1Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники Российской академии наук, Москва, Россия
2Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь
3Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
4Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
5"НИИ "Полюс" им. М.Ф. Стельмаха", Москва, Россия
6Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия
7Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия