Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние термических условий получения и обработки на оптические свойства пленок In2O3
Переводная версия: 10.1134/S1063782618030223 
Тихий А.А.
1, Николаенко Ю.М.1, Жихарева Ю.И.2, Корнеевец А.С.1, Жихарев И.В.1
1Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина, Донецк, Украина 
2Государственный университет телекоммуникаций, Киев, Украина
2Государственный университет телекоммуникаций, Киев, Украина
Email: ea0000ffff@mail.ru
Поступила в редакцию: 29 марта 2017 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2018 г.
Пленки In2O3 на положках Al2O3 (012) получены методом dc-магнетронного распыления при различных температурах (20-600oC). Исследование влияния отжига и температуры подложки на свойства пленок производилось эллипсометрическим методом и методом оптического пропускания. Построены профили показателя преломления; найдены значения ширины запрещенной зоны для прямых и "непрямых" переходов. Установлено, что отжиг приводит к уплотнению материала пленок и унификации значений показателя преломления. Также отжиг понижает и унифицирует энергии переходов зона-зона, что можно объяснить уменьшением влияния барьеров в отожженных пленках. Однако ширина запрещенной зоны для прямых переходов изменяется сильнее, чем для "непрямых". Это может быть связано с механизмом непрямых переходов - участие фононов облегчает межзонные переходы, даже если им препятствует наличие дополнительных барьеров, обусловленных границами зерен. Последнее может быть косвенным свидетельством реальности непрямых переходов в оксиде индия. DOI: 10.21883/FTP.2018.03.45618.8596
- Ю.М. Николаенко, А.Б. Мухин, В.А. Чайка, В.В. Бурховецкий. ЖТФ, 80, 115 (2010)
- А.А. Тихий, В.А. Грицких, С.В. Кара-Мурза, Ю.М. Николаенко, И.В. Жихарев. Опт. и спектр., 112, 329 (2012)
- А.А. Тихий, В.А. Грицких, С.В. Кара-Мурза, Н.В. Корчикова, Ю.М. Николаенко, В.В. Фарапонов, И.В. Жихарев. Опт. и спектр., 119, 282 (2015)
- P. Erhart, A. Klean, R.G. Egdell, K. Albe. Phys. Rev. B, 75, 153205 (2007)
- A. Klein. Appl. Phys. Lett., 77, 2009 (2000)
- Y. Gassenbauer, R. Schafranek, A. Klein, S. Zafeiratos, M. Havecker, A. Knop-Gericke, R. Schlogl. Phys. Rev. B, 73, 245312 (2006)
- D.R. Lide (eds). Handbook of Chemistry and Physics, 85th edn (CRC Press, Boca Raton, FL (2004))
- Y. Gassenbauer, R. Schafranek, A. Klein, S. Zafeiratos, M. Havecker, A. Knop-Gericke, R. Schlogl. Phys. Rev. B, 73, 245312 (2006)
- S.P. Harvey, T.O. Mason, Y. Gassenbauer, R. Schafranek, A. Klein. J. Phys. D: Appl. Phys., 39, 3959 (2006)
- R.A. Pollak, S. Kowalczyk, L. Ley, D.A. Shirley. Phys. Rev. Lett., 29, 274 (1972)
- T. Kendelewicz, P.H. Mahowald, K.A. Bertness, C.E. McCants, I. Lindau, W.E. Spicer. Phys. Rev. B, 36, 6543 (1987)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
