"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние водорода на электрические свойства структур Pd/InP
Переводная версия: 10.1134/S106378261910018X
Шутаев В.А.1, Сидоров В.Г.2, Гребенщикова Е.А.1, Власов Л.К.1, Пивоварова А.А.1, Яковлев Ю.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2ООО АИБИ", Санкт-Петербург, Россия
Email: vadimshutaev@mail.ru
Поступила в редакцию: 6 мая 2019 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2019 г.

Исследовано влияние водорода на электрические свойства структур Pd/n-InP и Pd/оксид/n-InP. Установлено, что изменение напряжения отсечки Delta Ucut-off на вольт-амперных характеристиках исследуемых структур при воздействии водородом в диапазоне концентраций 0-1 об% в азотно-водородной смеси подчиняется экспоненциальной зависимости: Delta Ucut-off=a[1-exp[-b· NH], где NH - концентрация водорода в об%, a и b - коэффициенты, определяемые типом структур. Показано, что решающее влияние на изменение высоты потенциальных барьеров в структурах Pd/InP и Pd/оксид/InP в присутствии водорода в газовой среде оказывает изменение работы выхода палладия в атмосфере водорода. Установлено, что в исследуемых структурах в присутствии водорода и без него при температурах 90-300 K реализуются туннельный и термотуннельный механизмы проводимости. С увеличением концентрации водорода в газовой смеси преобладание туннельного механизма проводимости становится все более существенным. Ключевые слова: палладий, InP, водород, работа выхода, механизм проводимости.
  1. N. Yamamoto, S. Tonomura, T. Matsuoka, H. Tsubomura. J. Appl. Phys., 52 (10), 6227 (1981)
  2. W.C. Liu, H.J. Pan, H.I. Chen, K.W. Lin, C.K. Wang. Jpn. J. Appl. Phys., 40, 6254 (2001)
  3. С.В. Слободчиков, Г.Г. Ковалевская, М.М. Мередов, Е.В. Руссу, Х.М. Салихов. ФТП, 28 (7), 1155 (1994)
  4. Г.Г. Ковалевская, А.М. Маринова, С.В. Слободчиков. ЖТФ, 59 (11), 155 (1989)
  5. В.П. Воронков, Л.С. Хлудкова. ФТП, 33 (10), 1220 (1999)
  6. L.-G. Petersson, H.M. Dannetun, I. Lundstrom. Surf. Sci., 161, 77 (1985)
  7. Е.А. Гребенщикова, Х.М. Салихов, В.Г. Сидоров, В.А. Шутаев, Ю.П. Яковлев. ФТП, 52 (10), 1183 (2018)
  8. H.-Ing Chen, Y.-I. Chou, C.-Yi Chu. Sensors Actuators B, 85, 10 (2002)
  9. A. Salomonsson, M. Eriksson, H. Dannetun. J. Appl. Phys., 98, 014505 (2005)
  10. С.В. Тихов, И.А. Карпович, Ю.Ю. Гущина, Л.А. Истомин. Письма ЖТФ, 33 (15), 69 (2007)
  11. Yen-I Chou, Chia-Ming Chen, Wen-Chau Liu, Huey-Ing Chen. IEEE Electron Device Letters, 26 (2), 62 (2005)
  12. С.В. Тихов, Е.Л. Шоболов, В.В. Подольский, С.Б. Левичев. ЖТФ, 73 (2), 87 (2003)
  13. Е.А. Гребенщикова, В.В. Евстропов, Н.Д. Ильинская, Ю.С. Мельников, О.Ю. Серебренникова, В.Г. Сидоров, В.В. Шерстнев, Ю.П. Яковлев. ФТП, 49 (3), 376 (2015)
  14. Е.А. Гребенщикова, В.Г. Сидоров, В.А. Шутаев, Ю.П. Яковлев. ФТП, 53 (2), 246 (2019)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.