"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Слоевое сопротивление TiAlNiAu тонкопленочной металлизации омических контактов к нитридным полупроводниковым структурам
Переводная версия: 10.1134/S1063782619010226
Торхов Н.А.1,2,3
1Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов, Томск, Россия
2Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Томск, Россия
3Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
Email: trkf@mail.ru
Поступила в редакцию: 10 апреля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2018 г.

Определена связь геометрии метрического пространства поверхности тонкопленочной металлической TiAlNiAu-системы с геометрией функционального пространства ее слоевых сопротивлений Rsq. На основе этого описан наблюдающийся в локальном приближении латеральный размерный эффект, который проявляется в зависимости слоевого сопротивления Rsq металлической TiAlNiAu-пленки от ее латеральных (в плоскости (x,y)) линейных размеров. Зависимость Rsq от линейных размеров определяется фрактальной геометрией образующих ее дендритов, а именно --- степенной зависимостью изменения линейных размеров от фрактальной размерности Df. Обнаруженная закономерность имеет важное практическое значение как для точного расчета значений Rsq тонкопленочных металлических систем при проектировании дискретных приборов и интегральных микросхем, так и для контроля результатов технологических процессов получения тонких металлических пленок и систем на их основе на микронном и наноуровнях.
  1. A.F. Mayadas, M. Shatzkes, J.F. Janak. Appl. Phys. Lett., 14 (11), 345 (1969)
  2. Г. Хасс. Физика тонких пленок (М., Мир, 1967) т. 1
  3. Р.Э. Тун. Структура тонких пленок. В сб.: Физика тонких пленок (М., Мир, 1967) т. 1. [Пер. с англ. под ред. Г. Хасса]
  4. К.Л. Чопра. Электрические явления в тонких пленках (М., Мир, 1972)
  5. Ю.Ф. Комник. Физика металлических пленок. Размерные и структурные эффекты (М., Атомиздат, 1979)
  6. Д.К. Ларсон. Размерные эффекты в электропроводности тонких металлических пленок и проволок В кн.: Физика тонких пленок (М., Мир, 1973) т. 6, с. 97
  7. Н.Т. Гладких. Автореф. докт. дис. (Харьков, 1976)
  8. R. Wu, L. Chen, A.J. Freeman. JMMM, 170, 103 (1997)
  9. Ю.Ю. Тарасевич. Перколяция: теория, приложения, алгоритмы. Учеб. пособие (М., Едиториал УРСС, 2002)
  10. В.Б. Лобода. Автореф. конд. дис. (Ин-т проблем матриаловедения, Киев, 1984)
  11. И.В. Антонец. Автореф. канд. дис. (Сыктывкарский гос. ун-т, Челябинск, 2004)
  12. О.Н. Соклакова. Альтернативная энергетика и экология, 11 (133), 25 (2013)
  13. M.S.P. Lucas. J. Appl. Phys., 36 (5), 1632 (1965)
  14. A. Bendavid, P.J. Martin, L. Wieczorek. Thin Sol. Films, 354, 169 (1999)
  15. G. Bader, A. Hache, V.-V. Truong. Thin Sol. Films, 375, 73 (2000)
  16. И.E. Проценко, А.В. Яременко. Металлофизика, 4 (2), 71 (1982)
  17. H.H. Коненкова, Э.М. Рейхрудель, Г.В. Смирницкая. Микроэлектроника, 9 (5), 467 (1980)
  18. M.S. Iqbal, Ijaz-ur-Rehman, Beg S.J. Pure. Appl. Phys., 18 (8), 614 (1980)
  19. A. Kawazu, Y. Saito, H. Asahi, G. Tominada. Thin Sol. Films, 37 (2), 261 (1976)
  20. P.B. Бычковский, E.A. Колесник, Г.А. Ухлинов и др. Размерный эффект и температурный коэффициент сопротивления тонких пленок висмута В кн.: Сб. науч. тр. по проблемам микроэлектроники (Изд-во МФТИ, 1978) т. 38, с. 224
  21. Б.Л. Мельничук, З.В. Стасюк. ФММ, 46 (5), 1115 (1978)
  22. W.E.I. Neal, R.N.A. Borabin. Thin Sol. Films, 44 (1), 169 (1977)
  23. H.-D. Liu, Y.-P. Zhao, G. Ramanath, S.P. Hurerka, G.C. Wang. Thin Sol. Films, 384, 151 (2001)
  24. Kh.M. Mannan. Phys. Lett., 62 (7), 519 (1977)
  25. C.R. Tellier. Vacuum, 28 (8--9), 321 (1978)
  26. A.K. Pal, S.J. Chaudhuri. Mater. Sci., 11 (7), 872 (1976)
  27. Г.И. Фролов, B.C. Жигалов, А.И. Польский, В.Г. Поздняков. ФТТ, 38 (4), 1208 (1996)
  28. A.K. Pal, S. Chaudhuri, A.K. Barua. J. Phys. D: Appl. Phys., 9 (15), 2261 (1976)
  29. G. Fischer, Н. Hoffmann, I. Vancea. Phys. Rev. B: Condens. Matter, 22 (12), 6065 (1980)
  30. K.B. Singh, I. Hatibarua. Indian J. Pure Appl. Phys., 20 (3), 183 (1982)
  31. C.R. Pichard, Yu.P. Komnik, A.I. Tosser. J. Mater. Sci. Lett., 2 (7), 360 (1983).
  32. А.А Замешин, М.Ю. Попов, В.В. Медведев, С.А. Перфилов, Р.Л. Ломакин, С.Г. Буга, В.Н. Денисов, А.Н. Кириченко, Е.В. Татьянин, В.В. Аксененков, В.Д. Бланк. Тр. МФТИ, 4 (3), 74 (2012)
  33. S.C. Bandyopadhyay, A.K. Pal. J. Phys. D: Appl. Phys., 12 (6), 953 (1979)
  34. В.Б. Лобода, И.Е. Проценко, М.Д. Смолин. Металлофизика, 5 (5), 69 (1983)
  35. M.A. Angadi, L.A. Udachan. Thin Sol. Films, 79 (2), 149 (1981)
  36. Д.К. Ларсон. Физика тонких пленок (М., Мир, 1973) т. 6, с. 97
  37. A.D. Kent, J. Yu, U. Rudiger, S.S.P. Parkin. J. Phys.: Condens. Matter, 13, R461 (2001)
  38. Г.П. Жигальский. УФН, 6, 623 (1997)
  39. И.В. Антонец, О.H. Котов, C.B. Некипелов, Е.А. Голубев. ЖТФ, 3, 24 (2004)
  40. И.В. Антонец. Тез. докл. VI ВНКСФ (Томск, Россия, 2000) с. 403
  41. И.В. Антонец. Сб. научных работ аспирантов и молодых ученых (Сыктывкар, 2002) с. 6
  42. I. Mojzes, C. Dominkovics, G. Harsanyi, S. Nagy, J. Pipek, L. Dobos. Appl. Phys. Lett., 91, 073107 (2007)
  43. Н.А. Торхов. Матер. 25-й Междунар. Крымской конф. "СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии" (КрыМиКо-2015) (Севастополь, Крым, Россия, 6-12 сентября 2015) с. 637
  44. Н.А. Торхов. Тез. докл. 7-й Междунар. науч.-практ. конф. по физике и технологии наногетероструктурной СВЧ-электроники "Мокеровские чтения" (М., Россия, Нац. исслед. ядерный ун-т "МИФИ", 2016) с. 51
  45. Н.А. Торхов, В.А. Новиков. ФТП, 43 (8), 1109 (2009)
  46. Н.А. Торхов, И.Д. Филимонова, В.А. Новиков. Тез. докл. 7-й Междунар. науч.-практич. конф. по физике и технологии наногетероструктурной СВЧ-электроники "Мокеровские чтения" (М., Россия, Нац. исслед. ядерный ун-т "МИФИ", 2016) с. 49
  47. N.A. Torkhov, L.I. Babak, A.A. Kokolov, A.S. Salnikov, I.M. Dobush, V.A. Novikov, I.V. Ivonin. J. Appl. Phys., 119, 094505 (2016)
  48. Н.А. Торхов. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 1, 1 (2010)
  49. N.M. Shmidt, V.V. Emtsev, A.G. Kolmakov, A.G. Kryzhanovsky, W.V. Lundin, D.S. Poloskin, V.V. Ratnikov, A.N. Titkov, E.E. Zavarin. Nanotechnology, 12, 471 (2001)
  50. N.M. Shmidt, G. Aliev, A.N. Besyul'kin, J. Davies, M.S. Dunaevsky, A.G. Kolmakov, A.V. Loskutov, W.V. Lundin, A.V. Sakharov, A.S. Usikov, D. Wolverson, E.E. Zavarin. Physica Status Solidi C, 558 (2002)
  51. G. Greco, F. Iucolano, F. Roccaforte. Appl. Surf. Sci., 383 (15), 324 (2016)
  52. B. Van Daele, G. Van Tendeloo, W. Ruythooren, J. Derluyn, M.R. Leys, M. Germain. Appl. Phys. Lett., 87, 061905 (2005)
  53. R. Gong, J. Wang, S. Liu, Z. Dong, M. Yu, C.P. Wen, Y. Cai, B. Zhang. Appl. Phys. Lett., 97, 062115 (2010)
  54. А.Н. Колмогоров, С.В. Фомин. Элементы теории функций и функционального анализа. Изд. 4-е перераб. (М., Наука, 1976) с. 543
  55. Е. Федер. Фракталы (М., Мир, 1991)
  56. И.А. Иванишко, В.Г. Кротов. Мат. заметки, 86 (6), 829 (2009)
  57. И.М. Гельфанд, С.В. Фомин. Вариационное исчисление (М., Гос. изд-во физ.-мат. лит., В-71, 1961)
  58. Ю.В. Тихонов. Автореф. канд. дис. (М., МГУ им. М.В. Ломоносова, 2016)
  59. M. Barnsley, Fractals everywhere. (U.K., Academic Press Ltd, 1988) p. 533
  60. А.И. Назаров. Вероятность и статистика. ЗНС ПОМИ, 311, 190 (2004)
  61. K. Aoki. Nonlinear Dynamics Chaos in Semiconductors (U.K., British Library Cataloguing-in-Publication Data. IOP Publishing Ltd, 2001) p. 508
  62. A.P. Micolich. Fractal Magnetic-conductance Fluctuations in Mesoscopic Semiconductor Billiards, Ph.D. Thesis (University of New South Wales. U. K., 2000)
  63. A.P. Micolich, R.P. Taylor, A.G. Davies, T.M. Fromhold, H. Linke, L.D. Macks, R. Newbury, A. Ehlert, W.R. Tribe, E.H. Linfield, D.A. Ritchie. Appl. Phys. Lett., 80, 4381 (2002)
  64. Н.А. Торхов. Матер. 25-й Междунар. Крымской конф. "СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии" (КрыМиКо-2014) (Севастополь, Крым, Россия, 7-13 сентября 2014) с. 663
  65. R. Taylor, R. Newbury, A. Micolich, M. Fromhold, H. Linke, G. Davies, T. Martin, C. Marlow. A Review of Fractal Conductance Fluctuations in Ballistic Semiconductor Devices (2003) p. 277
  66. Н.А. Торхов, В.Г. Божков, В.А. Новиков, Н.В. Земскова, В.А Бурмистрова. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 1, 81 (2011)
  67. Н.А. Торхов, В.Г. Божков. ФТП, 43 (5), 577 (2009)
  68. Н.А. Торхов, В.А. Новиков, И.В. Ивонин. Матер. 25-й Междунар. Крымской конф. "СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии" (КрыМиКо-2015) (Севастополь, Крым, Россия, 6-12 сентября 2015) с. 609.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.