"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние термических условий получения и обработки на оптические свойства пленок In2O3
Переводная версия: 10.1134/S1063782618030223
Тихий А.А. 1, Николаенко Ю.М.1, Жихарева Ю.И.2, Корнеевец А.С.1, Жихарев И.В.1
1Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина, Донецк, Украина
2Государственный университет телекоммуникаций, Киев, Украина
Email: ea0000ffff@mail.ru
Поступила в редакцию: 29 марта 2017 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2018 г.

Пленки In2O3 на положках Al2O3 (012) получены методом dc-магнетронного распыления при различных температурах (20-600oC). Исследование влияния отжига и температуры подложки на свойства пленок производилось эллипсометрическим методом и методом оптического пропускания. Построены профили показателя преломления; найдены значения ширины запрещенной зоны для прямых и "непрямых" переходов. Установлено, что отжиг приводит к уплотнению материала пленок и унификации значений показателя преломления. Также отжиг понижает и унифицирует энергии переходов зона-зона, что можно объяснить уменьшением влияния барьеров в отожженных пленках. Однако ширина запрещенной зоны для прямых переходов изменяется сильнее, чем для "непрямых". Это может быть связано с механизмом непрямых переходов --- участие фононов облегчает межзонные переходы, даже если им препятствует наличие дополнительных барьеров, обусловленных границами зерен. Последнее может быть косвенным свидетельством реальности непрямых переходов в оксиде индия. DOI: 10.21883/FTP.2018.03.45618.8596
  1. Ю.М. Николаенко, А.Б. Мухин, В.А. Чайка, В.В. Бурховецкий. ЖТФ, 80, 115 (2010)
  2. А.А. Тихий, В.А. Грицких, С.В. Кара-Мурза, Ю.М. Николаенко, И.В. Жихарев. Опт. и спектр., 112, 329 (2012)
  3. А.А. Тихий, В.А. Грицких, С.В. Кара-Мурза, Н.В. Корчикова, Ю.М. Николаенко, В.В. Фарапонов, И.В. Жихарев. Опт. и спектр., 119, 282 (2015)
  4. P. Erhart, A. Klean, R.G. Egdell, K. Albe. Phys. Rev. B, 75, 153205 (2007)
  5. A. Klein. Appl. Phys. Lett., 77, 2009 (2000)
  6. Y. Gassenbauer, R. Schafranek, A. Klein, S. Zafeiratos, M. Havecker, A. Knop-Gericke, R. Schlogl. Phys. Rev. B, 73, 245312 (2006)
  7. D.R. Lide (eds). Handbook of Chemistry and Physics, 85th edn (CRC Press, Boca Raton, FL (2004))
  8. Y. Gassenbauer, R. Schafranek, A. Klein, S. Zafeiratos, M. Havecker, A. Knop-Gericke, R. Schlogl. Phys. Rev. B, 73, 245312 (2006)
  9. S.P. Harvey, T.O. Mason, Y. Gassenbauer, R. Schafranek, A. Klein. J. Phys. D: Appl. Phys., 39, 3959 (2006)
  10. R.A. Pollak, S. Kowalczyk, L. Ley, D.A. Shirley. Phys. Rev. Lett., 29, 274 (1972)
  11. T. Kendelewicz, P.H. Mahowald, K.A. Bertness, C.E. McCants, I. Lindau, W.E. Spicer. Phys. Rev. B, 36, 6543 (1987)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.