"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Формирование нанопористых пленок силицидов меди
Переводная версия: 10.1134/S1063782619030059
Бучин Э.Ю. 1, Наумов В.В. 1, Васильев С.В. 1
1Ярославский филиал Физико-технологического института Российской академии наук, Ярославль, Россия
Email: imi.buchin@rambler.ru, vvnau@rambler.ru, vasilevsvhep@mail.ru
Поступила в редакцию: 8 августа 2018 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2019 г.

Экспериментально показана возможность формирования нанопористых пленок силицидов меди разного фазового состава. Для этого параметры исходной структуры a-Si/Cu и режимы ее отжига подбирали таким образом, чтобы процесс твердофазного синтеза останавливался на стадии образования разветвленного силицидного кластера. Затем пленки подвергали жидкостному травлению в смеси разбавленных неорганических кислот. При этом селективно удалялась метастабильная фаза CuxSi с низким содержанием меди и высвобождался трехмерный силицидный кластер. Одновременно вскрывались приповерхностные пустоты Киркендалла (Kirkendall voids), присутствующие в пленках. В результате совокупности этих двух процессов формировалась нанопористая структура.
  1. T. Ohmi, T. Saito, T. Shibata, T. Nitta. Proc. Fifth Int. IEEE Conf. VLSI Multilevel Interconnection (N. Y., 1989) p. 135
  2. C. Lavoie, F.M. Heurle, C. Cabral, jr. Microelectron Eng., 70,144 (2003)
  3. S.B. Lee, D.K. Choi, F. Philipp, K.S. Jeon, C.K. Kim. Appl. Phys. Lett., 88, 083117 (2006)
  4. H. Chen, Y. Xiao, L. Wang. J. Power Sources, 196 (16), 6657 (2011)
  5. B.M. Chen, R.L. Yeh. Proc. SPIE, 5380, 141 (2004)
  6. O. Parajuli, N. Kumar, D. Kipp, J. Hahm. Appl. Phys. Lett., 90, 173107 (2007)
  7. N. Kumar, O. Parajuli, J. Hahm. Appl. Phys. Lett., 91, 143114 (2007)
  8. Binary alloys phase diagrams, ed. by T.B. Massalski (Materials Park, OH: ASM International, 1992)
  9. А.В. Панин, А.Р. Шугуров, И.В. Ивонин, Е.В. Шестериков. ФТП, 44 (1), 118 (2010)
  10. Э.Ю. Бучин, В.В. Наумов, С.В. Васильев. ФТП, 51 (6), 844 (2017)
  11. M. Ibrahim, Z. Balong-Michels, P. Stender, D. Baither, G. Schmitz. Acta Materialia, 112, 315 (2016)
  12. A.D. Smigelskas, E.O. Kirkendall. Trans. AIME, 171, 130 (1947)
  13. L. Stolt, F.M. Heurle, J.M.E. Harper. Thin Sol. Films, 200, 147 (1991)
  14. H. Cai, D. Tong, Y. Wang, X. Song, B. Ding. J. Alloys Comp., 509, 1672 (2011)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.