Вышедшие номера
Формирование нанопористых пленок силицидов меди
Переводная версия: 10.1134/S1063782619030059
Бучин Э.Ю. 1, Наумов В.В. 1, Васильев С.В. 1
1Ярославский филиал Физико-технологического института Российской академии наук, Ярославль, Россия
Email: imi.buchin@rambler.ru, vvnau@rambler.ru, vasilevsvhep@mail.ru
Поступила в редакцию: 8 августа 2018 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2019 г.

Экспериментально показана возможность формирования нанопористых пленок силицидов меди разного фазового состава. Для этого параметры исходной структуры a-Si/Cu и режимы ее отжига подбирали таким образом, чтобы процесс твердофазного синтеза останавливался на стадии образования разветвленного силицидного кластера. Затем пленки подвергали жидкостному травлению в смеси разбавленных неорганических кислот. При этом селективно удалялась метастабильная фаза CuxSi с низким содержанием меди и высвобождался трехмерный силицидный кластер. Одновременно вскрывались приповерхностные пустоты Киркендалла (Kirkendall voids), присутствующие в пленках. В результате совокупности этих двух процессов формировалась нанопористая структура.