"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Высокотемпературная диффузия магния в бездислокационном кремнии
Шуман В.Б.1, Астров Ю.А.1, Лодыгин А.Н.1, Порцель Л.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Shuman@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 31 января 2017 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2017 г.

С использованием сандвич-метода легирования монокристаллического бездислокационного кремния магнием исследована диффузия примеси в диапазоне температур 1000-1200oС. Найденная зависимость коэффициента диффузии межузельного магния от температуры универсальным образом описывает данные настоящей работы и ранее исследованную температурную область 600-800oС. Малая энергия активации диффузии (1.83 эВ) свидетельствует о межузельном транспорте примеси. DOI: 10.21883/FTP.2017.08.44792.8532
  • K.J. Morse, R.J.S. Abraham, H. Riemann, N.V. Abrosimov, P. Becker, H.-J. Pohl, M.L.W. Thewalt, S. Simmons. arXiv:1606.03488v1 [quant-ph] 10 June 2016
  • N.V. Abrosimov, N. Notzel, H. Riemann, K. Irmscher, S.G. Pavlov, H.-W. Hubers, U. Bottger, P.M. Haas, N. Drichko, M. Dressel. Sol. St. Phenomena, 131- 133, 589 (2008)
  • S.G. Pavlov, N. Deb mann, A. Pohl, V.B. Shuman, L.М. Portsel, А.N. Lodygin, Yu.A. Astrov, S. Winnerl, H. Schneider, N. Stavrias, A.F.G. van der Meer, V.V. Tsyplenkov, K.A. Kovalevsky, R.Kh. Zhukavin, V.N. Shastin, N.V. Abrosimov, H.-W. Hubers. Phys. Rev. B, 94, 075208 (2016)
  • R.F. Franks, J.B. Robertson. Solid State Commun., 5, 479 (1967)
  • L.T. Ho, A.K. Ramdas. Phys. Rev. B, 5, 462 (1972)
  • В.Б. Шуман, А.А. Лаврентьев, Ю.А. Астров, А.Н. Лодыгин, Л.М. Порцель. ФТП, 51 (1), 6 (2017)
  • Yu.A. Astrov, L.M. Portsel, A.N. Lodygin, V.B. Shuman. Semicond. Sci. Technol., 26, 055021 (2011)
  • Технология СБИС, под ред. С. Зи (М., Мир, 1986) т. 1
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.