"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Взаимодиффузия и фазообразование в тонкопленочной системе Fe-TiO2
Афонин Н.Н. 1,2, Логачева В.А. 1,2
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Воронежский государственный педагогический университет, Воронеж, Россия
Email: nafonin@vspu.ac.ru, ksmf@main.vsu.ru
Поступила в редакцию: 30 января 2017 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2017 г.

Методами рентгенофазового анализа, вторично-ионной масс-спектрометрии, атомно-силовой микроскопии и математического моделирования исследовано взаимодействие магнетронным способом распыленного металлического железа с пленками оксида титана в процессе изотермического вакуумного отжига. Предложен механизм формирования сложных оксидов на границах зерен, основанный на реакционной диффузии металла Fe в оксид титана. Разработана количественная модель реакционной взаимодиффузии в двухслойных поликристаллических пленочных системах металл-оксид с ограниченной растворимостью компонентов. Численным анализом экспериментальных концентрационных распределений металлов в пленочной системе Fe-TiO2 определены значения индивидуальных коэффициентов диффузии: железа 8.0·10-13 см2/с и титана 3.0·10-15 см2/с в условиях вакуумного отжига при 1073 K. DOI: 10.21883/FTP.2017.10.45012.8531
  1. J.O. Carneiro, V. Teixeira, A. Portinha, A. Magalhaes, P. Countinho, C.J. Tavares. Mater. Sci. Eng. B, 138 (2), 144 (2007)
  2. Meng Ni, Michael K.H. Leung, Dennis Y.C. Leung. K. Sumathy. Renew. Sustainable Energy Rev., 11 (3), 401 (2007)
  3. K. Zakrzewska, M. Radeska, M. Rekas. Thin Sol. Films, 310, 161 (1997)
  4. N.I. Al-Salim, S.A. Bagshaw, A. Bittar, T. Kemmitt, A.J. McQuillan, A.M. Mills, M.J. Ryan. J. Mater. Chem., 10, 2358 (2000)
  5. S. Sooda, A. Umarb, S.K. Mehtaa, S.K. Kansald. J. Colloid Interface Sci., 450, 213 (2015)
  6. P. Jianga, W. Xianga, J. Kuanga, W. Liu, W. Cao. Solid State Sci., 46, 27 (2015)
  7. Hsin-yu Lin, Cheng-yao Shih. J. Mol. Catal. A: Chem., 411, 128, (2016)
  8. F.B. Lia, X.Z. Lia, M.F. Houb. Appl. Catal. B, 48 (3), 185 (2004)
  9. H. Eskandarloo, A. Badiei, M.A. Behnajady, G.M. Ziarani. Ultrason. Sonochem., 26, 281 (2015)
  10. I. Ganesh, P.P. Kumar, A.K. Gupta, P.S.C. Sekhar, K. Radha, G. Padmanabham, G. Sundararajan. Proc. Appl. Ceramics, 6, 21 (2012)
  11. R.A. Briggs, A. Sacco. Metall. Trans. A, 24 (6), 1257 (1993)
  12. M. Crisana, N. Dragana, D. Crisana, A. Ianculescub, I. Nitoic, P. Oancead, L. Todana, C. Stana, N. Stanicaa. Ceram. Int., 42 (2), 3088 (2016)
  13. Huey-Jiuan Lina, Tien-Syh Yanga, Chi-Shiung Hsia, Moo-Chin Wangb, Kuen-Chan Leeb. Ceram. Int., 40 (7), 10633 (2014)
  14. A. Sobczyk-Guzendaa, S. Owczareka, H. Szymanowskia, L. Voleskyb, B. Walkowiaka, S. Miszczaka, M. Gazicki-Lipmana. Ceram. Int., 41 (6), 7496 (2015)
  15. R. Dholam, N. Patel, M. Adami, A. Miotello. Int. J. Hydrogen Energy, 34 (13), 5337 (2009)
  16. C. Silvaa, A.R.G. Costaa, R.C. da Silvac, L.C. Alvesd, L.P. Ferreiraa, M.D. Carvalhof, N. Francoc, M. Godinhoa, M.M. Cruza. J. Magn. Magn. Mater., 364, 106 (2014)
  17. В.С. Русаков, И.А. Сухоруков, А.М. Жанкадамова, К.К. Кадыржанов. Вестн. МГУ. Сер. 3, Физика, астрономия, 3, 25 (2012)
  18. JCPDS --- International Centre for Diffraction Data, 2012
  19. D. Cordischi, N. Burriesci, F. D'Alba, M. Petrera, G. Polizzoti, M. Schiavello. J. Solid State Chem., 56, 182 (1985)
  20. A.D. Smigelskas, E.O. Kirkendall. Trans. AIME, 171, 130 (1947)
  21. L.S. Darken. Trans. AMIE, 175, 184 (1948)
  22. К.П. Гуров, Б.А. Карташкин, Ю.Э. Угасте. Взаимная диффузия в многофазных металлических системах (М., Наука, 1981)
  23. N.S. Kulkarni, R.J. Bruce Warmack, B. Radhakrishnan, J.L. Hunter, Y. Sohn, K.R. Coffey, G.E. Murch, I.V. Belova. J. Phase Equilib. Diffusion, 35 (6), 762 (2014)
  24. О.В. Александров, В.В. Козловский. ФТП, 43 ,(7), 917 (2009)
  25. А.А. Самарский. Теория разностных схем (М., Наука, 1977)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.