"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние температуры измерения на люминесцентные свойства (113) дефектов в кремнии, имплантированном ионами кислорода
Соболев Н.А.1, Калядин А.Е.1, Шек Е.И.1, Штельмах К.Ф.1,2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
Email: nick@sobolev.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 20 февраля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2017 г.

Исследовано влияние температуры измерения в диапазоне 5-130 K на спектры ФЛ (113) дефектов в кремнии, имплантированном ионами кислорода с энергией 350 кэВ и дозой 3.7·1014 см-2 и отожженном при 700oC в течение 1 ч в хлорсодержащей атмосфере. Температурная зависимость интенсивности линии характеризуется участками возгорания интенсивности с энергией 23.1 мэВ и гашения интенсивности с энергиями 41.9 и 178.3 мэВ. С ростом температуры линии сдвигаются в длинноволновую сторону, а их полуширина увеличивается. DOI: 10.21883/FTP.2017.09.44880.8561
  1. S. Takeda. Jpn. J. Appl. Phys., 30, L639 (1991)
  2. S. Coffa, S. Libertino, C. Spinella. Appl. Phys. Lett., 76, 321 (2000)
  3. P.K. Giri. Semicond. Sci. Technol., 20, 638 (2005)
  4. Yang Yu, Wang Chong, Yang Rui-Dong, Li Liang, Xiong Fei, Bao Ji-Ming. Chinese Phys. B, 18, 4906 (2009)
  5. Yu Yang, Jiming Bao, Chong Wang, Michael J. Aziz. J. Appl. Phys., 107, 123109 (2010)
  6. Н.А. Соболев, А.Е. Калядин, П.Н. Аруев, В.В. Забродский, Е.И. Шек, К.Ф. Штельмах, К.В. Карабешкин. ФТТ, 58, 2411 (2016)
  7. J.F. Ziegler, M.D. Ziegler, J.P. Biersack. Nucl. Instrum. Meth. B, 268, 1818 (2010)
  8. G. Davies. Phys. Reports, 176, 83 (1989)
  9. R. Braunstein, A.R. Moor, F. Herman. Phys. Rev., 109, 695 (1958)
  10. Н.А. Соболев. ФТП, 44, 3 (2010)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.