"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Комплексное применение спектроскопии комбинационного рассеяния света и фотолюминесценции для диагностики многослойных гетероструктур
Переводная версия: 10.1134/S1063782619090148
Планкина С.М.1, Вихрова О.В.2, Звонков Б.Н.2, Зубков С.Ю.1, Крюков Р.Н.1, Нежданов А.В.1, Павлов Д.А.1, Пашенькин И.Ю.3, Сушков А.А.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
3Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: plankina@phys.unn.ru
Поступила в редакцию: 24 апреля 2019 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2019 г.

Представлены результаты исследования фотодиодных структур GaInAs/GaInP/GaAs, выращенных методом МОС-гидридной эпитаксии. Разработана методика диагностики таких многослойных структур, основанная на комплексном применении спектроскопии комбинационного рассеяния света и спектроскопии фотолюминесценции в режиме латерального сканирования поперечных сколов, и определены составы твердых растворов GaInAs и GaInP. Ключевые слова: МОС-гидридная эпитаксия, гетероструктуры, метаморфный слой, комбинационное рассеяние света, фотолюминесценция.
  1. В.Г. Голубев, В.Ю. Давыдов, А.В. Медведев, А.Б. Певцов, Н.А. Феоктистов. ФТТ, 39 (8), 1348 (1997)
  2. W. Limmer, M. Glunk, S. Mascheck, A. Koeder, D. Klarer, W. Schoch, K. Thonke, R. Sauer, A. Waag. Phys. Rev., 66, 205209 (2002)
  3. E. Bonera, M. Fanciulli, D.N. Batchelder. Appl. Phys. Lett., 81 (18), 3377 (2002)
  4. Л.А. Фальковский. УФН, 174 (3), 259 (2004)
  5. J.W. Chen, Y.F. Chen, H. Lu, W.J. Schaff. Appl. Phys. Lett., 87, 041907 (2005)
  6. С.М. Планкина, О.В. Вихрова, Б.Н. Звонков, А.В. Нежданов, И.Ю. Пашенькин. ФТП, 51 (11), 1510 (2017)
  7. С.М. Планкина, О.В. Вихрова, Ю.А. Данилов, Б.Н. Звонков, Н.Ю. Коннова, А.В. Нежданов, И.Ю. Пашенькин. ФТП, 50 (11), 1561 (2016)
  8. J. Groenen, R. Carles, G. Landa. Phys. Rev. B., 58 (16), 10452 (1998)
  9. H. Lee, D. Biswas, M.V. Klein, H. Morko c, D.E. Aspnes, B.D. Choe, J. Kim, C.O. Griffiths Citation. J. Appl. Phys., 75, 5040 (1994)
  10. A.V. Kudrin, S.M. Plankina, O.V. Vikhrova, A.V. Nezhdanov, A.I. Mashin, Yu.N. Drozdov, A.V. Shvetsov. Micron, 93, 38 (2017)
  11. H. Lee, D. Biswas, M.V. Klein, H. Morko c, D.E. Aspnes, B.D. Choe, J. Kim, C.O. Griffiths. J. Appl. Phys., 75, 5040 (1994)
  12. J. Groenen, R. Carles, G. Landa, C. Guerret-Piecourt, C. Fontaine, M. Gendry. Phys. Rev. B, 58 (16), 10 452 (1998)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.