Вышедшие номера
Зависимость объемных электрофизических свойств мультикремния от параметров разориентации зерен
Переводная версия: 10.1134/S1063782619010160
Пещерова С.М.1, Якимов Е.Б.2, Непомнящих А.И.1, Орлов В.И.2, Феклисова О.В.2, Павлова Л.А.1, Пресняков Р.В.1
1Институт геохимии им. А.П. Виноградова Сибирского отделения Российской академии наук, Иркутск, Россия
2Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Email: spescherova@mail.ru
Поступила в редакцию: 10 января 2018 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2018 г.

Методами тока, индуцированного электронным или лазерным пучком, исследована рекомбинационная активность внутризеренных дефектов в мультикристаллическом кремнии. Выявлена взаимосвязь ориентации зерен с характером распределения внутризеренных дефектов (дислокаций и примесных включений) и их рекомбинационной активностью. Дефектная структура зерен исследована с использованием различных методик травления для выявления дефектов. Показано, что плотность и распределение дефектов в зернах зависят от их ориентации относительно оси роста. Поэтому именно внутризеренные дефекты и примеси в большей степени, чем границы зерен, ответственны за деградацию времени жизни неравновесных носителей заряда.