"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние никеля и меди, введенных при комнатной температуре, на рекомбинационные свойства протяженных дефектов в кремнии
Переводная версия: 10.1134/S1063782619040225
Орлов В.И. 1,2, Ярыкин Н.А.1, Якимов Е.Б.1,3
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
2Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
3Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
Email: orlov@issp.ac.ru, NAY@iptm.ru, yakimov@iptm.ru
Поступила в редакцию: 13 ноября 2018 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2019 г.

Методами тока, индуцированного электронным или оптическим пучками, исследовано изменение рекомбинационных свойств индивидуальных дислокаций и дислокационных следов в кремнии в результате диффузии никеля и меди в процессе химико-механической полировки при комнатной температуре. Обнаружено, что введение никеля приводит к росту рекомбинационной активности как дислокаций, так и дислокационных следов. Введение меди не вызывает существенного изменения контраста протяженных дефектов.
  1. W. Schroter, H. Cerva. Sol. St. Phenomena, 85--86, 67 (2002)
  2. M. Seibt, V.V. Kveder. In: Advanced Silicon Materials for Photovoltaic Applications, ed. by S. Pizzini (John Wiley \& Sons, 2012) p. 127
  3. I.E. Bondarenko, V.G. Eremenko, B.Ya. Farber, V.I. Nikitenko, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi A, 68 (1), 53 (1981)
  4. I.E. Bondarenko, H. Blumtritt, J. Heydenreich, V.V. Kazmiruk, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi A, 95 (1), 173 (1986)
  5. H. Alexander, S. Dietrich, M. Huhne, M. Kolbe, G. Weber. Phys. Status Solidi A, 117 (2), 417 (1990)
  6. I.E. Bondarenko, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi A, 122 (1), 121 (1990)
  7. В.И. Орлов, О.В. Феклисова, Е.Б. Якимов. ФТП, 49, 737 (2015)
  8. A. Cavallini, A. Castaldini. J. de Phys., IV Colloque, 01 (C6), C6-89 (1991)
  9. V.I. Orlov, E.B. Yakimov, Superlatt. Microstruct., 99, 202 (2016)
  10. T.S. Fell, P.R. Wilshaw, M.D. De Coteau. Phys. Stat. Solidi A, 138 (2), 695 (1993)
  11. S. Kusanagi, T. Sekiguchi, B. Shen, K. Sumino. Mater. Sci. Techn., 11 (7), 685 (1995)
  12. M. Kittler, C. Ulhaq-Bouillet, V. Higgs. Mater. Sci. Engin. B, 24 (1), 48 (1994)
  13. M. Seibt, V. Kveder, W. Schroter, O. Vob. Phys. Status Solidi A, 202 (5), 911 (2005)
  14. О.В. Феклисова, Е.Б. Якимов. ФТТ, 53, 1175 (2011)
  15. O.V. Feklisova, X. Yu, D. Yang, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi C, 9, 1942 (2012)
  16. О.В. Феклисова, Е.Б. Якимов. ФТП, 49 (6), 732 (2015)
  17. M. Seibt, V. Kveder, W. Schrоter, O. Vob. Phys. Status Solidi A, 202 (5), 911 (2005)
  18. T. Zundel, J. Weber, B. Benson, P.O. Hahn, A. Schnegg, H. Prigge. Appl. Phys. Lett., 53 (15), 1426 (1988)
  19. N. Yarykin, J. Weber. Appl. Phys. Lett., 109, 102101 (2016)
  20. V.I. Orlov, E.B. Yakimov, N. Yarykin. Phys. Status Solidi C, 14, 1700074 (2017)
  21. V. Kveder, M. Khorosheva, M. Seibt. Materials Today: Proceedings, 5, 14757 (2018)
  22. В.Г. Еременко, Е.Б. Якимов. Письма ЖЭТФ, 26 (2), 72 (1977)
  23. Н. А. Ярыкин, J. Weber. ФТП, 49 (6), 728 (2015)
  24. Н. А. Ярыкин, J. Weber. ФТП, 44 (8), 1017 (2010)
  25. N. Yarykin, J. Weber. Phys. Rev. B, 83, 125207 (2011)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.