"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние концентрации кислорода в составе газовой плазмообразующей смеси на оптические и структурные свойства пленок нитрида алюминия
Переводная версия: 10.1134/S1063782618020070
Лубянский Я.В.1, Бондарев А.Д.1, Сошников И.П.1,2,3, Берт Н.А.1, Золотарев В.В.1, Кириленко Д.А.1, Котляр К.П.2, Пихтин Н.А.1, Тарасов И.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
3Институт aналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Email: ipsosh.beam@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 11 июля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 января 2018 г.

Проводятся исследования влияния содержания кислорода в плазмообразующей среде в процессах синтеза методом реактивного ионно-плазменного распыления на структуру и свойства пленок AlNO (оксинитридов алюминия). Измеренные показатели преломления синтезированных пленок AlNO находятся в диапазоне 1.76-2.035 и зависят от концентрации кислорода в плазмообразующей газовой смеси, а именно с увеличением доли кислорода показатель преломления уменьшается. Показано, что пленки AlN, синтезированные в плазме азота, имеют поликристаллическую текстурированную структуру. Повышение содержания кислорода приводит к образованию аморфной фазы. DOI: 10.21883/FTP.2018.02.45443.8685
  1. M.O.H.D. Al Rashdan, A.A. Hamzah, B.Y. Majlis, M.F. Aziz. IEEE Intern. Conf. on Semiconductor Electronics, ICSE 2014 (Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.) p. 72, p. 6920798 (2014)
  2. L. Zhou, X. Gao, Y. Wang, L. Xu, B. Jia, D. Bai, B. Bo. J. Lightwave Techn., 31 (13), 2279 (2013)
  3. P. Pobedinskas, J.C. Bolsee, W. Dexters, B. Ruttens, V. Mortet, J. D'Haen, K. Haenen. Thin Sol. Films, 522, 180 (2012)
  4. A. Jagoda, L. Dobrzanski, M. Modonek, S. Wrobel. J. Wide Bandgap Mater., 8 (3-4), 195 (2001)
  5. H. Van Bui, F.B. Wiggers, A. Gupta, M.D. Nguyen, A.A. Aarnink, M.P. de Jong, A.Y. Kovalgin. J. Vacuum Sci. \& Techn. A: Vacuum, Surfaces, and Films, 33 (1), 01A111 (2015)
  6. J. Liao, S.H. Liu, Y.T. Yu, Y. Lin, G. Jin, G. Huang, Z.Z. Fu. IEEE 2011 Intern. Symp. on Advanced Packaging Materials (APM 2011) p. 373
  7. А.Ф. Белянин, А.Ю. Илюшенкин. Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 5, 35 (2005)
  8. M.E. Lin, B. Sverdlov, G.L. Zhou, H. Morko c. Appl. Phys. Lett., 62 (26), 3479 (1993)
  9. F. Semond, Y. Cordiez, N. Grandjeen, F. Natali, B. Demilano, S. Vezian. Phys. Status Solidi A, 188 (2), 501 (2001)
  10. P. Lu, R. Collazo, R.F. Dalmau, G. Durkaya, N. Dietz, B. Raghothamachar, M. Dudley, Z. Sitar. J. Cryst. Growth, 312 (1), 58 (2009)
  11. I. Bryan, A. Rice, L. Hussey, Z. Bryan, M. Bobea, S. Mita, J. Xie, R. Kirste, R. Collazo, Z. Sitar. Appl. Phys. Lett., 102 (6), 061602 (2013)
  12. Л.А. Акашев, Н.А. Попов, В.А. Кочедыков, В.Г. Шевченко. ПЖTФ, 39 (3), 26 (2013)
  13. А.В. Кириллин, А.В. Костановский, Л.А. Жиляков. Теплофизика высоких температур, 27 (6), 1185 (1989)
  14. Л.А. Жиляков, А.В. Костановский. Теплофизика высоких температур, 30 (2), 290 (1992). (High Temperature, 30 (2), 226 (1992) )
  15. Л.А. Жиляков, А.В. Костановский, А.В. Кириллин. Теплофизика высоких температур, 33 (1), 33 (1995). (High Temperature, 33 (1), 30 (1995))
  16. A. Stolz, A. Soltani, B. Abdallah, J. Charrier, D. Deresmes, P.-Y. Jouan, M.A. Djouadi, E. Dogheche, J.-C. De Jaeger. Thin Sol. Films, 534, 442 (2013)
  17. V. Brien, P. Pigeat. J. Cryst. Growth, 310 (16), 3890 (2008)
  18. V.V. Kirilenko, B.M. Zhigarnovskii, V.K. Pavlovskii, I.P. Markelova, A.V. Mikhailov, G.A. Muranova. J. Optical Techn., 75 (12), 800 (2008)
  19. P. Pobedinskas, J.-C. Bolsee, W. Dexters, B. Ruttens, V. Mortet, J. D'Haen, J.V. Manca, K. Haenen. Thin Sol. Films, 522, 180 (2012)
  20. И.П. Сошников, О.М. Горбенко, А.О. Голубок, Н.Н. Леденцов. ФТП, 35 (4), 361 (2001)
  21. А.В. Анкудинов, В.П. Евтихиев, В.Е. Токранов, В.П. Улин, А.Н. Титков. ФТП, 33 (5), 594 (1999)
  22. Н.А. Берт, А.Д. Бондарев, В.В. Золотарев, Д.А. Кириленко, Я.В. Лубянский, А.В. Лютецкий, С.О. Слипченко, А.Н. Петрунов, Н.А. Пихтин, К.Р. Аюшева, И.Н. Арсентьев, И.С. Тарасов. ФТП, 49 (10), 1429 (2015)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.