"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Формирование нанокристаллов кремния в многослойных нанопериодических структурах a-SiOx/диэлектрик по результатам синхротронных исследований
Министерство образования и науки России, Государственное задание вузам в сфере научной деятельности на 2014−2016 годы, проект 1606
Министерство образования и науки России, Государственное задание вузам в сфере научной деятельности на 2014−2016 годы, проект 757
Министерство образования и науки России, Государственное задание вузам в сфере научной деятельности на 2014−2016 годы, Задание № 3.1868.2014/K
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), проект № 15-02-05086
Турищев С.Ю. 1, Терехов В.А. 1, Коюда Д.А. 1, Ершов А.В. 2, Машин А.И. 2, Паринова Е.В. 1, Нестеров Д.Н.1, Грачев Д.А. 2, Карабанова И.А. 2, Домашевская Э.П. 1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: tsu@phys.vsu.ru, ftt@phys.vsu.ru, koyuda@phys.vsu.ru, ershov@phys.unn.ru, mashin@phys.unn.ru, parinova@phys.vsu.ru, nesterov@phys.vsu.ru, grachov@phys.unn.ru, karabanova@phys.unn.ru
Поступила в редакцию: 26 июля 2016 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2017 г.

Изучен вопрос эффективности контролируемого формирования массивов кремниевых наночастиц на основе детальных исследований электронного строения многослойных нанопериодических структур a-SiOx/SiO2, a-SiOx/Al2O3 и a-SiOx/ZrO2. С применением синхротронного метода спектроскопии ближней тонкой структуры края рентгеновского поглощения обнаружена модификация исследованных структур под влиянием высокотемпературного отжига при максимальной температуре 1100oC, объясняемая образованием нанокристаллов кремния в слоях светоизлучающих многослойных структур. DOI: 10.21883/FTP.2017.03.44208.8374
  1. L.T. Canham. Appl. Phys. Lett., 57 (10), 1046 (1990)
  2. Y. Kanemitsu. Phys. Rev. B, 49 (23), 16845 (1994)
  3. L. Mangolini, E. Thimsen, U. Kortshagen. Nano Lett., 5 (4), 655 (2005)
  4. L. Pavesi. Materials Today, 8 (1), 18 (2005)
  5. M. Zacharias, J. Heitmann, R. Scholz, U. Kahler, M. Schmidt, J. Blasing. Appl. Phys. Lett., 80, 661 (2002)
  6. А.В. Ершов, Д.И. Тетельбаум, И.А. Чугров, А.И. Машин, А.Н. Михайлов, А.В. Нежданов, А.А. Ершов, И.А. Карабанова. ФТП, 45 (6), 747 (2011)
  7. S.Yu. Turishchev, V.A. Terekhov, D.A. Koyuda, K.N. Pankov, E.P. Domashevskaya, A.V. Ershov, I.A. Chugrov, A.I. Mashin. Surf. Interface Anal., 44 (8), 1182 (2012)
  8. D.A. Zatsepin, S. Kaschieva, M. Zier, B. Schmidt, H.-J. Fitting. Phys. Status Solidi A, 207 (3), 743 (2010)
  9. С.Ю. Турищев, В.А. Терехов, Д.Н. Нестеров, К.Г. Колтыгина, В.А. Сиваков, Э.П. Домашевская. Письма ЖТФ, 41 (7), 81 (2015)
  10. T. van Buuren, L.N. Dinh, L.L. Chase, W.J. Siekhaus, L.J. Terminello. Phys. Rev. Lett., 80 (17), 3803 (1998)
  11. В.А. Терехов, Е.В. Паринова, Э.П. Домашевская, А.С. Садчиков, Е.И. Теруков, Ю.К. Ундалов, Б.В. Сеньковский, С.Ю. Турищев. Письма ЖТФ, 41 (20), 82 (2015)
  12. С.Ю. Турищев, В.А. Терехов, Д.А. Коюда, К.Н. Панков, А.В. Ершов, Д.А. Грачев, А.И. Машин, Э.П. Домашевская. ФТП, 47 (10), 1327 (2013)
  13. С.Ю. Турищев, В.А. Терехов, Д.А. Коюда, Д.Е. Спирин, Е.В. Паринова, Д.Н. Нестеров, Д.А. Грачев, И.А. Карабанова, А.В. Ершов, А.И. Машин, Э.П. Домашевская. ФТП, 49 (3), 421 (2015)
  14. А.В. Ершов, И.А. Чугров, Д.И. Тетельбаум, А.И. Машин, Д.А. Павлов, А.В. Нежданов, А.И. Бобров, Д.А. Грачев. ФТП, 47 (4), 460 (2013)
  15. И.А. Чугров, Е.С. Демидов, А.В. Ершов. Вестн. Нижегород. ун-та им. Н.И. Лобачевского, 3 (1), 44 (2011)
  16. Т.М. Зимкина, В.А. Фомичев. Ультрамягкая рентгеновская спектроскопия (Л., Изд-во ЛГУ, 1971)
  17. М.А. Румш, А.П. Лукирский, В.Н. Щемелев. Изв. АН СССР. Сер. физ., 25 (8), 1060 (1961)
  18. M. Kasrai, W.N. Lennard, R.W. Brunner, G.M. Bancroft, J.A. Bardwell, K.H. Tan. Appl. Surf. Sci., 99 (4), 303 (1996)
  19. G. Bunker. Introduction to XAFS (Cambridge University Press, Cambridge, 2010)
  20. V.A. Terekhov, D.I. Tetelbaum, D.E. Spirin, K.N. Pankov, A.N. Mikhailov, A.I. Belov, A.V. Ershov, S.Yu. Turishchev. J. Synchrotron Radiation, 21, 209 (2014)
  21. A. Barranco, F. Yubero, J.P. Espinos, P. Groening, A.R. Gonzalez-Elipe. J. Appl. Phys., 97, 113714 (2005)
  22. F.J. Himpsel, F.R. McFeely, A. Taleb-Ibrahimi, J.A. Yarmoff, G. Hollinger. Phys. Rev. B, 38, 6084 (1988).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.