"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование профиля эффективного показателя преломления в самоорганизующихся наноструктурированных пленках ITO
Переводная версия: 10.1134/S106378261810010X
Марков Л.К. 1, Павлюченко А.С. 1, Смирнова И.П. 1, Павлов С.И. 1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: l.markov@mail.ioffe.ru, alexey.pavluchenko@gmail.com, irina@quantum.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 26 февраля 2018 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2018 г.

Исследовались оптические характеристики и структурные особенности самоорганизующихся наноструктурированных пленок оксида индия и олова (ITO), нанесенных методом электронно-лучевого испарения на нагретые выше 400oC подложки. Оценки профилей распределения вещества и значения эффективного показателя преломления в исследуемых пленках были получены компьютерным моделированием среды, имеющей наиболее близкие к наблюдаемым в эксперименте спектральные зависимости коэффициентов пропускания и отражения света. Полученные результаты находятся в хорошем согласии с данными растровой электронной микроскопии для этих пленок и позволяют не только подтвердить градиентный характер таких покрытий, но и восстановить его некоторые особенности. Дальнейшее заращивание пустот в самоорганизующихся наноструктурированных пленках посредством нанесения дополнительного количества материала методом магнетронного распыления при комнатной температуре приводит к изменению в них профиля эффективного показателя преломления. Таким образом можно создавать прозрачные проводящие покрытия с профилем эффективного показателя преломления, настраиваемым под поставленные задачи. Настройка профиля показателя преломления в самоорганизованных пленках ITO приобретает особое значение для конструирования покрытий с заданными свойствами в силу ограниченного набора прозрачных проводящих материалов.
  1. R. H. Horng, C.C. Yang, J.Y. Wu, S.H. Huang, C.E. Lee, D.S. Wuu. Appl. Phys. Lett., 86, 221101 (2005)
  2. Y.C. Lee, C.E. Lee, T.C. Lu, H.C. Kuo, S.C. Wang. Semicond. Sci. Technol., 23, 045013 (2008)
  3. P.G. O'Brien, Y. Yang, A. Chutinan, P. Mahtani, K. Leong, D.P. Puzzo, L.D. Bonifacio, Chen-Wei Lin, G.A. Ozin, N.P. Kherani. Solar Energy Mater. \& Solar Cells, 102, 173 (2012)
  4. Joong-Yeon Cho, Kyeong-Jae Byeon, Heon Lee. Optics Lett., 36, 3203 (2011)
  5. P.G. O'Brien, D.P. Puzzo, A. Chutinan, L.D. Bonifacio, G.A. Ozin, N.P. Kherani. Adv. Mater., 22, 611 (2010)
  6. J.K. Kim, T. Gessmann, E.F. Schubert, J.-Q. Xi, Hong Luo Jaehee Cho, Cheolsoo Sone, Yongjo Park. Appl. Phys. Lett., 88, 013501 (2006)
  7. M.F. Schubert, J.-Q. Xi, J.K. Kim, E.F. Schubert. Appl. Phys. Lett., 90, 141115 (2007)
  8. Jong Kyu Kim, Sameer Chhajed, Martin F. Schubert, E. Fred Schubert, Arthur J. Fischer, Mary H. Crawford, Jaehee Cho, Hyunsoo Kim, Cheolsoo Sone. Adv. Mater., 20, 801 (2008)
  9. K. Robbie, L.J. Friedrich, S.K. Dew, T. Smy, M.J. Brett. J. Vac. Sci. Technol. A, 13, 1032 (1995)
  10. X.Y. Xue, Y.J. Chen, Y.G. Liu, S.L. Shi, Y.G. Wang, T.H. Wanga. Appl. Phys. Lett., 88, 201907 (2006)
  11. A.J. Chiquito, A.J.C. Lanfredi, E.R. Leite. J. Phys. D: Appl. Phys., 41, 045106 (2008)
  12. Hak Ki Yu, Wan Jae Dong, Gwan Ho Jung, Jong-Lam Lee. ACS Nano, 5, 8026 (2011)
  13. R.R. Kumar, V. Gaddam, K.N. Rao, K. Rajanna.  Mater. Res. Express, 1, 035008 (2014)
  14. G. De O. Setti, D.P. de Jesus, E. Joanni. Mater. Res. Express, 3, 105021 (2016)
  15. A.L. Beaudry, R.T. Tucker, J.M. LaForge, M.T. Taschuk, M.J. Brett. Nanotechnology, 23, 105608 (2012)
  16. Hak Ki Yu, Jong-Lam Lee. Sci. Rep., 4, Article number: 6589 (2014)
  17. Gang Meng, Takeshi Yanagida, Kazuki Nagashima, Hideto Yoshida, Masaki Kanai, Annop Klamchuen, Fuwei Zhuge, Yong He, Sakon Rahong, Xiaodong Fang, Seiji Takeda, Tomoji Kawai. J. Am. Chem. Soc., 135, 7033 (2013)
  18. Zhina Gong, Qiang Li, Yufeng Li, Han Xiong, Hao Liu, Shuai Wang, Ye Zhang, Maofeng Guo, Feng Yun. Appl. Phys. Express, 9, 082102 (2016)
  19. Min Joo Park, Chan Ul Kim, Sung Bum Kang, Sang Hyuk Won, Joon Seop Kwak, Chil-Min Kim, Kyoung Jin Choi. Adv. Optical Mater., 5, 1600684 (2017)
  20. J.T. Leonard, D.A. Cohen, B.P. Yonkee, R.M. Farrell, S.P. DenBaars, J.S. Speck, S. Nakamura. J. Appl. Phys., 118, 145304 (2015)
  21. И.П. Смирнова, Л.К. Марков, А.С. Павлюченко, М.В. Кукушкин, С.И. Павлов. ФТП, 48, 61 (2014)
  22. Л.К. Марков, И.П. Смирнова, А.С. Павлюченко, М.В. Кукушкин, Д.А. Закгейм, С.И. Павлов. ФТП, 50, 1001 (2016)
  23. W. Cai, V. Shalaev. Optical Metamaterials: Fundamentals and Applications (Springer Science \& Business Media, 2009)
  24. В.И. Оделевский. ЖТФ, 21Б (6), 678 (1951)
  25. J.W.S. Rayleigh. Proc. London Math. Soc., 11, 51 (1880)
  26. P.H. Berning. J. Optical Soc. America, 52 (4), 431 (1962)
  27. S. Chhajed, M.F. Schubert, J.K. Kim, E.F. Schubert. Appl. Phys. Lett., 93, 251108 (2008)
  28. A. Mahdjoub, L. Zighed. Thin Sol. Films, 478, 299 (2005)
  29. T. Aytug, A.R. Lupini, G.E. Jellison, P.C. Joshi, I.H. Ivanov, T. Liu, P. Wang, R. Menon, R.M. Trejo, E. Lara-Curzio, S.R. Hunter, J.T. Simpson, M. Parans Paranthaman, D.K. Christen. J. Mater. Chem. C, 3, 5440 (2015)
  30. J.-Q. Xi, M.F. Schubert, J.K. Kim, E.F. Schubert, M. Chen, S.-Y. Lin, W. Liu, J.A. Smart. Nature Photonics, 1, 176 (2007)
  31. C. O'Dwyer, C.M. Sotomayor Torres. Front. Phys., 1, 18 (2013)
  32. Shi Qiang Li, Peijun Guo, Lingxiao Zhang, Wei Zhou, T.W. Odom, T. Seideman, J.B. Ketterson, R.P.H. Chang. ACS Nano, 5, 9161 (2011)
  33. Peijun Guo, R.D. Schaller, L.E. Ocola, B.T. Diroll, J.B. Ketterson, R.P.H. Chang. Nature Commun., 7, Article number: 12892 (2016)
  34. М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики (М., Наука, 1970).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.