"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Энергия связи пластин кремния и сапфира при повышенных температурах соединения
Переводная версия: 10.1134/S1063782619010238
Российского фонда фундаментальных исследований (РФФИ), 2018_18-42-540008
Тысченко И.Е.1, Жанаев Э.Д.1, Попов В.П.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: tys@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 19 марта 2018 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2018 г.

Изучены гидрофильность поверхности и энергия связи пластин кремния и сапфира при температуре соединения 50oC. Установлено, что нагрев пластин Si и Al2O3 до 50oC сопровождается ростом степени гидрофильности их поверхностей. Эффект объясняется улучшением степени чистоты поверхности за счет десорбции примесных атомов в вакуум и увеличением плотности оборванных связей. Обнаружен рост энергии связи пластин кремния и сапфира при температуре соединения 50oC и последующем нагреве в интервале 100-250oC по сравнению с ее значениями при соединении при комнатной температуре. Определена энергия активации роста энергии связи, которая составила 0.57 эВ.
  1. V.M. Stuchebnikov. J. Commun. Technol. Electron., 50, 622 (2005)
  2. H.M. Manasevit, W.L. Simpson. J. Appl. Phys., 35, 1349 (1964)
  3. Q.-Y. Tong, U. Gosele. Semiconductor wafer bonding (Ins. John Wiley and Sons Inc., 1999)
  4. D.M. Jefkins. J. Phys. D: Appl. Phys., 3, 770 (1970)
  5. R. Meyer, O. Kononchuk, H. Moriceau, M. Lemiti, M. Bruel. Solid State Electron., 115 (pt B), 225 (2016)
  6. В.П. Попов, Э.Д. Жанаев, Н.В. Дудченко, В.А. Антонов, А.И. Попов. Патент РФ N 2538352. Заявитель и патентообладатель Новосибирск, ИФП СО РАН, N 2013126847/(039881). [Бюл. N 1 (2015)]
  7. P. Kopperschmidt, G. Kastner, D. Hesse, N. . Zakharov, U. Gosele. Appl. Phys. Lett., 70, 2972 (1997)
  8. А. Адамсон. Физическая химия поверхностей, под ред. З.М. Зорина, В.М. Муллера (М., Мир, 1979)
  9. P.P. Gillis, J.J. Gilman. J. Appl. Phys., 35, 647 (1964)
  10. W.P. Maszara, G. Goetz, A. Caviglia. J.B. McKitterick. J. Appl. Phys., 64, 4843 (1988)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.