"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Структура и электрические свойства пленок на основе оксида олова, легированных цирконием
Переводная версия: 10.1134/S106378261809018X
Ситников А.В.1, Жилова О.В.1, Бабкина И.В.1, Макагонов В.А.1, Калинин Ю.Е.1, Ремизова О.И.1
1Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 21 декабря 2017 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2018 г.

Тонкие пленки SnO2, стабилизированные Zr, были получены ионно-лучевым реактивным распылением. В одном технологическом процессе были синтезированы аморфные тонкопленочные образцы SnO2 с различной концентрацией Zr. Исследовано влияние термической обработки на структуру и электрические свойства синтезированных пленок. В тонкопленочных системах Sn-Zr-O начало процесса кристаллизации наблюдается при температурах 673 и 773 K, что сопровождается появлением метастабильных фаз. При нагреве до 873 K эти фазы преобразуются в Sn + Sn2O3. Было обнаружено,что после кристаллизации пленок процесс электропереноса при температурах, близких к комнатной, является термоактивационным с энергией активации ~ 0.78 эВ. Пленки оксида олова, легированные Zr от 0.6 до 3.9 ат%, после кристаллизации проявляют свойства газовой чувствительности к водороду.
  1. A. Goetzberger, C. Hebling. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 62, 1 (2000)
  2. P. Nelli, G. Faglia, G. Sverbeglieri, E. Cereda, G. Garbetta, A. Dieguez, A.R. Rodriguez, J.R. Morante. Thin Sol. Films, 371, 249 (2000)
  3. Л.С. Паршина, О.Д. Храмова, О.А. Новодворский, А.А. Лотин, И.А. Петухов, Ф.Н. Путилин, К.Д. Щербачев. ФТП, 51, 426 (2017)
  4. К.П. Богданов, Д.Ц. Димитров, О.Ф. Луцкая, Ю.М. Таиров. ФТП, 32, 1158 (1998)
  5. S. Monredon, A. Cellot, F. Ribot, C. Sanchez, L. Armelao, L. Gueneau, L. Delattre. J. Mater. Chem., 12, 2396 (2002)
  6. N.-S. Baik, G. Sakai, N. Miura, N. Yamazoe. J. Am. Ceram., 83 (12), 2983 (2000)
  7. О.С. Махди, И.В. Маля, И.В. Син\`ев, С.Б. Вениг, В.В. Кисин. Материалы Всероссийской научной школы-семинара (Саратов, Россия, 2016) с. 34
  8. H.-W. Ha, K. Kim, M. de Borniol, T. Toupance. J. Solid State Chem., 179, 702 (2006)
  9. E.S. Rembeza, O. Richard, J.V. Landuyt. Mater. Res. Bulletin, 34, 1527 (1999)
  10. J. Rockenberger, U. zum Felde, M. Tischer, L. Troger, M. Haase, H. Weller. J. Chem. Phys., 112, 4296 (2000)
  11. N. Sergent, P. Gelin, L.P. Camby, H. Praliaud, G. Thomas. Sensors Actuators B, 84, 176 (2002)
  12. С.И. Рембеза, Е.С. Рембеза, Т.В. Свистова, Н.Н. Кошелева, В.М.К. Аль Тамееми. ФТП, 49 (9), 1273 (2015)
  13. С.А. Гриднев, Ю.Е. Калинин, А.В. Ситников, О.В. Стогней. Нелинейные явления в нано- и микрогетерогенных системах (М., БИНОМ, Лаб. знаний, 2012)
  14. Г. Буш. УФН, 6, 258 (1952)
  15. А.М. Гаськов, М.Н. Румянцева. Неорг. матер., 36, 369 (2000).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.