"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Поверхностные наноструктуры, формирующиеся на ранних стадиях металл-стимулированного химического травления кремния. Оптические свойства наночастиц серебра
Переводная версия: 10.1134/S1063782618030235
Жарова Ю.А.1, Толмачев В.А.1, Бедная А.И.1, Павлов С.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: piliouguina@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 11 июля 2017 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2018 г.

-3 Работа, состоящая из двух частей, посвящена исследованию наноструктур, формирующихся в 3-стадийном процессе металл-стимулированного химического травления кремния. В первой части исследован процесс химического осаждения слоя самоорганизующихся на поверхности кремниевой пластины наночастиц Ag (первая стадия металл-стимулированного химического травления). Этот слой является, с одной стороны, катализатором для проведения последующего травления кремния, а с другой --- служит своеобразной маской для формирования той или иной топологии формирующихся нанонитей Si. С помощью растрового электронного микроскопа исследована морфология слоя наночастиц серебра (толщиной 40-60 нм), а с помощью спектральной эллипсометрии (lambda=250-900 нм) измерены спектры эллипсометрических углов нанослоев Psi и Delta. На основе этих спектров определена комплексная диэлектрическая функция полученного слоя Ag с характерным пиком плазмонного резонанса в УФ-части спектра. Исследования оптических свойств слоев нанонитей Si, формирующихся на ранних стадиях металл-стимулированного химического травления, будут опубликованы во второй части работы (в отдельной статье). DOI: 10.21883/FTP.2018.03.45617.8684
  1. V. Schmidt, H. Riel, S. Senz, S. Karg, W. Riess, U. Gоsele. Small, 2, 85 (2005)
  2. F. Priolo, T. Gregorkiewicz, M. Galli, T.F. Krauss. Nature Nanotechnology, 9, 19 (2014)
  3. B. Tian, X. Zheng, T.J. Kempa, Y. Fang, N. Yu, G. Yu, J. Huang, C.M. Lieber. Nature, 449, 885 (2007)
  4. F. Patolsky, C. Zheng, C.M. Lieber. Nature Protoc., 1, 1711 (2006)
  5. K. Booker, S. Rahman, T-K. Chong, R. Mankelow, K. Weber, A. Blakers. IEEE J. Photovolt., 5, 2156 (2015)
  6. W. McSweeney, H. Geaney, C. O'Dwyer. Nano Research, 8, 1395 (2015)
  7. Min Lv, Shao Su, Yao He, Qing Huang, Wenbing Hu, Di Li, Chunhai Fan, Shuit-Tong Lee. Adv. Mater., 22, 5463 (2010)
  8. Hee Han, Zhipeng Huang, Woo Lee. Nanotoday, 9, 271 (2014)
  9. Ellipsometry at the Nanoscale, ed. by M. Losurdo, K. Hingerl (N.Y.--Dordrecht--London, Springer, 2013) p. 1
  10. T.W.H. Oates, H. Sugime, S. Noda. J. Phys. Chem., 113, 4820 (2009)
  11. S. Marsillac, S.A. Little, R.W. Collins. Thin Sol. Films, 519, 2936 (2011)
  12. T.W.H. Oates, H. Wormeester, H. Arwin. Progr. Surf. Sci., 86, 328 (2011)
  13. В.А. Швец, Е.В. Спесивцев, С.В. Рыхлицкий, Н.Н. Михайлов. Рос. нанотехнол., 4, 201 (2009)
  14. Р. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет (М., Мир, 1981) c. 316. [Пер. с англ. R.M.A. Azzam, N.M. Bashara. Ellipsometry and Polarized Light (Amsterdam--N.Y.--Oxford, North-Holland Publ. Co, 1977).]
  15. Handbook of Optical Constants of Solids, ed. by E.D. Palik (N.Y., Academic Press, 1985) p. 804
  16. D.E. Aspnes. Thin Sol. Films, 89, 249 (1982)
  17. A.J. McAlister, E.A. Stern. Phys. Rev., 132 (4), 1599 (1963)
  18. В.В. Климов. Наноплазмоника (М., Физматлит, 2009) гл. 4, с. 69.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.