"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Слоевое сопротивление TiAlNiAu тонкопленочной металлизации омических контактов к нитридным полупроводниковым структурам
Переводная версия: 10.1134/S1063782619010226
Торхов Н.А.1,2,3
1Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов, Томск, Россия
2Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Томск, Россия
3Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
Email: trkf@mail.ru
Поступила в редакцию: 10 апреля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2018 г.

Определена связь геометрии метрического пространства поверхности тонкопленочной металлической TiAlNiAu-системы с геометрией функционального пространства ее слоевых сопротивлений Rsq. На основе этого описан наблюдающийся в локальном приближении латеральный размерный эффект, который проявляется в зависимости слоевого сопротивления Rsq металлической TiAlNiAu-пленки от ее латеральных (в плоскости (x,y)) линейных размеров. Зависимость Rsq от линейных размеров определяется фрактальной геометрией образующих ее дендритов, а именно --- степенной зависимостью изменения линейных размеров от фрактальной размерности Df. Обнаруженная закономерность имеет важное практическое значение как для точного расчета значений Rsq тонкопленочных металлических систем при проектировании дискретных приборов и интегральных микросхем, так и для контроля результатов технологических процессов получения тонких металлических пленок и систем на их основе на микронном и наноуровнях.
  • A.F. Mayadas, M. Shatzkes, J.F. Janak. Appl. Phys. Lett., 14 (11), 345 (1969)
  • Г. Хасс. Физика тонких пленок (М., Мир, 1967) т. 1
  • Р.Э. Тун. Структура тонких пленок. В сб.: Физика тонких пленок (М., Мир, 1967) т. 1. [Пер. с англ. под ред. Г. Хасса]
  • К.Л. Чопра. Электрические явления в тонких пленках (М., Мир, 1972)
  • Ю.Ф. Комник. Физика металлических пленок. Размерные и структурные эффекты (М., Атомиздат, 1979)
  • Д.К. Ларсон. Размерные эффекты в электропроводности тонких металлических пленок и проволок В кн.: Физика тонких пленок (М., Мир, 1973) т. 6, с. 97
  • Н.Т. Гладких. Автореф. докт. дис. (Харьков, 1976)
  • R. Wu, L. Chen, A.J. Freeman. JMMM, 170, 103 (1997)
  • Ю.Ю. Тарасевич. Перколяция: теория, приложения, алгоритмы. Учеб. пособие (М., Едиториал УРСС, 2002)
  • В.Б. Лобода. Автореф. конд. дис. (Ин-т проблем матриаловедения, Киев, 1984)
  • И.В. Антонец. Автореф. канд. дис. (Сыктывкарский гос. ун-т, Челябинск, 2004)
  • О.Н. Соклакова. Альтернативная энергетика и экология, 11 (133), 25 (2013)
  • M.S.P. Lucas. J. Appl. Phys., 36 (5), 1632 (1965)
  • A. Bendavid, P.J. Martin, L. Wieczorek. Thin Sol. Films, 354, 169 (1999)
  • G. Bader, A. Hache, V.-V. Truong. Thin Sol. Films, 375, 73 (2000)
  • И.E. Проценко, А.В. Яременко. Металлофизика, 4 (2), 71 (1982)
  • H.H. Коненкова, Э.М. Рейхрудель, Г.В. Смирницкая. Микроэлектроника, 9 (5), 467 (1980)
  • M.S. Iqbal, Ijaz-ur-Rehman, Beg S.J. Pure. Appl. Phys., 18 (8), 614 (1980)
  • A. Kawazu, Y. Saito, H. Asahi, G. Tominada. Thin Sol. Films, 37 (2), 261 (1976)
  • P.B. Бычковский, E.A. Колесник, Г.А. Ухлинов и др. Размерный эффект и температурный коэффициент сопротивления тонких пленок висмута В кн.: Сб. науч. тр. по проблемам микроэлектроники (Изд-во МФТИ, 1978) т. 38, с. 224
  • Б.Л. Мельничук, З.В. Стасюк. ФММ, 46 (5), 1115 (1978)
  • W.E.I. Neal, R.N.A. Borabin. Thin Sol. Films, 44 (1), 169 (1977)
  • H.-D. Liu, Y.-P. Zhao, G. Ramanath, S.P. Hurerka, G.C. Wang. Thin Sol. Films, 384, 151 (2001)
  • Kh.M. Mannan. Phys. Lett., 62 (7), 519 (1977)
  • C.R. Tellier. Vacuum, 28 (8--9), 321 (1978)
  • A.K. Pal, S.J. Chaudhuri. Mater. Sci., 11 (7), 872 (1976)
  • Г.И. Фролов, B.C. Жигалов, А.И. Польский, В.Г. Поздняков. ФТТ, 38 (4), 1208 (1996)
  • A.K. Pal, S. Chaudhuri, A.K. Barua. J. Phys. D: Appl. Phys., 9 (15), 2261 (1976)
  • G. Fischer, Н. Hoffmann, I. Vancea. Phys. Rev. B: Condens. Matter, 22 (12), 6065 (1980)
  • K.B. Singh, I. Hatibarua. Indian J. Pure Appl. Phys., 20 (3), 183 (1982)
  • C.R. Pichard, Yu.P. Komnik, A.I. Tosser. J. Mater. Sci. Lett., 2 (7), 360 (1983).
  • А.А Замешин, М.Ю. Попов, В.В. Медведев, С.А. Перфилов, Р.Л. Ломакин, С.Г. Буга, В.Н. Денисов, А.Н. Кириченко, Е.В. Татьянин, В.В. Аксененков, В.Д. Бланк. Тр. МФТИ, 4 (3), 74 (2012)
  • S.C. Bandyopadhyay, A.K. Pal. J. Phys. D: Appl. Phys., 12 (6), 953 (1979)
  • В.Б. Лобода, И.Е. Проценко, М.Д. Смолин. Металлофизика, 5 (5), 69 (1983)
  • M.A. Angadi, L.A. Udachan. Thin Sol. Films, 79 (2), 149 (1981)
  • Д.К. Ларсон. Физика тонких пленок (М., Мир, 1973) т. 6, с. 97
  • A.D. Kent, J. Yu, U. Rudiger, S.S.P. Parkin. J. Phys.: Condens. Matter, 13, R461 (2001)
  • Г.П. Жигальский. УФН, 6, 623 (1997)
  • И.В. Антонец, О.H. Котов, C.B. Некипелов, Е.А. Голубев. ЖТФ, 3, 24 (2004)
  • И.В. Антонец. Тез. докл. VI ВНКСФ (Томск, Россия, 2000) с. 403
  • И.В. Антонец. Сб. научных работ аспирантов и молодых ученых (Сыктывкар, 2002) с. 6
  • I. Mojzes, C. Dominkovics, G. Harsanyi, S. Nagy, J. Pipek, L. Dobos. Appl. Phys. Lett., 91, 073107 (2007)
  • Н.А. Торхов. Матер. 25-й Междунар. Крымской конф. "СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии" (КрыМиКо-2015) (Севастополь, Крым, Россия, 6-12 сентября 2015) с. 637
  • Н.А. Торхов. Тез. докл. 7-й Междунар. науч.-практ. конф. по физике и технологии наногетероструктурной СВЧ-электроники "Мокеровские чтения" (М., Россия, Нац. исслед. ядерный ун-т "МИФИ", 2016) с. 51
  • Н.А. Торхов, В.А. Новиков. ФТП, 43 (8), 1109 (2009)
  • Н.А. Торхов, И.Д. Филимонова, В.А. Новиков. Тез. докл. 7-й Междунар. науч.-практич. конф. по физике и технологии наногетероструктурной СВЧ-электроники "Мокеровские чтения" (М., Россия, Нац. исслед. ядерный ун-т "МИФИ", 2016) с. 49
  • N.A. Torkhov, L.I. Babak, A.A. Kokolov, A.S. Salnikov, I.M. Dobush, V.A. Novikov, I.V. Ivonin. J. Appl. Phys., 119, 094505 (2016)
  • Н.А. Торхов. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 1, 1 (2010)
  • N.M. Shmidt, V.V. Emtsev, A.G. Kolmakov, A.G. Kryzhanovsky, W.V. Lundin, D.S. Poloskin, V.V. Ratnikov, A.N. Titkov, E.E. Zavarin. Nanotechnology, 12, 471 (2001)
  • N.M. Shmidt, G. Aliev, A.N. Besyul'kin, J. Davies, M.S. Dunaevsky, A.G. Kolmakov, A.V. Loskutov, W.V. Lundin, A.V. Sakharov, A.S. Usikov, D. Wolverson, E.E. Zavarin. Physica Status Solidi C, 558 (2002)
  • G. Greco, F. Iucolano, F. Roccaforte. Appl. Surf. Sci., 383 (15), 324 (2016)
  • B. Van Daele, G. Van Tendeloo, W. Ruythooren, J. Derluyn, M.R. Leys, M. Germain. Appl. Phys. Lett., 87, 061905 (2005)
  • R. Gong, J. Wang, S. Liu, Z. Dong, M. Yu, C.P. Wen, Y. Cai, B. Zhang. Appl. Phys. Lett., 97, 062115 (2010)
  • А.Н. Колмогоров, С.В. Фомин. Элементы теории функций и функционального анализа. Изд. 4-е перераб. (М., Наука, 1976) с. 543
  • Е. Федер. Фракталы (М., Мир, 1991)
  • И.А. Иванишко, В.Г. Кротов. Мат. заметки, 86 (6), 829 (2009)
  • И.М. Гельфанд, С.В. Фомин. Вариационное исчисление (М., Гос. изд-во физ.-мат. лит., В-71, 1961)
  • Ю.В. Тихонов. Автореф. канд. дис. (М., МГУ им. М.В. Ломоносова, 2016)
  • M. Barnsley, Fractals everywhere. (U.K., Academic Press Ltd, 1988) p. 533
  • А.И. Назаров. Вероятность и статистика. ЗНС ПОМИ, 311, 190 (2004)
  • K. Aoki. Nonlinear Dynamics Chaos in Semiconductors (U.K., British Library Cataloguing-in-Publication Data. IOP Publishing Ltd, 2001) p. 508
  • A.P. Micolich. Fractal Magnetic-conductance Fluctuations in Mesoscopic Semiconductor Billiards, Ph.D. Thesis (University of New South Wales. U. K., 2000)
  • A.P. Micolich, R.P. Taylor, A.G. Davies, T.M. Fromhold, H. Linke, L.D. Macks, R. Newbury, A. Ehlert, W.R. Tribe, E.H. Linfield, D.A. Ritchie. Appl. Phys. Lett., 80, 4381 (2002)
  • Н.А. Торхов. Матер. 25-й Междунар. Крымской конф. "СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии" (КрыМиКо-2014) (Севастополь, Крым, Россия, 7-13 сентября 2014) с. 663
  • R. Taylor, R. Newbury, A. Micolich, M. Fromhold, H. Linke, G. Davies, T. Martin, C. Marlow. A Review of Fractal Conductance Fluctuations in Ballistic Semiconductor Devices (2003) p. 277
  • Н.А. Торхов, В.Г. Божков, В.А. Новиков, Н.В. Земскова, В.А Бурмистрова. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 1, 81 (2011)
  • Н.А. Торхов, В.Г. Божков. ФТП, 43 (5), 577 (2009)
  • Н.А. Торхов, В.А. Новиков, И.В. Ивонин. Матер. 25-й Междунар. Крымской конф. "СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии" (КрыМиКо-2015) (Севастополь, Крым, Россия, 6-12 сентября 2015) с. 609.
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.