"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Энергия связи пластин кремния и сапфира при повышенных температурах соединения
Переводная версия: 10.1134/S1063782619010238
Российского фонда фундаментальных исследований (РФФИ), 2018_18-42-540008
Тысченко И.Е.1, Жанаев Э.Д.1, Попов В.П.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: tys@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 19 марта 2018 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2018 г.

Изучены гидрофильность поверхности и энергия связи пластин кремния и сапфира при температуре соединения 50oC. Установлено, что нагрев пластин Si и Al2O3 до 50oC сопровождается ростом степени гидрофильности их поверхностей. Эффект объясняется улучшением степени чистоты поверхности за счет десорбции примесных атомов в вакуум и увеличением плотности оборванных связей. Обнаружен рост энергии связи пластин кремния и сапфира при температуре соединения 50oC и последующем нагреве в интервале 100-250oC по сравнению с ее значениями при соединении при комнатной температуре. Определена энергия активации роста энергии связи, которая составила 0.57 эВ.
  • V.M. Stuchebnikov. J. Commun. Technol. Electron., 50, 622 (2005)
  • H.M. Manasevit, W.L. Simpson. J. Appl. Phys., 35, 1349 (1964)
  • Q.-Y. Tong, U. Gosele. Semiconductor wafer bonding (Ins. John Wiley and Sons Inc., 1999)
  • D.M. Jefkins. J. Phys. D: Appl. Phys., 3, 770 (1970)
  • R. Meyer, O. Kononchuk, H. Moriceau, M. Lemiti, M. Bruel. Solid State Electron., 115 (pt B), 225 (2016)
  • В.П. Попов, Э.Д. Жанаев, Н.В. Дудченко, В.А. Антонов, А.И. Попов. Патент РФ N 2538352. Заявитель и патентообладатель Новосибирск, ИФП СО РАН, N 2013126847/(039881). [Бюл. N 1 (2015)]
  • P. Kopperschmidt, G. Kastner, D. Hesse, N. . Zakharov, U. Gosele. Appl. Phys. Lett., 70, 2972 (1997)
  • А. Адамсон. Физическая химия поверхностей, под ред. З.М. Зорина, В.М. Муллера (М., Мир, 1979)
  • P.P. Gillis, J.J. Gilman. J. Appl. Phys., 35, 647 (1964)
  • W.P. Maszara, G. Goetz, A. Caviglia. J.B. McKitterick. J. Appl. Phys., 64, 4843 (1988)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.