"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Модуляция заряда германиевых МДП-структур с фторсодержащими диэлектриками
Переводная версия: 10.1134/S1063782618080201
Шалимова М.Б.1
1Самарский национально-исследовательский университет, Самара, Россия
Email: shamb@ssau.ru
Поступила в редакцию: 28 сентября 2017 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2018 г.

В МДП-структурах на основе германия n-типа формировался диэлектрический слой из ErF3, YF3, NdF3 и TmF3. Показано, что отрицательный эффективный заряд в данных германиевых МДП-структурах не наблюдается, а деградация электрических характеристик и рост плотности поверхностных состояний приводят к увеличению положительного заряда. Положительный заряд, создаваемый на границе раздела германий-фторид редкоземельного элемента, может компенсировать отрицательный заряд оборванных связей на поверхности германия, что потенциально перспективно для модуляции величины и знака заряда в МДП-устройствах на германии.
  1. A. Molle, S. Baldovino, S. Spiga, M. Fanciulli. Thin Solid Films, 518, S96 (2010)
  2. В.C. Henkel, P-E. Hellstroom, M. Ostling, M. Stoger-Pollach, O. Bethge, E. Bertagnolli. Solid-State Electron., 74, 7 (2012)
  3. L.K. Chu, R.L. Chu, T.D. Lin, W.C. Lee, C.A. Lin, M.L. Huang, Y.J. Lee, J. Kwo, M. Hong. Solid-State Electron., 54, 965 (2010)
  4. S.N.A. Murad, P.T. Baine, D.W. McNeill, S.J.N. Mitchell, B.M. Armstrong, M. Modreanu, G. Hughes, R.K. Chellappan. Solid-State Electron., 78, 136 (2012)
  5. S. Mather, N. Sedghi, M. Althobaiti, I.Z. Mitrovic, V. Dhanak, P.R. Chalker, S. Hall. Microelectron. Engin., 109, 126 (2013)
  6. C.X. Li, C.D. Wanga, C.H. Leung, P.T. Lai, J.P. Xu. Microelectron. Engin., 86, 1596 (2009)
  7. M.B. Shalimova, E.N. Khavdey. Chapter in the book Germanium: Properties, Production and Applications (N.Y., NOVA, 2012) p. 187
  8. М.Б. Шалимова, Н.В. Сачук, ФТП, 49, 1071 (2015)
  9. C.G. Van de Walle, M. Choi, J.R. Weber, J.L. Lyons, A. Janotti. Microelectron. Engin., 109, 211 (2013)
  10. P. Tsipas, A. Dimoulas. Appl. Phys. Lett., 94, 012114 (2009)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.