"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Формирование и исследование локально-растянутых Ge-микроструктур для кремниевой фотоники
Переводная версия: 10.1134/S1063782618110167
Новиков А.В. 1,2, Юрасов Д.В.1, Морозова Е.Е.1, Скороходов Е.В.1, Вербус В.А.1,3, Яблонский А.Н.1, Байдакова Н.А.1, Гусев Н.С.1, Кудрявцев К.Е.1,2, Нежданов А.В.2, Машин А.И.2
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
3НИУ Высшая школа экономики, Нижний Новгород, Россия
Email: anov@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 25 апреля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2018 г.

Представлены результаты по формированию и исследованию локально-растянутых Ge-микроструктур ("микромостиков") на основе слоев Ge, выращенных на кремниевых подложках. Выполнен теоретический анализ распределения деформации в свободновисящих Ge-микромостиках, который выявил, что для достижения максимального уровня деформации растяжения в самом микромостике необходима минимизация концентрации упругих напряжений во всех углах формируемой микроструктуры. Измерения локальной деформации методом комбинационного рассеяния света показали увеличение деформации растяжения с 0.2-0.25% в исходной Ge-пленке до 2.4% в Ge-микромостиках. Методом спектроскопии микрофотолюминесценции продемонстрировано значительное возрастание интенсивности и существенная модификация спектра ФЛ в области максимальных растягивающих напряжений в Ge-микромостиках и их окрестностях по сравнению со слабо растянутыми участками исходных слоев Ge.
  1. S. Saito, A.Z. Al-Attili, K. Oda, Y. Ishikawa. Semicond. Sci. Technol., 31, 043002 (2016)
  2. R. Geiger, T. Zabel, H. Sigg. Frontiers Mater., 2, 52 (2015)
  3. J. Liu, X. Sun, D. Pan, X. Wang, L.C. Kimerling, T.L. Koch, J. Michel. Opt. Express, 15, 11272 (2007)
  4. J. Menendez, J. Kouvetakis. Appl. Phys. Lett., 85, 1175 (2004)
  5. M. Virgilio, C.L. Manganelli, G. Grosso, G. Pizzi, G. Capellini. Phys. Rev. B, 87, 235313 (2013)
  6. Y.-Y. Fang, J. Tolle, R. Roucka, A.V.G. Chizmeshya, J. Kouvetakis. Appl. Phys. Lett., 90, 061915 (2007)
  7. G. Capellini, M. De Seta, P. Zaumseil, G. Kozlowski, T. Schroeder. J. Appl. Phys., 111, 73518 (2012)
  8. R.A. Minamisawa, M.J. Suess, R. Spolenak, J. Faist, C. David, J. Gobrecht, K.K. Bourdelle, H. Sigg. Nature Commun., 3, 1096 (2012)
  9. M.J. Suess, R. Geiger, R.A. Minamisawa, G. Schiefler, J. Frigerio, D. Chrastina, G. Isella, R. Spolenak, J. Faist, H. Sigg. Nature Photonics, 7, 466 (2013)
  10. S. Bao, D. Kim, C. Onwukaeme, S. Gupta, K. Saraswat, K.H. Lee, Y. Kim, D. Min, Y. Jung, H. Qiu, H. Wang, E.A. Fitzgerald, C.S. Tan, D. Nam. Nature Commun., 8, 1845 (2017)
  11. H.-C. Luan, D.R. Lim, K.K. Lee, K.M. Chen, J.G. Sandland, K. Wada, L.C. Kimerling. Appl. Phys. Lett., 75, 2909 (1999)
  12. L. Colace, G. Masini, F. Galluzzi, G. Assanto, G. Capellini, L. Di Gaspare, E. Palange, F. Evangelisti. Appl. Phys. Lett., 72, 3175 (1998)
  13. J.-M. Hartmann, A. Abbadie, J.P. Barnes, J.M. Fedeli, T. Billon, L. Vivien. J. Cryst. Growth, 312, 532 (2010)
  14. Д.В. Юрасов, А.И. Бобров, В.М. Данильцев, А.В. Новиков, Д.А. Павлов, Е.В. Скороходов, М.В. Шалеев, П.А. Юнин. ФТП, 49, 1463 (2015)
  15. D.V. Yurasov, A.V. Antonov, M.N. Drozdov, V.B. Schmagin, K.E. Spirin, A.V. Novikov. J. Appl. Phys., 118, 145701 (2015)
  16. Н.А. Байдакова, В.А. Вербус, Е.Е. Морозова, А.В. Новиков, Е.В. Скороходов, М.В. Шалеев, Д.В. Юрасов, A. Hombe, Y. Kurokawa, N. Usami. ФТП, 51 (12), 1599 (2017)
  17. A. Gassenq, S. Tardif, K. Guilloy, I. Duchemin, N. Pauc, J.-M. Hartmann, D. Rouchon, J. Widiez, Y.M. Niquet, L. Milord, T. Zabel, H. Sigg, J. Faist, A. Chelnokov, F. Rieutord, V. Reboud, V. Calvo. J. Appl. Phys., 121, 055702 (2017)
  18. J.J. Wortman. R.A. Evans. J. Appl. Phys., 36, 153 (1965)
  19. Guo-En Chang, H.H. Cheng. J. Phys. D: Appl. Phys., 46, 065103 (2013)
  20. G. Capellini, C. Reich, S. Guha, Y. Yamamoto, M. Lisker, M. Virgilio, A. Ghrib, M. El Kurdi, P. Boucaud, B. Tillack, T. Schroeder. Opt. Express, 22, 399 (2014)
  21. K.P. Rola, I. Zubel. Mater. Sci. Poland, 29, 278 (2011)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.