"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Определение концентрации водорода по фотоэдс МДП структур Pd-оксид-InP
Переводная версия: 10.1134/S1063782618100044
Гребенщикова Е.А. 1, Салихов Х.М.2, Сидоров В.Г.3, Шутаев В.А.1, Яковлев Ю.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт прикладных исследований Академии наук Республики Татарстан, Казань, Россия
3ООО АИБИ", Санкт-Петербург, Россия
Email: eagr.iropt7@mail.ioffe.ru, hafizms@mail.ru, sidorov@rphf.spbstu.ru, wadoz@mail.ru, Yakovlev@iropto.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 28 февраля 2018 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2018 г.

Исследована фотоэдс структур металл-диэлектрик-полупроводник (Pd/анодный оксид/InP) в зависимости от концентрации водорода в азотно-водородной газовой смеси в интервале 0.1-100 об%. Показано,что при одновременном воздействии на структуру освещения и водорода скорость спада фотоэдс структуры Pd-оксид-InP и концентрация водорода связаны между собой экспоненциально: NH=aexp(bS),где NH - концентрация водорода в газовой смеси в объемных %, S=dU/dt|t =0 - скорость изменения сигнала U на начальном участке спада фотоэдс, начиная с момента контакта структуры с газовой смесью, a и b - постоянные, зависящие от толщины слоя палладия и слоя анодной оксидной пленки на InP.
  1. H.I. Chen, Y.I. Chou, C.Y. Chu. Sensors Actuators B, 85, 10 (2002)
  2. V.M. Aroutiounian. Int. Sci. J. Altern. Energy Ecol., N 3, 33 (2007)
  3. B. Podlepetsky, M. Nikiforova, A. Kovalenko. Sensors Actuators B, 254, 1200 (2018)
  4. P. Sun, Y. Yu, J. Xu, Y. Sun, J. Ma, G. Lu. Sensors Actuators B, 160 (1), 244 (2011)
  5. Г.Г. Ковалевская, А.М. Маринова, С.В. Слободчиков. ЖТФ, 59 (11), 155 (1989)
  6. Х.М. Салихов. Автореф. докт. дис. (Санкт-Петербург, 2010)
  7. Е.А. Гребенщикова, В.В. Евстропов, Н.Д. Ильинская, Ю.С. Мельников, О.Ю. Серебренникова, В.Г. Сидоров, В.В. Шерстнев, Ю.П. Яковлев. ФТП, 49 (3), 376 (2015)
  8. А.Н. Именков, Е.А. Гребенщикова, В.А. Шутаев, А.М. Оспенников, В.В. Шерстнев, Ю.П. Яковлев. ФТП, 50 (7), 946 (2016)
  9. Е.А. Гребенщикова, В.А. Шутаев, А.А. Капралов. Патент РФ на изобретение N 2621879 от 07 июня 2017 г

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.