zhao, A. Agarwal, J.L. Benton, G.H. Gilmer, L.C. Kimerling. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 442, 231 (1997).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.