Влияние низкодозного протонного облучения на характеристики инжекционных диодов на основе 4H-SiC
Иванов П.А.1, Потапов А.С.1, Кудояров М.Ф.1, Самсонова Т.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Pavel.Ivanov@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 12 марта 2018 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2018 г.
Исследовано влияние низкодозного протонного облучения (доза облучения 1010-1.8·1011 см-2) на вольт-фарадные характеристики, прямые вольт-амперные характеристики и характеристики обратного восстановления высоковольтных диодов с p-no-переходом на основе 4H-SiC. Облучение проводилось протонами с энергией 1.8 МэВ через никелевую пленку толщиной 10 мкм (энергия протонов и толщина Ni пленки выбирались так, чтобы пробег протонов в карбиде кремния приблизительно равнялся глубине залегания p-no-перехода). Показано, что протонное облучение в указанных дозах: 1) не вызывает сколько-нибудь заметного уменьшения концентрации основных носителей в диодах; 2) кардинально уменьшает время жизни неравновесных носителей при низком уровне инжекции (в десятки раз при максимальной дозе облучения); 3) уменьшает заряд обратного восстановления диодов при высоком уровне инжекции (до трех раз при максимальной дозе облучения).
- P. Hazdra, J. Vobecky, H. Dorschner, K. Brand. Microelectron. J., 35, 249 (2004)
- R.K. Sharma, P. Hazdra, S. Popelka. Int. J. Microelectron. Comput. Sci., 6, 59 (2015)
- P. Hazdra, S. Popelka. Mater. Sci. Forum, 897, 463 (2017)
- R.K. Sharma, S. Popelka, P. Hazdra. IEEE Trans. Nucl. Sci., 62, 534 (2015)
- K. Danno, D. Nakamura, T. Kimoto. Appl. Phys. Lett., 90, 202109 (2007)
- P.A. Ivanov, M.E. Levinshtein, J.W. Palmour, S.L. Rumyantsev, R. Singh. Semicond. Sci. Technol., 15, 908 (2000)
- С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., 1984) т. 1
- П.А. Иванов, О.И. Коньков, Т.П. Самсонова, А.С. Потапов. Письма ЖТФ, 44, 3 (2018)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.