Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Влияние никеля и меди, введенных при комнатной температуре, на рекомбинационные свойства протяженных дефектов в кремнии

DOI: 10.21883/FTP.2019.04.47672.9020

Переводная версия: 10.1134/S1063782619040225

Орлов В.И.

^1,2, Ярыкин Н.А.¹, Якимов Е.Б.^1,3

¹Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия Institute of Microelectronics Technology and High Purity Materials, Russian Academy of Sciences, Chernogolovka, Russia

Institute of Microelectronics Technology and High Purity Materials, Russian Academy of Sciences, Chernogolovka, Russia

²Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия Institute of Solid State Physics, Russian Academy of Sciences, Chernogolovka, Russia

Institute of Solid State Physics, Russian Academy of Sciences, Chernogolovka, Russia

³Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия National University of Science and Technology MISiS, Moscow, Russia

National University of Science and Technology MISiS, Moscow, Russia

Email: orlov@issp.ac.ru, NAY@iptm.ru, yakimov@iptm.ru

Поступила в редакцию: 13 ноября 2018 г.

Выставление онлайн: 20 марта 2019 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Методами тока, индуцированного электронным или оптическим пучками, исследовано изменение рекомбинационных свойств индивидуальных дислокаций и дислокационных следов в кремнии в результате диффузии никеля и меди в процессе химико-механической полировки при комнатной температуре. Обнаружено, что введение никеля приводит к росту рекомбинационной активности как дислокаций, так и дислокационных следов. Введение меди не вызывает существенного изменения контраста протяженных дефектов.

W. Schroter, H. Cerva. Sol. St. Phenomena, 85--86, 67 (2002)
M. Seibt, V.V. Kveder. In: Advanced Silicon Materials for Photovoltaic Applications, ed. by S. Pizzini (John Wiley \& Sons, 2012) p. 127
I.E. Bondarenko, V.G. Eremenko, B.Ya. Farber, V.I. Nikitenko, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi A, 68 (1), 53 (1981)
I.E. Bondarenko, H. Blumtritt, J. Heydenreich, V.V. Kazmiruk, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi A, 95 (1), 173 (1986)
H. Alexander, S. Dietrich, M. Huhne, M. Kolbe, G. Weber. Phys. Status Solidi A, 117 (2), 417 (1990)
I.E. Bondarenko, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi A, 122 (1), 121 (1990)
В.И. Орлов, О.В. Феклисова, Е.Б. Якимов. ФТП, 49, 737 (2015)
A. Cavallini, A. Castaldini. J. de Phys., IV Colloque, 01 (C6), C6-89 (1991)
V.I. Orlov, E.B. Yakimov, Superlatt. Microstruct., 99, 202 (2016)
T.S. Fell, P.R. Wilshaw, M.D. De Coteau. Phys. Stat. Solidi A, 138 (2), 695 (1993)
S. Kusanagi, T. Sekiguchi, B. Shen, K. Sumino. Mater. Sci. Techn., 11 (7), 685 (1995)
M. Kittler, C. Ulhaq-Bouillet, V. Higgs. Mater. Sci. Engin. B, 24 (1), 48 (1994)
M. Seibt, V. Kveder, W. Schroter, O. Vob. Phys. Status Solidi A, 202 (5), 911 (2005)
О.В. Феклисова, Е.Б. Якимов. ФТТ, 53, 1175 (2011)
O.V. Feklisova, X. Yu, D. Yang, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi C, 9, 1942 (2012)
О.В. Феклисова, Е.Б. Якимов. ФТП, 49 (6), 732 (2015)
M. Seibt, V. Kveder, W. Schrоter, O. Vob. Phys. Status Solidi A, 202 (5), 911 (2005)
T. Zundel, J. Weber, B. Benson, P.O. Hahn, A. Schnegg, H. Prigge. Appl. Phys. Lett., 53 (15), 1426 (1988)
N. Yarykin, J. Weber. Appl. Phys. Lett., 109, 102101 (2016)
V.I. Orlov, E.B. Yakimov, N. Yarykin. Phys. Status Solidi C, 14, 1700074 (2017)
V. Kveder, M. Khorosheva, M. Seibt. Materials Today: Proceedings, 5, 14757 (2018)
В.Г. Еременко, Е.Б. Якимов. Письма ЖЭТФ, 26 (2), 72 (1977)
Н. А. Ярыкин, J. Weber. ФТП, 49 (6), 728 (2015)
Н. А. Ярыкин, J. Weber. ФТП, 44 (8), 1017 (2010)
N. Yarykin, J. Weber. Phys. Rev. B, 83, 125207 (2011)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель